真空馈通及更多

旋转馈入装置

Rotary-Feedthroughs-CF
嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备,无论它是否适用于此,比如:在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。

可用法兰设计 ISO-KF/ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbar•l/s 的真空系统。对于 UHV,还可提供全金属设计的馈入件。

好处

  • 波纹管密封
  • 全金属版本
  • 可满足各种苛刻的真空要求
  • 符合 2011/65/EU RoHS 标准

规格

FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
真空连接 DN16 ISO-CF-F
馈通/密封 波纹管
轴连接mm4
可传递扭矩
动态Nm0.4 
动态,300 °C 时Nm0.2
静态Nm0.2
旋转速度rpm200
最大扭矩时rpm­─
真空侧的轴负载
径向力N10
轴向力N5
服务寿命旋转次数1'000'000
刻度划分程度10
密封性mbar•l/s5 x 10-11
压力(绝对值) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
操作温度°C300
烘烤温度°C300
暴露在加工介质中的材料 不锈钢 304L/1.4306, 
不锈钢 304/1.4301,  
–/2.4360

重量

 

kg0.3
真空连接 DN40 ISO-CF-F
馈通/密封 波纹管
轴连接mm8
可传递扭矩 
动态Nm
动态,300 °C 时Nm2
静态Nm3
旋转速度rpm1000
最大扭矩时rpm500­
真空侧的轴负载 
径向力N60
轴向力N20
服务寿命旋转次数2'000'000
刻度划分程度
密封性mbar•l/s5 x 10-11
压力(绝对值) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
操作温度°C300
烘烤温度°C300
暴露在加工介质中的材料 不锈钢 304L/1.4306, 
不锈钢 304/1.4301

重量

 

kg1.5
真空连接 DN40 ISO-CF-F
馈通/密封 波纹管
轴连接mm12
可传递扭矩 
动态Nm10 
动态,300 °C 时Nm2
静态Nm5
旋转速度rpm500
最大扭矩时rpm300­
真空侧的轴负载 
径向力N100
轴向力N30
服务寿命旋转次数1'000'000
刻度划分程度
密封性mbar•l/s5 x 10-11
压力(绝对值) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
操作温度°C300
烘烤温度°C300
暴露在加工介质中的材料 不锈钢 304L/1.4306, 
不锈钢 304/1.4301, 
不锈钢 303/1.4305

重量

 

kg3.0
在此下载完整的规格

零件编号

零件编号描述
214-310Rotary feedthrough, FRU016-H, DN16 ISO-CF-F
214-312Rotary feedthrough, FRU040-N, DN40 ISO-CF-F
214-314Rotary feedthrough, FRU040-L, DN40 ISO-CF-F
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