电容式压力计
SKY® CDG160D
160°C 温控，满量程 1 ... 1000 Torr / mbar
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！
INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有卓越的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
好处
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- 两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
- 合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
- 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
- 化学和腐蚀性高温过程
- 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
技术规格
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.4 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.4 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
下载
手册
数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar DE
pdf
•
864,4 KB
•
德语
•
数据表
SKY® CDG160D CDG200D Datasheet
pdf
•
739,2 KB
•
英文
•
数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
pdf
•
906,4 KB
•
西班牙语
•
数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar JA
pdf
•
1,0 MB
•
日语
•
数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar KO
pdf
•
909,4 KB
•
韩语
•
数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar ZH
pdf
•
539,6 KB
•
中文
•
数据表
手册
Gebrauchsanleitung CDG160D CDG200D DE
pdf
•
1,3 MB
•
德语
•
操作手册
SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol
pdf
•
2,1 MB
•
英文
•
操作手册
CDG160D, CDG200D - Gebrauchsanleitung current loop (DE)
pdf
•
1,1 MB
•
德语
•
操作手册
CDG160D, CDG200D - manual
pdf
•
1,3 MB
•
英文
•
操作手册
CDG160D, CDG200D - manual current loop (EN)
pdf
•
1,1 MB
•
英文
•
操作手册
CDG160D, CDG200D manual
pdf
•
1,4 MB
•
中文
•
操作手册
CDGxxxD Communication manual RS232C
pdf
•
187,4 KB
•
英文
•
操作手册
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
pdf
•
188,5 KB
•
德语
•
操作手册
Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN
pdf
•
474,8 KB
•
英文
•
操作手册
Communication protocol EtherCAT
pdf
•
972,1 KB
•
英文
•
操作手册
Communication protocol PROFIBUS
pdf
•
592,8 KB
•
英文
•
操作手册
3D Step Files
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f P-NET
zip
•
354,3 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 16KF 15DSUB
stp
•
937,0 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D Tube E-CAT
zip
•
239,9 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 16KF E-CAT
zip
•
242,6 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f 9DSUB
zip
•
374,9 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f 9DSUB
zip
•
543,2 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m 9DSUB
zip
•
565,8 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 16KF 9DSUB
zip
•
536,8 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long E-CAT
zip
•
934,4 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m E-CAT
zip
•
954,3 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long P-NET
zip
•
366,1 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f P-NET
zip
•
296,1 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-NET
zip
•
385,9 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D Tube P-NET
zip
•
287,2 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 16KF P-NET
zip
•
293,1 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long P-BUS
zip
•
821,9 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f P-BUS
zip
•
820,0 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-BUS
zip
•
839,7 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long D-NET
zip
•
853,0 KB
•
3D文件
SKY CDG160D 4-VCR-m D-NET
zip
•
869,0 KB
•
3D文件
SKY CDG160D 16CF 9DSUB
zip
•
542,8 KB
•
3D文件
SKY CDG160D 16CF E-CAT
zip
•
250,3 KB
•
3D文件
SKY CDG160D 4-VCR-f E-CAT
zip
•
768,0 KB
•
3D文件
SKY CDG160D 8-VCR-f long 9DSUB
zip
•
544,7 KB
•
3D文件
