电容式压力计
Stripe® CDG045Dhs
45°C温控,满量程0.01 ... 1000 Torr / mbar
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
Digital interface
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INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是最快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms,配备 EtherCAT 现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念,提供冰凉的接触表面和独特的速度性能, 可实现提升史无前例的生产力, 使其成为同类产品中最先进的真空仪器.
Stripe CDG045Dhs 赢得了 2014 研发 100 大奖!!
好处
- 高生产力 - 响应时间快于 2 ms (FS > 50 mTorr)
- 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
- 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
- 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性
典型应用
- 原子层沉积
- 高速过程控制
- PVD、CVD、蚀刻
- 一般高温真空应用
技术规格
1000 Torr / 1100 mbar ... 0.05 Torr / mbar
0.02 ... 0.01 Torr / mbar
精度 | % of reading | 0.15 |
精度 | % of reading | - |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 2 ... 20 |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | - |
精度 | % of reading | 0.2 |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 2 ... 20 |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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手册
数据表
Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, neu 10mTorr DE
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数据表
Stripe® CDG045Dhs Datasheet
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数据表
Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, new 10mTorr
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数据表
Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000乇 / 毫巴, 新 10毫乇 ZH
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尺寸图
手册
Gebrauchsanleitung STRIPE CDG045Dhs
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操作手册
Stripe® CDG045Dhs Operating Manual
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1,2 MB
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操作手册
SKY®, Stripe® Communication Protocol Diagnostic Port
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英文
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操作手册
SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol
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2,1 MB
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英文
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操作手册
Communication protocol EtherCAT
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英文
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操作手册
Manual CDG045Dhs ZH
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中文
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操作手册
其他
3D Step Files
Stripe® CDG045Dhs 3D 4-VCR-m E-CAT
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Stripe® CDG045Dhs 3D 4-VCR-f E-CAT
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Stripe CDG045Dhs 16CF
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Stripe CDG045Dhs 16KF
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Stripe CDG045Dhs 8-VCR-f
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Stripe CDG045Dhs tube
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