真空开关

VSA100A 环境压差

设定点低于环境温度3毫巴 

VSA100
嵌入式选项

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON 真空开关 VSA100A 作为安全开关广泛应用于真空系统中。例如,在使用压力低于大气压 6 mbar 的吹扫气体对真空系统排气时,该压力开关可自动中断气体供应。当差压为 6 mbar 且返回切换压力比大气压低 3 mbar 时,弹性膜片将激活转换接点,而该接点又可用来直接切换任何辅助设备。

好处

  • 性能可靠且价格适中的真空开关
  • 高使用寿命
  • 坚固耐用的设计
  • 易于集成
  • IP 44 保护

典型应用

  • 控制负荷闸室
  • 安全关闭真空系统

技术规格

开关压力mbar6 ±2 (below atmosphere)
反向开关mbar3 ±2 (below atmosphere)
运行压力(绝对)bar<2
保护类型 IP 44
暴露于真空的材料 

stainless steel 1.4305, EPDM, PTFE (Teflon)

 

技术说明:由于使用隔膜材料 (EPDM),真空开关 VSA100A 不适用于工艺气体含有大量氦气的应用。隔膜对氦气的泄漏速率为 -6 mbar l/s。
在此下载完整的规格

零件编号

Part NumberDescription
399-001VSA100A Vacuum Switch DN16KF, 3m Cable
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