真空馈通及更多
旋转/直线运动馈入装置
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备，无论它是否适用于此，比如：在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。
可用法兰设计 ISO-KF/ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbar•l/s 的真空系统。对于 UHV，还可提供全金属设计的馈入件。
好处
- 两个 FPM 轴密封件
- 直接推/拉和旋转启动
- 配备有锁环和可选防转装置
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
规格
FCH016-H
FCH025-H
FCH040-H
| 真空连接 | DN16 ISO-KF | |
| 馈通/密封 | FPM | |
| 轴连接 | M3/Ø5mm | |
| 行程 | mm | 50 |
| 轴负载 | ||
| 最大行程时的径向力 | N | 10 |
| 扭矩 | Nm | 2 |
| 密封性，静态 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 压力（绝对值） | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
| 操作温度 | °C | 50 |
| 烘烤温度 | °C | 110 |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304/1.4301, 铝 6082 | |
重量
| kg | 0.1 |
尺寸图
| 真空连接 | DN25 ISO-KF | |
| 馈通/密封 | FPM | |
| 轴连接 | M4/Ø8mm | |
| 行程 | mm | 100 |
| 轴负载 | ||
| 最大行程时的径向力 | N | 15 |
| 扭矩 | Nm | 8 |
| 密封性，静态 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 压力（绝对值） | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
| 操作温度 | °C | 50 |
| 烘烤温度 | °C | 110 |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304/1.4301, 铝 6082 | |
重量
| kg | 0.2 |
尺寸图
零件编号
| 零件编号 | 描述 |
| FCH016-H | |
| 214-320 | Rotary/linear feedthrough, DN16 ISO-KF |
| 214-072 | Anti-rotation device, DN16 ISO-KF |
| FCH025-H | |
| 214-322 | Rotary/linear feedthrough, DN25 ISO-KF |
| 214-073 | Anti-rotation device, DN25 ISO-KF |
| FCH040-H | |
| 214-324 | Rotary/linear feedthrough, DN40 ISO-KF |
| 214-074 | Anti-rotation device, DN40 ISO-KF |
下载
数据表
Dreh-/Schiebedurchführungen ISO-KF DE
pdf
•
275,0 KB
•
德语
•
数据表
Rotary/Linear Motion Feedthroughs ISO-KF EN
pdf
•
274,3 KB
•
英文
•
数据表
Terminales de paso de movimiento lineal/giratorio ISO-KF ES
pdf
•
274,2 KB
•
西班牙语
•
数据表
回転式/直線状モーションフィードスルー ISO-KF JA
pdf
•
367,1 KB
•
日语
•
数据表
로터리/선형 동작 피드스루 ISO-KF KO
pdf
•
315,5 KB
•
韩语
•
数据表
旋转/直线运动馈入装置 ISO-KF ZH
pdf
•
362,6 KB
•
中文
•
数据表
