监测
IMM-200
IMM-200
让卓越成为可重复的事
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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用精确的速率和厚度监测来保护和增加您的利润
IMM-200是一款采用ModeLock技术的沉积监测器，以最高的厚度精度、最佳的测量分辨率和最低的速率噪声，最大限度地提高可重复性和均匀性。
由于内置了振荡器，IMM-200可以很容易地集成到一个以太网系统中，而且硬件和占地面积最小。这个强大而精确的测量监控器一定会给你的工艺带来新的性能水平。
功能
- INFICON ModeLock 技术提供最长的晶体寿命，并确保提供最稳定、最高分辨率的速率和厚度测量，即使在非常低的速率下也是如此。
- 通过最佳的 QCM 厚度测量，最大限度地提高产量
- 单通道速率和厚度监测器，没有不必要的附加功能，最大限度地降低了成本
- 100毫秒采样的±0.0035赫兹
- 以太网通信实现无缝集成
- 尺寸紧凑，通过节省工具空间，最大限度地降低集成成本
- 专家应用支持，能够讨论独特的应用需求，提供比竞争对手更多的支持
- 符合RoHS标准
典型应用
- 半导体制造
- OLED应用
规格
| 传感器输入 | 1 |
| 测量频率范围 | 6.0至4.5兆赫（固定） |
| 速率和厚度分辨率 | 0.0042埃（新晶体）；0.0076埃（晶体@4.5兆赫），超过100毫秒的样品，材料密度=1.0，Z-比率=1.0 |
| 通信类型 | 以太网，1个RJ45插口 |
零件编号
附件
易耗品
| 零件编号 | 描述 |
| 785-602-G1 | IMM-200 Thin Film Deposition Monitor |
| 零件编号 | 描述 |
| Optional Power Supplies | The power supplies listed below are rated for an input of 100 to 249 V (ac), 2 A, 50 to 60 Hz with an output of 24V (dc), 3.34 A, 80 W maximum. |
| 961-021-G1 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug |
| 961-021-G2 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G3 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G4 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug |
| 961-021-G5 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G6 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G7 | Power Supply Kit IL 240V |
| 961-021-G8 | Power Supply Kit IL 4.5 M Extension |
| 961-021-G9 | Power Supply Kit IL 9.0 M Extension |
| 961-021-G10 | Power Supply Kit UK 240V |
| 961-021-G11 | Power Supply Kit UK 4.5 M Extension |
| 961-021-G12 | Power Supply Kit UK 9.0 M Extension |
| Optional Mounting Bracket | |
| 785-202-G1 | Mounting bracket with four clean room compatible shock absorbing, female-to-female, stainless steel mounting feet |
| 785-201-G1 | Mounting bracket with four shock absorbing, male-to-female, black Neoprene rubber mounting feet |
| Optional Communications Cable | |
| 600-1190-P1 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 1 METER |
| 600-1190-P2 | SPEC- ETHERNET COMMUNICATION CABLE .3M |
| 600-1190-P4 | ETHERNET COMUNICATION CABLES 4.3 METER |
| 600-1190-P8 | Ethernet 7m cable |
| 600-1190-P15 | Ethernet 15m cable |
| 命名 | 描述 |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
该产品被用于以下市场
