传感器和馈入件
Easy Rate Single Sensor
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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经济型单传感器可使产出达到最高，同时最大限度地降低成本。这些传感器通过延长传感器使用寿命和减少维护达到最高的可用性，同时通过最低的初始投资和总拥有成本使生产成本降至最低。这些传感器非常可靠，它们的零件可在现场方便地更换。
INFICON 经济型单传感器为厚度监控应用提供成本效益最高的解决方案，可采用标准和直角方向，还可进行适当配置以包含带有或不带标准管接头的馈入件。
备注：经济型单传感器使用 4.8 毫米（3/16 英寸）外径水冷管。 它们与配备馈入件的 Ultra-Torr 不兼容，需要管接头才能焊接到具有 4.8 毫米（3/16 英寸）外径水冷管的标准馈入件。
功能
- 最低的投资，最低的前期成本
- 延长传感器寿命，降低总拥有成本
- 以较少的维护实现最大的产量
- 安装简便
- 有标准和直角配置
- 可选百叶窗
- 可提供带或不带穿孔管接头的传感器/馈通组合
规格
| 最小水流时的最高工作等温环境温度 | 400° C |
| 晶体交换 | 前置式；自成一体的包装，便于交换 |
| 水管 | S-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) 无缝不锈钢管的壁厚 |
| 馈通规格-1 in. 螺栓 | |
| 材料 | 304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON® |
| 温度 | 操作环境为 300°C（带水冷）或 165°C (不带水冷) |
| 安装 | 1.015 in. ±0.010 in. 直径孔径 |
附件
辅料
易耗品
备件
| 命名 | 描述 |
| Easy Rate Sensor Feedthroughs | Easy Rate Sensor Feedthroughs |
| 命名 | 描述 |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| 零件编号 | 描述 |
| 784-205-G1 | Crystal Retainer Assembly |
| 784-204-G1 | Crystal Holder Assembly |
| 784-403-P1 | Crystal Finger Spring |
| 784-404-P1 | Retaining Ring |
| 784-300-P1 | Crystal Holder |
| 784-405-P1 | Holder Finger Spring |
| 750-174-P2 | Female coax |
| 080-011-P3 | SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP |
| 080-013 | #0-80 Split washer |
| 784-209-G1 | Shutter Kit, Single (Unassembled Parts) |
| 784-305-P1 | Easy Rate Single Sensor Shutter |
| 784-206-G1 | Easy Rate Sensor Actuator Assembly |
| 784-306-P1 | Easy Rate Sensor Actuator Clamp |
| 084-054S | Split Washer #4 Stainless Steel Spare |
| 084-027 | Socket Screw |
| 783-500-023 | In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.) |
| 783-500-024 | In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.) |
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3D文件
该产品被用于以下市场
