1. VGC094
真空计控制器

VGC094

用于真空控制的模块化一体化解决方案

VGC094
嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

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VGC094 是用于真空过程测量、控制和数据记录的著名解决方案。VGC094 与 INFICON 多种无源真空计兼容，能够监控从 1×10-11 到 1000 mbar 的整个真空压力范围。VGC094 可由用户配置，通过两套测量板控制多达 4 个无源真空计头（皮拉尼真空计、倒磁控真空计）。控制器提供最新的数字通信接口（USB、RS485、以太网），并可根据用户的特定通信标准（PROFIBUS、PROFINET）通过单独的接口板进行定制。VGC094 是性能要求苛刻的应用场合（如远距离操作、高温或高电离辐射暴露）的理想解决方案。

优势

  • 用于真空监测和控制的完整解决方案，监测范围从 1×10-11 到 1000 毫巴，甚至是远距离监测
  • 屏幕明亮清晰
  • 条形图显示，带设定点或压力与时间关系视图
  • 传感器操作简便，具有直观的参数、传感器或常规设置引导菜单
  • 数据和参数记录功能，带 USB 端口（背面）和 USB 闪存驱动器（正面）
  • 高分辨率 - 16 位 A/D 转换器
  • 4 路可编程 0 至 10 V 图表记录输出
  • 每个通道有四个可自由定义的设定点，滞后可调
  • RS485、以太网、可选 RS232 和现场总线通信接口

规格

VGC094
VGC094
测量通道4
显示屏液晶显示器，LED 背光
Measurement rate100 s-1
测量速率10 s-1
测量速率1 x 10-11 ... 1000  mbar
测量单位（可选）mbar、Torr、hPa、Micron、V
插件板插槽2 个测量板
1 个接口板
设定点继电器4
错误继电器1
频道分配可自由指定
调节范围传感器依赖性
磁滞可调节
联系浮动转换触点
联系评级30 V (ac) / 1.5 A
30 V (dc) / 1.5 A
连接器D-sub, 25 针, 母头
模拟输出4
范围0 ... 10 V / 4 ... 20 mA
接口（数字）USB 从设备、主设备、RS485、以太网、USB A 型（闪存驱动器）、 
USB B 型，M12 5 针 FCC68/RJ45
电源100 ... 240 V (ac)
频率50 ... 60 Hz
运行温度+5 ... +50°C

部件编号

部件编号
附件
398-401VGC094 真空计控制器
 PSG010 80°C 电缆
电缆连接器： 安费诺/安费诺
BG548402-T3 米（9.9 英尺）
BG548403-T6 米（19.8 英尺）
BG548450-T10 米（33 英尺）
BG548451-T15 米（49 英尺）
  
 用于 PSG017/018 80°C 的电缆
电缆连接器： 安费诺 / 推拉自锁式
BG548308-T3 米（9.9 英尺）
BG548309-T6 米（19.8 英尺）
BG548456-T10 米（33 英尺）
BG548457-T15 米（49 英尺）
  
 用于 PSG017/018 250°C 的电缆
电缆连接器： 安费诺 / 推拉自锁式
BG548414-T3 米（9.9 英尺）
BG548465-T6 米（19.8 英尺）
BG448047-T10 米（33 英尺）
BG448043-T15 米（49 英尺）
  
 用于 PSG010/017/018 80°C 的延长电缆
电缆连接器： 安费诺/安费诺
BG548466-T10 米（33 英尺）
BG548468-T20 米（65 英尺）
BG548470-T30 米（99 英尺）
  
 用于 MAG050/060/084 的电缆 80°C
电缆连接器： 卡口，SHV / SHV
BG548406-T3 m (9.9 ft)
BG548407-T6 m (19.8 ft)
BG548419-T10 m (33 ft)
BG548483-T15 m (49 ft)
  
 用于 MAG050/060/084 的电缆，250°C
电缆连接器： 卡口，SHV / SHV
BG548542-T3 m (9.9 ft)
BG548543-T6 m (19.8 ft)
BG448045-T10 m (33 ft)
BG548989-T15 m (49 ft)
  
 MAG070 80°C 电缆
电缆连接器 推拉自锁式，三同轴/三同轴
BG548306-T3 m (9.9 ft)
BG548317-T6 m (19.8 ft)
BG548490-T10 m (33 ft)
BG548491-T15 m (49 ft)
  
 测量板
IG546920-T双皮拉尼测量板, PI 300 D
IG549212-T双皮拉尼测量板, PI 300 DL
IG549214-T双皮拉尼测量板, PI 300 DN
IG441375-T双皮拉尼测量板, PE 300 DC9
IG441000-T皮拉尼/冷阴极测量板, CP 300 C9
IG441114-T皮拉尼/冷阴极测量板, CP 300 C10
IG441080-T皮拉尼/冷阴极测量板, CP 300 T11
IG441120-T皮拉尼/冷阴极测量板, CP 300 T11L
  
 接口板
IG441130-T接口和继电器板, IF300A RS232C
IG441250-T接口和继电器板, IF300B RS232
IG441390-T接口和继电器板, IF300C RS422
IG441395-T接口和继电器板, IF300P PROFIBUS
IG441396-T接口和继电器板，IF301P PROFIBUS 半继电器
398-421接口板，IF500 PROFINET
  
 皮拉尼量具
350-400PSG010 DN 10 ISO-KF
350-430PSG017 DN 16 ISO-KF
350-431PSG017 DN 16 CF-F
350-420PSG018 DN 16 ISO-KF
350-424PSG018 DN 16 CF-F
350-423PSG018 DN 40 CF-F
  
 冷阴极测量仪
399-840MAG050 DN 25 ISO-KF
399-841MAG050 DN 40 ISO-KF
399-842MAG050 DN 40 CF-F
399-845MAG060 DN 40 ISO-KF
399-846MAG060 DN 40 CF-F
399-847MAG070 DN 40 ISO-KF
399-848MAG070 DN 40 CF-F
399-849MAG084 DN 40 ISO-KF
399-850MAG084 DN 40 CF-F

皮拉尼量规

PSG010
PSG017
PSG018
压力范围8×10-4 … 1000 mbar
内部密封玻璃橡胶（FPM）
烘烤温度范围≤100°C
电离辐射耐受性-
特点钨 (W) 灯丝
压力范围8×10-4 … 1000 mbar
内部密封AI2O3 陶瓷 | 金属
烘烤温度范围≤250°C
电离辐射耐受性106 Gy
特点镍（Ni）丝，耐腐蚀
压力范围8×10-4 … 1000 mbar
内部密封AI2O3 陶瓷 | 金属
烘烤温度范围≤250°C
电离辐射耐受性106 Gy
特点钨 (W) 灯丝

反向磁控管冷阴极测量仪

MAG050
MAG060
MAG070
MAG084
压力范围 2×10-9 mbar to 5×10-3 mbar
内部密封AI2O3  陶瓷 | 弹性体 (FPM)
烘烤温度范围≤150°C
电离辐射耐受性-
磁场抗扰度-
特点Coax connector
压力范围1×10-10 mbar to 5×10-3 mbar
内部密封AI2O3 陶瓷 | 弹性体 (FPM)
烘烤温度范围≤250°C
电离辐射耐受性107 Gy
磁场抗扰度-
特点同轴接头
压力范围1×10-11 mbar to 5×10-3 mbar
内部密封AI2O3 陶瓷 | 弹性体 (FPM)
烘烤温度范围≤250°C
电离辐射耐受性107 Gy
磁场抗扰度-
特点三同轴连接器
压力范围1×10-8 mbar to 5×10-3 mbar
内部密封AI2O3 陶瓷 | 弹性体 (FPM)
烘烤温度范围≤230°C
电离辐射耐受性107 Gy
磁场抗扰度 
轴向≤280 mT
径向≤180 mT
特点双电离室原理
同轴接头

面板视图

VGC094 Front
VGC094 Front
VGC094 Back
VGC094 Back

测量配置

插槽 A + B
插槽 C
电路板类型

双皮拉尼测量板（PI 300 D、DN 或 DL）

双冷阴极测量板（PE 300 DC9）

皮拉尼+冷阴极组合测量板（CP 300 C9、C10、T11、T11L）

电路板类型

接口板

If 300 A、B、C、P，IF301 P，IF 500 PN

测量板 - 皮拉尼

PI 300 D
PI 300 DN
PI 300 DL
测量通道杜贝-皮拉尼（2 个传感器）
仪器类型PSG010 / PSG018
最大运行距离 
皮拉尼≤100 m
冷阴极-
测量通道杜贝-皮拉尼（2 个传感器）
仪器类型PSG017
最大运行距离 
皮拉尼≤100 m
冷阴极-
测量通道杜贝-皮拉尼（2 个传感器）
仪器类型PSG010 / PSG018
最大运行距离 
皮拉尼≤500 m
冷阴极-

测量板 - 冷阴极

PE 300 DC9
PE 300 DC9
测量通道双冷阴极（2 个传感器）
仪器类型MAG050 / MAG060
最大运行距离-
皮拉尼-
冷阴极≤100 m1)

 

1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 使用较低测量范围时

测量板 - 皮拉尼/冷阴极组合

CP 300 C9
CP 300 C10
CP 300 T11
CP 300 T11L
测量通道皮拉尼 + 冷阴极组合
仪器类型PSG010 or PSG018
MAG050 or MAG60 or MAG084
最大运行距离 
皮拉尼≤100 m
冷阴极≤100 m 1)

1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 使用较低测量范围时
测量通道皮拉尼 + 冷阴极组合
仪器类型PSG010 or PSG018
MAG050 or MAG60
最大运行距离 
皮拉尼≤100 m
冷阴极≤100 m 1)

1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) 使用较低测量范围时
测量通道皮拉尼 + 冷阴极组合
仪器类型PSG010 or PSG018
MAG070
最大运行距离 
皮拉尼≤100 m
冷阴极≤500 m
测量通道皮拉尼 + 冷阴极组合
仪器类型PSG010 or PSG018
MAG070
最大运行距离 
皮拉尼≤500 m
冷阴极≤500 m

接口板

IF 300 A
IF 300 B
IF 300 C
IF 300 P
IF 301 P
IF 500 PN
通信协议RS232C 接口和继电器（1.5 A）
通信协议RS232 接口和继电器（4.0 A）
通信协议RS422 接口和继电器（1.5 A）
通信协议PROFIBUS 接口和继电器（1.5 A）
通信协议PROFIBUS 接口和固态继电器（0.5 A）
通信协议PROFINET 接口
该产品用于以下市场
Analytical-Instrumentation-Navi
分析仪器

分析仪器市场为广大用户提供高度复杂的分析工具，涵盖不同应用场景和市场。INFICON与那些拥有最先进技术的制造商合作，帮助分析和识别最小的结构或元素组成，无论是气体、液体还是固体均在其适用范围内。

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Battery-Market-Navi
电池

从电极生产到生产线终端EOL终端的测试

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Display-Navi
显示器

INFICON汇聚尖端科技，实现最高质量的显示器产品

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energy-market-navi
能源

传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长，并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
工业制造

其中，真空技术大多用于保证清洁的环境，并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

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Mobility_and_Automotive-Navi
移动和汽车

在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试 。 汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

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Pharma_and_Medical-Navi
医药和医疗

提高生产力，帮助满足制药业的合规标准和质量要求 

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Research-and-Academia-Navi
研究与学术

通过基础研究揭开宇宙最深层的神秘面纱。今天的创新为您明天的技术研发提供动力

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器，确保产品安全、提高产量和最高生产力。

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