真空开关
VSD200
设定点范围环境 -100 ... +50 Torr
嵌入式选项
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 真空开关设计用于准确而可靠地测量压力。这些坚固的电子开关可用于所有真空，包括压力联锁。开关有两种版本：绝压型（基准为真空）或差压型（基准为环境）。
功能
- IP 44 保护
- 无源触点继电器输出
- 高精度温度补偿传感器
- 压力范围 1×10-9 mbar … 2 bar
好处
- 耐腐蚀全不锈钢设计
- 设计稳健，符合洁净室标准
- 出厂预设或现场可调设定点，易于安装
典型应用
- 适合各种真空应用的大气压检测
- 压力互锁（电源、气源、泵、阀门、驱动装置等）
- 真空至高真空
技术规格
-100 ... +50 Torr
-100 ... +50 mbar
| 设定点范围 | mbar Torr | – –99 … +46 |
| 继电器输出 | 继电器输出 | n.o., n.c., potential free |
| 设定点精度 | Torr | ±0.75 |
| 暴露于真空的材料 | stainless steel | |
| 滞后 | Torr | 3 |
| 设定点范围 | mbar Torr | –99 … +46 – |
| 继电器输出 | 继电器输出 | n.o., n.c., potential free |
| 设定点精度 | Torr | ±0.75 |
| 暴露于真空的材料 | stainless steel | |
| 滞后 | Torr | 3 |
零件编号
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VSA200 VSD200 Vacuum Switch Datasheet
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