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旋转馈入装置
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Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
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Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
Digital interface
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INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备,无论它是否适用于此,比如:在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。
可用法兰设计 ISO-KF/ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbar•l/s 的真空系统。对于 UHV,还可提供全金属设计的馈入件。
好处
- 波纹管密封
- 全金属版本
- 可满足各种苛刻的真空要求
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
规格
FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
真空连接 | DN16 ISO-CF-F | |
馈通/密封 | 波纹管 | |
轴连接 | mm | 4 |
可传递扭矩 | ||
动态 | Nm | 0.4 |
动态,300 °C 时 | Nm | 0.2 |
静态 | Nm | 0.2 |
旋转速度 | rpm | 200 |
最大扭矩时 | rpm | ─ |
真空侧的轴负载 | ||
径向力 | N | 10 |
轴向力 | N | 5 |
服务寿命 | 旋转次数 | 1'000'000 |
刻度划分 | 程度 | 10 |
密封性 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
压力(绝对值) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
操作温度 | °C | 300 |
烘烤温度 | °C | 300 |
暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304L/1.4306, 不锈钢 304/1.4301, –/2.4360 | |
重量
| kg | 0.3 |
真空连接 | DN40 ISO-CF-F | |
馈通/密封 | 波纹管 | |
轴连接 | mm | 8 |
可传递扭矩 | ||
动态 | Nm | 4 |
动态,300 °C 时 | Nm | 2 |
静态 | Nm | 3 |
旋转速度 | rpm | 1000 |
最大扭矩时 | rpm | 500 |
真空侧的轴负载 | ||
径向力 | N | 60 |
轴向力 | N | 20 |
服务寿命 | 旋转次数 | 2'000'000 |
刻度划分 | 程度 | ─ |
密封性 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
压力(绝对值) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
操作温度 | °C | 300 |
烘烤温度 | °C | 300 |
暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304L/1.4306, 不锈钢 304/1.4301 | |
重量
| kg | 1.5 |
真空连接 | DN40 ISO-CF-F | |
馈通/密封 | 波纹管 | |
轴连接 | mm | 12 |
可传递扭矩 | ||
动态 | Nm | 10 |
动态,300 °C 时 | Nm | 2 |
静态 | Nm | 5 |
旋转速度 | rpm | 500 |
最大扭矩时 | rpm | 300 |
真空侧的轴负载 | ||
径向力 | N | 100 |
轴向力 | N | 30 |
服务寿命 | 旋转次数 | 1'000'000 |
刻度划分 | 程度 | ─ |
密封性 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
压力(绝对值) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
操作温度 | °C | 300 |
烘烤温度 | °C | 300 |
暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304L/1.4306, 不锈钢 304/1.4301, 不锈钢 303/1.4305 | |
重量
| kg | 3.0 |
零件编号
零件编号 | 描述 |
214-310 | Rotary feedthrough, FRU016-H, DN16 ISO-CF-F |
214-312 | Rotary feedthrough, FRU040-N, DN40 ISO-CF-F |
214-314 | Rotary feedthrough, FRU040-L, DN40 ISO-CF-F |
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数据表
Drehdurchführungen CF DE
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Rotary Feedthroughs CF EN
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Terminales de paso de giro CF ES
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回転式フィードスルー CF JA
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로터리 피드스루 CF KO
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旋转馈入装置 CF ZH
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