电容式压力计

SKY® CDG100D

100°C温控，满量程0.1 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

INFICON SKY CDG100D 压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG100D 真空计温度控制在 100 °C，具有卓越的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

优势

拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
诊断端口便于快速服务与维护
两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
化学和腐蚀性高温过程
需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

规格

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.4

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	130 / 30 ⁽³⁾

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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手册

SKY® CDG100-200D Brochure

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Vacuum Instrumentation with EtherCAT Brochure

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数据表

SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar DE

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SKY® CDG100D Datasheet

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SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

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SKY® CDG100D 0.1 ...1000 Torr / mbar JA

pdf • 1,0 MB • 日语 • 数据表

SKY® CDG100D 0.1 ... 1,000 Torr/mbar KO

pdf • 934,9 KB • 韩语 • 数据表

Datasheet_CDG100D-Torr-std_zh-cn

pdf • 1,0 MB • 中文 • 数据表

尺寸图

CDG100D SKY Ordering information

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手册

CDG100D Gebrauchsanleitung

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Gebrauchsanleitung CDG100D 4-20 mA Current Loop

pdf • 1,1 MB • 德语 • 操作手册

SKY® CDG100D Operating Manual

pdf • 1,3 MB • 英文 • 操作手册

CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 2,1 MB • 英文 • 操作手册

CDGxxxD, CDGxxxD Communication protocol PROFINET

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SKY® CDG100D 4-20 mA Current Loop Operating Manual

pdf • 1,1 MB • 英文 • 操作手册

CDGxxxD Communication manual RS232C

pdf • 187,4 KB • 英文 • 操作手册

CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • 德语 • 操作手册

Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN

pdf • 474,8 KB • 英文 • 操作手册

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • 英文 • 操作手册

Communication protocol PROFIBUS

pdf • 592,8 KB • 英文 • 操作手册

Manual CDG100D ZN

pdf • 1,4 MB • 中文 • 操作手册

3D Step Files

SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long P-BUS

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f P-NET

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SKY® CDG100D 3D 16KF P-NET

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SKY® CDG100D 3D Tube P-NET

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SKY® CDG100D 3D 16CF P-NET

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m D-NET

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long D-NET

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m P-BUS

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f P-BUS

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m P-NET

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f P-NET

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long P-NET

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long E-CAT

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SKY® CDG100D 3D 16CF 9DSUB

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m 9DSUB

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f 15DSUB

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f 9DSUB

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SKY CDG100D 16CF D-NET

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SKY CDG100D 16CF E-CAT

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SKY CDG100D 16CF P-BUS

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SKY CDG100D 16KF 9DSUB

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SKY CDG100D 16KF D-NET

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SKY CDG100D 16KF E-CAT

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SKY CDG100D 16KF P-BUS

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SKY CDG100D 4-VCR-f 9DSUB

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SKY CDG100D 4-VCR-f D-NET

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SKY CDG100D 4-VCR-f E-CAT

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SKY CDG100D 4-VCR-m 15DSUB

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SKY CDG100D 8-VCR-f 15DSUB

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SKY CDG100D 8-VCR-f D-NET

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SKY CDG100D 8-VCR-f E-CAT

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SKY CDG100D 8-VCR-f long 15DSUB

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SKY CDG100D 8-VCR-f P-BUS

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SKY CDG100D tube 15DSUB

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SKY CDG100D tube 9DSUB

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SKY CDG100D tube D-NET

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SKY CDG100D tube E-CAT

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SKY CDG100D tube P-BUS

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Other

CDG EtherCAT New Generation ESI V2

zip • 10,5 KB • 日语, 英文

CDGxxxD PROFINET GSDML

zip • 3,1 KB • 英文

EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0

xml • 1,3 MB • 英文

Software EDS for CDGxxxD

zip • 7,6 KB • 英文

Software GSD for CDGxxxD

zip • 1,6 KB • 英文

该产品被用于以下市场

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分析仪器市场为广大用户提供高度复杂的分析工具，涵盖不同应用场景和市场。INFICON与那些拥有最先进技术的制造商合作，帮助分析和识别最小的结构或元素组成，无论是气体、液体还是固体均在其适用范围内。

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