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Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
Digital interface
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INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备，无论它是否适用于此，比如：在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。
可用法兰设计 ISO-KF/ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbar•l/s 的真空系统。对于 UHV，还可提供全金属设计的馈入件。
好处
- 配有波纹管，可以满足更苛刻的真空要求
- 直接推/拉启动
- 使用测微螺丝进行高精度调节
- 2011/65/EU RoHS 符合
规格
FPU016-H
FPU040-H
FPU016-Z
FPU040-Z
| 真空连接 | DN16 ISO-CF-R | |
| 馈通/密封 | 波纹管 | |
| 轴连接 | M4x16 mm | |
| 致动器 | 人工 | |
| 行程 | mm | 25 |
| 每转行程 | mm | |
| 刻度划分 | mm | 5 |
| 轴负载 | ||
| 最大径向力 | N | 20 |
| 轴向力真空 | N | 85 |
| 轴向力对大气压 | N | 100 |
| 扭矩 | Nm | 0.2 |
| 密封性 | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 压力（绝对值） | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| 烘烤温度 | ||
| 馈通 | °C | 300 |
| 微米螺丝 | °C | |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304L/1.4306, 不锈钢 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 0.15 |
| 真空连接 | DN40 ISO-CF-R | |
| 馈通/密封 | 波纹管 | |
| 轴连接 | M6x10 mm, Ø10 mm | |
| 致动器 | 人工 | |
| 行程 | mm | 50 |
| 每转行程 | mm | |
| 刻度划分 | mm | 10 |
| 轴负载 | ||
| 最大径向力 | N | 100 |
| 轴向力真空 | N | 140 |
| 轴向力对大气压 | N | 200 |
| 扭矩 | Nm | 0.5 |
| 密封性 | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 压力（绝对值） | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| 烘烤温度 | ||
| 馈通 | °C | 300 |
| 微米螺丝 | °C | |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304L/1.4306, 不锈钢 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 0.75 |
| 真空连接 | DN16 ISO-CF-R | |
| 馈通/密封 | 波纹管 | |
| 轴连接 | M4x16 mm | |
| 致动器 | 微米螺丝 | |
| 行程 | mm | 20 |
| 每转行程 | mm | 0.5 |
| 刻度划分 | mm | 0.01 |
| 轴负载 | ||
| 最大径向力 | N | 20 |
| 轴向力真空 | N | 185 |
| 轴向力对大气压 | N | 200 |
| 扭矩 | Nm | 0.2 |
| 密封性 | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 压力（绝对值） | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| 烘烤温度 | ||
| 馈通 | °C | 300 |
| 微米螺丝 | °C | 100 |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304L/1.4306, 不锈钢 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 0.25 |
| 真空连接 | DN40 ISO-CF-R | |
| 馈通/密封 | 波纹管 | |
| 轴连接 | M6x10mm, Ø10 mm | |
| 致动器 | 微米螺丝 | |
| 行程 | mm | 50 |
| 每转行程 | mm | 1 |
| 刻度划分 | mm | 0.005 |
| 轴负载 | ||
| 最大径向力 | N | 100 |
| 轴向力真空 | N | 440 |
| 轴向力对大气压 | N | 500 |
| 扭矩 | Nm | 0.5 |
| 密封性 | mbar•l/s | 5 × 10-11 |
| 压力（绝对值） | 1 × 10-10 mbar...2 bar | |
| 烘烤温度 | ||
| 馈通 | °C | 300 |
| 微米螺丝 | °C | 100 |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304L/1.4306, 不锈钢 316Ti/1.4571 | |
重量
| kg | 1 |
零件编号
| 零件编号 | 描述 |
| 214-330 | Linear Motion Feedthrough, FPU016-H, DN16 ISO-CF-R |
| 214-332 | Linear Motion Feedthrough, FPU040-H, DN40 ISO-CF-R |
| 214-334 | Linear Motion Feedthrough, FPU016-Z, DN16 ISO-CF-R |
| 214-336 | Linear Motion Feedthrough, FPU040-Z, DN40 ISO-CF-R |
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数据表
Lineardurchführungen CF DE
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数据表
Linear Motion Feedthroughs CF EN
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数据表
Terminales de paso de movimiento lineal CF ES
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西班牙语
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直線状モーションフィードスルー CF JA
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数据表
선형 동작 피드스루 CF KO
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数据表
直线运动馈入装置 CF ZH
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