真空馈通及更多
旋转馈入装置 ISO-KF/ISO-K
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
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INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备，无论它是否适用于此，比如：在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。
可用法兰设计 ISO-KF/ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbar•l/s 的真空系统。对于 UHV，还可提供全金属设计的馈入件。
优势
- 适用于传输高扭矩
- 配备有 FPM 轴密封件和滚珠轴承
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
技术规格
FRH016-H
FRH025-H
FRH040-H
FRH063-H
| 真空连接 | DN16 ISO-KF | |
| 馈通/密封 | FPM | |
| 轴测量 | mm | Ø5 |
| 可转移的扭矩 | nm | 1.5 |
| 旋转速度 (1) | RPM | 1500 |
| 真空状态下的怠速扭矩 | N•cm | ≤ 3 |
| 真空下的启动扭矩 | N•cm | ≤ 6 |
| 真空侧的轴负载 | ||
| 径向力 | N | 60 |
| 轴向力 | N | 30 |
| 服务寿命 | 旋转次数 | 20 000 000 |
| 密封性，静态 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 压力（绝对值） | 1 x 10-9 mbar ... 1 bar | |
| 操作温度 | °C | 50 |
| 烘烤温度 | °C | 110 |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 420/1.4021, 铝 6082, 弹性体 FPM | |
| 重量 | kg | 0.1 |
| ||
| (1) 当可以接受减少的使用寿命时，可以将转速提高到2倍。 | ||
| (2) 有关的 DN63 ISO-K: | ||
| 供货中不包括定心环, CR 铝 零件编号212-251 / FPM 不锈钢 零件编号 212-281 . | ||
| 真空连接 | DN25 ISO-KF | |
| 馈通/密封 | FPM | |
| 轴测量 | mm | Ø8 |
| 可转移的扭矩 | nm | 6 |
| 旋转速度 (1) | RPM | 1000 |
| 真空状态下的怠速扭矩 | N•cm | ≤ 4 |
| 真空下的启动扭矩 | N•cm | ≤ 8 |
| 真空侧的轴负载 | ||
| 径向力 | N | 150 |
| 轴向力 | N | 50 |
| 服务寿命 | 旋转次数 | 20 000 000 |
| 密封性，静态 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 压力（绝对值） | 1 x 10-9 mbar ... 1 bar | |
| 操作温度 | °C | 50 |
| 烘烤温度 | °C | 110 |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 420/1.4021, 铝 6082, 弹性体 FPM | |
| 重量 | kg | 0.2 |
| ||
| (1) 当可以接受减少的使用寿命时，可以将转速提高到2倍。 | ||
| (2) 有关的 DN63 ISO-K: | ||
| 供货中不包括定心环, CR 铝 零件编号212-251 / FPM 不锈钢 零件编号 212-281 . | ||
| 真空连接 | DN40 ISO-KF | |
| 馈通/密封 | FPM | |
| 轴测量 | mm | Ø12 |
| 可转移的扭矩 | nm | 25 |
| 旋转速度 (1) | RPM | 750 |
| 真空状态下的怠速扭矩 | N•cm | ≤ 5 |
| 真空下的启动扭矩 | N•cm | ≤ 10 |
| 真空侧的轴负载 | ||
| 径向力 | N | 250 |
| 轴向力 | N | 60 |
| 服务寿命 | 旋转次数 | 20 000 000 |
| 密封性，静态 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 压力（绝对值） | 1 x 10-9 mbar ... 1 bar | |
| 操作温度 | °C | 50 |
| 烘烤温度 | °C | 110 |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 420/1.4021, 铝 6082, 弹性体 FPM | |
| 重量 | kg | 0.6 |
| ||
| (1) 当可以接受减少的使用寿命时，可以将转速提高到2倍。 | ||
| (2) 有关的 DN63 ISO-K: | ||
| 供货中不包括定心环, CR 铝 零件编号212-251 / FPM 不锈钢 零件编号 212-281 . | ||
| 真空连接 | DN63 ISO-KF | |
| 馈通/密封 | FPM | |
| 轴测量 | mm | Ø20 |
| 可转移的扭矩 | nm | 100 |
| 旋转速度 (1) | RPM | 500 |
| 真空状态下的怠速扭矩 | N•cm | ≤ 10 |
| 真空下的启动扭矩 | N•cm | ≤ 20 |
| 真空侧的轴负载 | ||
| 径向力 | N | 500 |
| 轴向力 | N | 100 |
| 服务寿命 | 旋转次数 | 10 000 000 |
| 密封性，静态 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 压力（绝对值） | 1 x 10-9 mbar ... 1 bar | |
| 操作温度 | °C | 50 |
| 烘烤温度 | °C | 110 |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 420/1.4021, 铝 6082, 弹性体 FPM | |
| 重量 | kg | 2 |
| ||
| (1) 当可以接受减少的使用寿命时，可以将转速提高到2倍。 | ||
| (2) 有关的 DN63 ISO-K: | ||
| 供货中不包括定心环, CR 铝 零件编号212-251 / FPM 不锈钢 零件编号 212-281 . | ||
零件号
| FRH016-H | |
| 214-300 | FRH016-H Rotary feedthrough DN16 ISO-KF |
| FRH025-H | |
| 214-302 | FRH025-H Rotary feedtrough DN25 ISO-KF |
| FRH040-H | |
| 214-304 | FRH040-H Rotary feedtrough DN40 ISO-KF |
| 214-347 | FRH040-H Rotary feedtrough DN40 ISO-KF |
| FRH063-H | |
| 214-306 | FRH063-H Rotary feedthrough DN63 ISO-K |
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