1. VGC083
真空计控制器

VGC083

无源真空计的三通道控制器

VGC083
嵌入式选项

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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真空计控制器 VGC083 A/B/C 是一款三通道真空计控制器，用于从大气压到超高真空的真空压力监测和控制。VGC083 的工业设计与大量可选的无源真空计头相结合，为需要宽真空测量范围的真空应用提供了灵活、可靠和经济的选择。由于兼容性强，VGC083 是需要直接替换现有系统的理想解决方案。

VGC083 可配置为控制和读出多达 3 个无源真空计头，包括两种无源传感器设计类型：一个电离真空计（热阴极或冷阴极）和两个皮拉尼真空计。

  • VGC083A 设计用于一个无源热阴极电离 Bayard-Alpert BAG050（裸规）或 BAG055（紧凑型金属封闭）压力表头和两个对流增强型 Pirani PGE050。
  • VGC083B 可安装一个无源热阴极电离 Bayard-Alpert BAG051（裸规）或 BAG052/053（玻璃管）仪器头和两个 PGE050。
  • VGC083C 可以控制一个无源反向磁控管冷阴极 MAG050/060 测头和两个 PGE050。 

六个单极设定点继电器可分配给任何一个仪器头。内置 RS232 和 RS485 控制接口，用于系统集成。

优势

  • 从大气压到超高真空的真空压力监测和控制的灵活解决方案
  • 三个单独的明亮LED显示屏，操作清晰简单
  • 使用软键进行参数、传感器和一般设置
  • 根据真空规类型，用户可选择灯丝、脱气电子轰击或I2R电阻加热进行测量调节
  • 三个模拟输出，用户可分配给单个真空计或真空计组合
  • 六个可分配的单刀双掷设定点继电器
  • 离子计过压保护：传感器1可以从传感器2或3自动打开/关闭
  • 每个通道拥有三个可定义的设定点，设定点带可调迟滞功能
  • 远程数字I/O传感器和发射开关，RS232/RS485串行通信 
  • Granville Phillips®Bayard-Alpert仪表控制器307和配件的直接替换

(Granville-Phillips® 和 Mini-Convectron® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标）

测量配置

VGC083 Available measurement configurations
VGC083 Available measurement configurations

背板视图

VGC083 Front
VGC083 Front
VGC083 A / B Backside
VGC083 A / B Backside
VGC083 C Backside
VGC083 C Backside

量具概览

BAG050
BAG051
BAG052
BAG053
BAG055
MAG050
MAG060
PGE050
测量原理贝亚德-阿尔伯特，热阴极电离
量具类型电子轰击（EB）脱气裸规
压力范围2.7×10-11 mbar to 1.3×10-3 mbar
测量原理贝亚德-阿尔伯特，热阴极电离
量具类型电阻式 (I2R) 脱气玻璃封装压力表
压力范围5.3×10-10 mbar to 1.3×10-3 mbar
测量原理贝亚德-阿尔伯特，热阴极电离
量具类型电阻式 (I2R) 脱气玻璃封装压力表
压力范围 5.3×10-10 mbar to 1.3×10-3 mbar
测量原理贝亚德-阿尔伯特，热阴极电离
量具类型电阻式 (I2R) 脱气玻璃封装压力表
压力范围5.3×10-10 mbar to 1.3×10-3 mbar
测量原理贝亚德-阿尔伯特，热阴极电离
量具类型微型金属封闭式电离计
压力范围1.3×10-9 mbar to 6.7×10-2 mbar
测量原理冷阴极
量具类型反相磁控管 
压力范围2×10-9 mbar to 5×10-3 mbar
测量原理冷阴极
量具类型反相磁控管 
压力范围1×10-10 mbar to 5×10-3 mbar
测量原理皮拉尼
量具类型增强对流 
压力范围1.3×10-4 mbar to 1333 mbar

规格

VGC083
VGC083
测量通道3
显示 
压力显示LED - 3 个独立的压力显示通道
编程和设置屏幕OLED
测量范围1 x 10-11 ... 1333  毫巴
测量单位（可选）毫巴、托、帕
设定点继电器6 个单刀双掷继电器 (SPDT)，用户可将其分配给任意压力表
触点额定值30 V（直流）时 5 A，250 V（交流）时 5 A，电阻负载
模拟输出离子表（BAG、MAG）、离子表与 PGE 组合、单 PGE
接口（数字）RS232, RS4851)
电源电压（外部）+20 ... +28 V (直流)
操作温度+0 ... +40 °C

1) 命令协议与 GP307 兼容

电缆

399-58x PGE050 cable, 50 °C
399-58x PGE050 cable, 50 °C
399-52x PGE050 Cable, 150 °C
399-52x PGE050 Cable, 150 °C
399-78x BAG050/051 nude IG cable, 50 °C
399-78x BAG050/051 nude IG cable, 50 °C
399-77x BAG050/051 nude IG bakeable cable, 200 °C
399-77x BAG050/051 nude IG bakeable cable, 200 °C
399-79x BAG 052/053 glass IG cable, 50 °C
399-79x BAG 052/053 glass IG cable, 50 °C
BAG055 Mini IG cable, 50 °C
399-81x BAG055 Mini IG cable, 50 °C
BAG055 Mini IG cable, 200 °C
399-86x BAG055 Mini IG cable, 200 °C
399-82x MAG050/060 cable, 50 °C
399-82x MAG050/060 cable, 50 °C
399-83x MAG050/060 bakeable cable, 250 °C
399-83x MAG050/060 bakeable cable, 250 °C

部件编号

部件编号
量具
电缆 VGC083A
电缆 VGC083B
电缆 VGC083C
399-700VGC083A 真空计控制器
399-701VGC083B 真空计控制器
399-702VGC083C 真空计控制器
  
399-710电源 220 W VGC083 (A & B)1)
399-711电源 60 W VGC083 (C)
399-714用于 1x VGC083x 的机架安装适配器
399-715用于 2x VGC083x 的机架安装适配器
  
1) 399-711 与 BAG055 一起使用时 
 BAG050
399-720BA nude EB-degas, DN40CF, dual iridium filament (Ir)
399-721BA nude EB-degas, DN40CF, dual tungsten filament (W)
  
 BAG051
399-725BA nude I2R, DN40CF, single iridium filament (Ir)
399-726BA nude I2R, DN40CF, dual iridium filament (Ir)
399-727BA nude I2R, DN40CF, dual tungsten filament (W)
  
 BAG052
399-740BA glass I2R, ¾’’ Kovar metal inlet port, single iridium filament (Ir)
399-741BA glass I2R, 1’’ Kovar metal inlet port, single iridium filament (Ir)
399-742BA glass I2R, ¾’’ glass inlet port, single iridium filament (Ir)
399-743BA glass I2R, 1’’ glass inlet port, single iridium filament (Ir)
399-744BA glass I2R, DN 25 ISO-KF, single iridium filament (Ir)
399-745BA glass I2R, DN 40 ISO-KF, single iridium filament (Ir)
399-746BA glass I2R, DN 16 ISO-CF, single iridium filament (Ir)
399-747BA glass I2R, DN 40 ISO-CF, single iridium filament (Ir)
  
 BAG053
399-750BA glass I2R, ¾’’ Kovar metal inlet port, dual tungsten filament (W)
399-751BA glass I2R, 1’’ Kovar metal inlet port, dual tungsten filament (W)
399-752BA glass I2R, ¾’’ glass inlet port, dual tungsten filament (W)
399-753BA glass I2R, 1’’ glass inlet port, dual tungsten filament (W)
399-754BA glass I2R, DN 25 ISO-KF, dual tungsten filament (W)
399-755BA glass I2R, DN 40 ISO-KF, dual tungsten filament (W)
399-756BA glass I2R, DN 16 ISO-CF, dual tungsten filament (W)
399-757BA glass I2R, DN 40 ISO-CF, dual tungsten filament (W)
  
 BAG055
399-760BA EB-degas, ¾’’ tube, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-761BA EB-degas, DN 16 ISO-KF, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-762BA EB-degas, DN 25 ISO-KF, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-763BA EB-degas, DN 40 ISO-KF, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-764BA EB-degas, DN 16 CF-R, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-765BA EB-degas, DN 40 CF-R, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-766BA EB-degas, 8 VCR female, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
  
 PGE050
352-500Pirani Gauge, DN ISO 16 KF, tungsten filament (W)
352-501Pirani Gauge, DN ISO 25 KF, tungsten filament (W)
352-502Pirani Gauge, DN ISO 40 KF, tungsten filament (W)
352-503Pirani Gauge, DN ISO 16 CF-R, tungsten filament (W)
352-504Pirani Gauge, DN ISO 40 CF-R, tungsten filament (W)
352-505Pirani Gauge, 4 VCR female, tungsten filament (W)
352-506Pirani Gauge, 8 VCR female, tungsten filament (W)
352-507Pirani Gauge, 1/8 NPT, tungsten filament (W)
  
 MAG050
399-840Cold Cathode Gauge, DN 25 ISO-KF, FPM sealed
399-841Cold Cathode Gauge, DN 40 ISO-KF, FPM sealed
399-842Cold Cathode Gauge, DN 40 CF-F, FPM sealed
  
 MAG060
399-845Cold Cathode Gauge, DN 40 ISO-KF, metal sealed
399-846Cold Cathode Gauge, DN 40 CF-F, metal sealed
 连接 BAG050 的电缆
 50 °C
399-7803 m (9.9 ft)
399-7818 m (25 ft)
399-78215 m (50 ft)
  
 200 °C
399-7703 m (9.9 ft)
399-7718 m (25 ft)
399-77215 m (50 ft)
399-779200 °C 电缆接触保护盖 (BAG050, BAG051)
  
 连接 BAG055 的电缆
 50 °C
399-8103 m (9.9 ft)
399-8118 m (25 ft)
399-81215 m (50 ft)
  
 200 °C 
399-8603 m (9.9 ft)
399-8618 m (25 ft)
399-86215 m (50 ft)
  
 连接 PGE050 的电缆
 50 °C
399-5803 m (9.9 ft)
399-5818 m (25 ft)
399-58215 m (50 ft)
  
 150 °C
399-5203 m (9.9 ft)
399-5218 m (25 ft)
399-52215 m (50 ft)
  
399-767电缆适配器 MKS / GP® 355 Micro-Ion® 至 VGC083A
  
 连接 BAG051 的电缆
 50 °C
399-7803 m (9.9 ft)
399-7818 m (25 ft)
399-78215 m (50 ft)
  
 200 °C
399-7703 m (9.9 ft)
399-7718 m (25 ft)
399-77215 m (50 ft)
399-779200 °C 电缆接触保护盖 (BAG050, BAG051)
  
 连接 BAG052/053 的电缆 
 50 °C
399-7903 m (9.9 ft)
399-7918 m (25 ft)
399-79215 m (50 ft)
  
 连接 PGE050 的电缆 
 50 °C
399-5803 m (9.9 ft)
399-5818 m (25 ft)
399-58215 m (50 ft)
  
 150 °C
399-5203 m (9.9 ft)
399-5218 m (25 ft)
399-52215 m (50 ft)
  
 连接  MAG050/060 的电缆 
 80 °C
399-8203 m (9.9 ft)
399-8218 m (25 ft)
399-82215 m (50 ft)
  
 250 °C
399-8303 m (9.9 ft)
399-8318 m (25 ft)
399-83215 m (50 ft)
  
 连接  PGE050 的电缆 
 50 °C
399-5803 m (9.9 ft)
399-5818 m (25 ft)
399-58215 m (50 ft)
  
 150 °C
399-5203 m (9.9 ft)
399-5218 m (25 ft)
399-52215 m (50 ft)
  
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