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电气馈入装置
电气馈入装置
![Electrical-Feedthroughs-DN40-CF-F Electrical-Feedthroughs-DN40-CF-F](/uploads/media/500x335/07/1097-Electrical-Feedthroughs-DN40-CF-F.png?v=2-0)
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Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
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INFICON 提供价格实惠的 ISO-KF 法兰馈入件,它已在世界各地的所有标准真空应用中使用多年。除了这种馈入件,还可配置真空腔室的真空侧和大气侧的连接器选择。
对于 UHV 应用,提供不同尺寸和技术规格的 CF 法兰型馈入件。
好处
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
规格
1馈通
1 馈通 (高电流)
2 馈通
4 馈通
9 馈通
真空连接 | DN40 ISO-CF-F | |
穿线装置数量 | 1 | |
每极电压 | kV | 0.3 |
每极电流 | A | 70 |
烘烤温度 | °C | 400 |
密封性 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
压力(绝对值) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
法兰 | 不锈钢 304L/1.4306 | |
导体 | 无氧铜 2.0040 | |
绝缘体 | 氧化铝陶瓷 Al2O3 | |
重量 | kg | 0.15 |
连接件:真空侧 | ||
件 | 2 | |
最大电流 | A | 20 |
烘烤温度 | °C | 400 |
材料 | 不锈钢 304/1.4301 | |
连接器:大气侧 | ||
件 | 2 | |
最大电流 | A | 100 |
绝缘,使用到 | V(ac)/V(dc) | 不绝缘 |
烘烤温度 | °C | 150 |
接触件
| 镀银黄铜 |
尺寸图
真空连接 | DN40 ISO-CF-F | |
穿线装置数量 | 1 | |
每极电压 | kV | 1 |
每极电流 | A | 200/1000 1) |
烘烤温度 | °C | 400 |
密封性 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
压力(绝对值) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
法兰 | 不锈钢 304L/1.4306 | |
导体 | 无氧铜 2.0040 | |
绝缘体 | 氧化铝陶瓷 Al2O3 | |
重量 | kg | 0.5 |
连接件:真空侧 | ||
件 | 1 | |
最大电流 | A | 1000 1) |
烘烤温度 | °C | 400 |
材料 | 2.0060 | |
连接器:大气侧 | ||
件 | 1 | |
最大电流 | A | 250 |
绝缘,使用到 | V(ac)/V(dc) | 30/60 |
烘烤温度 | °C | 150 |
接触件 | 镀银黄铜 | |
1) 带水冷
|
尺寸图
真空连接 | DN40 ISO-CF-F | |
穿线装置数量 | 2 | |
每极电压 | kV | 4 |
每极电流 | A | 150 |
烘烤温度 | °C | 400 |
密封性 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
压力(绝对值) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
法兰 | 不锈钢 304L/1.4306 | |
导体 | 无氧铜 2.0040 | |
绝缘体 | 氧化铝陶瓷 Al2O3 | |
重量 | kg | 0.45 |
连接件:真空侧 | ||
件 | 2 | |
最大电流 | A | 100 |
烘烤温度 | °C | 400 |
材料 | 不锈钢 304/1.4301 | |
连接器:大气侧 | ||
件 | 2 | |
最大电流 | A | 100 |
绝缘,使用到 | V(ac)/V(dc) | 30/60 |
烘烤温度 | °C | 50 |
接触件
| 镀银黄铜 |
尺寸图
真空连接 | DN40 ISO-CF-F | |
穿线装置数量 | 4 | |
每极电压 | kV | 1 |
每极电流 | A | 8 |
烘烤温度 | °C | 400 |
密封性 | mbar•l/s | 5 x 10-11 |
压力(绝对值) | 1 x 10-10 mbar...2 bar | |
法兰 | 不锈钢 304L/1.4306 | |
导体 | 不锈钢 304/1.4301 | |
绝缘体 | 氧化铝陶瓷 Al2O3 | |
重量 | kg | 0.3 |
连接件:真空侧 | ||
件 | 5 | |
最大电流 | A | 12 |
烘烤温度 | °C | 400 |
材料 | 不锈钢 304/1.4301 | |
连接器:大气侧 | ||
件 | 5 | |
最大电流 | A | 25 |
绝缘,使用到 | V(ac)/V(dc) | 30/60 |
烘烤温度 | °C | 50 |
接触件
| 镀金黄铜 |
尺寸图
零件编号
零件编号 | 描述 |
1 Feedthrough DN40 ISO-CF-F | |
214-136 | Feedthrough, 1 pole |
214-176 | Connector: atmospheric side |
214-195 | Connection piece: vacuum side |
1 Feedthrough DN40 ISO-CF-F (high current) | |
214-127 | Feedthrough, 1 pole |
214-177 | Connector: atmospheric side |
214-178 | Connector: atm. side, H2O cooled |
214-196 | Connection piece: vacuum side |
2 Feedthroughs DN40 ISO-CF-F | |
214-128 | Feedthroughs, 2 poles |
214-176 | Connector: atmospheric side |
214-195 | Connection piece: vacuum side |
4 Feedthroughs DN40 ISO-CF-F | |
214-116 | Feedthroughs, 4 poles |
214-173 | Connector: atmospheric side |
214-192 | Connection piece: vacuum side |
9 Feedthroughs DN40 ISO-CF-F | |
214-117 | Feedthroughs, 9 poles |
214-181 | Connector: atmospheric side |
214-198 | Connection piece: vacuum side |
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数据表
Elektrische Durchführungen DN40 CF-F DE
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Electrical Feedthroughs DN40 CF-F EN
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Terminales de paso eléctricos DN40 CF-F ES
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電気フィードスルー DN40 CF-F JA
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전기 피드스루 DN40 CF-F KO
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电气馈入装置 DN40 CF-F ZH
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1 Feedthrough (high current)
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1 Feedthrough (high current), atmospheric side
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1 Feedthrough (high current), vacuum side
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1 Feedthrough DN40 ISO-CF-F
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2 Feedthroughs
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4 Feedthroughs
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4 Feedthroughs, atmospheric side
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4 Feedthroughs, vacuum side
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9 Feedthroughs
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9 Feedthroughs, atmospheric side
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9 Feedthroughs, vacuum side
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Connection piece: vacuum side
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Connector atm. side, H₂O cooled
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Connector: atmospheric side
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