电容式压力计
SKY® CDG160D
160°C 温控，满量程 1 ... 1000 Torr / mbar
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有卓越的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
好处
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- 两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
- 合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
- 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
- 化学和腐蚀性高温过程
- 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
技术规格
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.4 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.4 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
下载
手册
数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar DE
pdf
•
864,4 KB
•
德语
•
数据表
SKY® CDG160D CDG200D Datasheet
pdf
•
739,2 KB
•
英文
•
数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
pdf
•
906,4 KB
•
西班牙语
•
数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar JA
pdf
•
1,0 MB
•
日语
•
数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar KO
pdf
•
909,4 KB
•
韩语
•
数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar ZH
pdf
•
539,6 KB
•
中文
•
数据表
手册
Gebrauchsanleitung CDG160D CDG200D DE
pdf
•
1,3 MB
•
德语
•
操作手册
CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol
pdf
•
2,1 MB
•
英文
•
操作手册
CDG160D, CDG200D - Gebrauchsanleitung current loop (DE)
pdf
•
1,1 MB
•
德语
•
操作手册
CDG160D, CDG200D - manual
pdf
•
1,3 MB
•
英文
•
操作手册
CDG160D, CDG200D - manual current loop (EN)
pdf
•
1,1 MB
•
英文
•
操作手册
CDG160D, CDG200D manual
pdf
•
1,4 MB
•
中文
•
操作手册
CDGxxxD Communication manual RS232C
pdf
•
187,4 KB
•
英文
•
操作手册
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
pdf
•
188,5 KB
•
德语
•
操作手册
Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN
pdf
•
474,8 KB
•
英文
•
操作手册
Communication protocol EtherCAT
pdf
•
972,1 KB
•
英文
•
操作手册
Communication protocol PROFIBUS
pdf
•
592,8 KB
•
英文
•
操作手册
3D Step Files
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-NET
zip
•
385,9 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D Tube E-CAT
zip
•
239,9 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 16KF E-CAT
zip
•
242,6 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f 9DSUB
zip
•
374,9 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f 9DSUB
zip
•
543,2 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m 9DSUB
zip
•
565,8 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 16KF 9DSUB
zip
•
536,8 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long E-CAT
zip
•
934,4 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m E-CAT
zip
•
954,3 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long P-NET
zip
•
366,1 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f P-NET
zip
•
296,1 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f P-NET
zip
•
354,3 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D Tube P-NET
zip
•
287,2 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 16KF P-NET
zip
•
293,1 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long P-BUS
zip
•
821,9 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f P-BUS
zip
•
820,0 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-BUS
zip
•
839,7 KB
•
3D文件
SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long D-NET
zip
•
853,0 KB
•
3D文件
SKY CDG160D 4-VCR-m D-NET
zip
•
869,0 KB
•
3D文件
SKY CDG160D 16CF 9DSUB
zip
•
542,8 KB
•
3D文件
SKY CDG160D 16CF E-CAT
zip
•
250,3 KB
•
3D文件
SKY CDG160D 4-VCR-f E-CAT
zip
•
768,0 KB
•
3D文件
SKY CDG160D 8-VCR-f long 9DSUB
zip
•
544,7 KB
•
3D文件
