1. 旋转/直线运动馈入装置
真空馈通及更多

旋转/直线运动馈入装置

Rotary-Linear-Motion-Feedthroughs-ISO-KF
嵌入式选项

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备，无论它是否适用于此，比如：在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。

可用法兰设计 ISO-KF/ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbar•l/s 的真空系统。对于 UHV，还可提供全金属设计的馈入件。

好处

  • 两个 FPM 轴密封件
  • 直接推/拉和旋转启动
  • 配备有锁环和可选防转装置
  • 符合 2011/65/EU RoHS 标准

规格

FCH016-H
FCH025-H
FCH040-H
真空连接 DN16 ISO-KF
馈通/密封 FPM
轴连接 M3/Ø5mm
行程mm50
轴负载
最大行程时的径向力N10
扭矩Nm2
密封性，静态mbar•l/s1 x 10-9
压力（绝对值） 1 x 10-8 mbar...1bar
操作温度°C50
烘烤温度°C110
暴露在加工介质中的材料 不锈钢 304/1.4301, 
铝 6082

重量

 

kg0.1
真空连接 DN25 ISO-KF
馈通/密封 FPM
轴连接 M4/Ø8mm
行程mm100
轴负载 
最大行程时的径向力N15
扭矩Nm8
密封性，静态mbar•l/s1 x 10-9
压力（绝对值） 1 x 10-8 mbar...1bar
操作温度°C50
烘烤温度°C110
暴露在加工介质中的材料 不锈钢 304/1.4301, 
铝 6082

重量

 

kg0.2
真空连接 DN40 ISO-KF
馈通/密封 FPM
轴连接 M6/Ø12mm
行程mm150
轴负载 
最大行程时的径向力N30
扭矩Nm20
密封性，静态mbar•l/s1 x 10-9
压力（绝对值） 1 x 10-8 mbar...1bar
操作温度°C50
烘烤温度°C110
暴露在加工介质中的材料 不锈钢 304/1.4301, 
铝 6082

重量

 

kg0.3
在此下载完整的规格

零件编号

零件编号描述
FCH016-H
214-320Rotary/linear feedthrough, DN16 ISO-KF
214-072Anti-rotation device, DN16 ISO-KF
FCH025-H
214-322Rotary/linear feedthrough, DN25 ISO-KF
214-073Anti-rotation device, DN25 ISO-KF
FCH040-H
214-324Rotary/linear feedthrough, DN40 ISO-KF
214-074Anti-rotation device, DN40 ISO-KF
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