电容式压力计
SKY® CDG045D
45°C温控,满量程0.05 ... 1000 Torr / mbar
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
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INFICON SKY CDG045D 压力计是实现高精确总压测量与控制的理想之选。CDG045D 真空计温度控制在 45 °C,具有卓越的信号稳定性和可重复性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的真空应用。
优势
- 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
- 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- 两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
- 合规性和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
- 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
- 化学和腐蚀性真空过程
- 一般薄膜和真空过程
- 作为基准仪器监控测试仪器是否符合国际标准
- 符合传递标准,确保测量可追溯性
技术规格
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.05 Torr / mbar
精度 | % of reading | 0.15 |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 30 |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.15 |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 30 |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.15 |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 130 / 30 |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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数据表
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SKY® CDG045D Datasheet
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CDG045D SKY® 0,05... 1.000 Torr/mbar
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SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar JA
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数据表
SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar KO
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数据表
SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar ZH
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手册
CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol
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操作手册
CDGxxxD, CDGxxxD Communication protocol PROFINET
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操作手册
SKY® CDG045D 4-20 mA Current Loop Operating Manual
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英文
SKY® CDG045D 4-20 mA Current Loop Gebrauchsanleitung
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德语
CDGxxxD Communication manual RS232C
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操作手册
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
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德语
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操作手册
Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN
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操作手册
Communication protocol EtherCAT
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英文
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操作手册
Communication protocol PROFIBUS
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英文
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操作手册
Gebrauchsanleitung CDG045D
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1,2 MB
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德语
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操作手册
Manual CDG045D
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操作手册
Manual CN CDG045D
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操作手册
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SKY® CDG045D 3D Tube 9DSUB
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其他
CDG EtherCAT New Generation ESI V2
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日语, 英文
CDGxxxD PROFINET GSDML
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英文
EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0
xml
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1,3 MB
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Software EDS for CDGxxxD
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Software GSD for CDGxxxD
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