IQM-233

在 PCI EXPRESS 卡上实现低成本沉积控制

IQM-233 PCI Express 卡可使您的 PC 变成薄膜沉积控制器。这种由 INFICON 设计和制造的产品是系统 OEM 或要将薄膜沉积控制器集成到现有 PC 或 PLC 控制系统的所有组织的理想选择。安装简便—只需您提供一个未占用的 PCI Express 插槽。IQM-233 可安装到标准或小型 PC 塔中。

无与伦比的功能
IQM-233 可在每个卡上提供三个 QCM 传感器输入和三个源输出。单台 PC 上最多可安装两个 IQM-233 卡（需要可选 IQS-233 软件），其最多可提供六个传感器输入和六个源输出。只有 INFICON 才能在完全集成的 PC 控制 QCM 控制器中提供这种灵活性。

IQM-233 可与 INFICON 振荡器 IPN 782-900-010 兼容，因此更换 SQM-242 卡不需要安装新振荡器。它还与所有 INFICON 单传感器头和双传感器头兼容。

选择最适合您的软件解决方案
IQM-233 随附基本 Windows® 软件，用于通过单 IQM-233 卡设置或控制连续沉积或共沉积过程。通过可选 IQS-233 共沉积 Windows® 软件可进行更加复杂的过程设置，包括多层共沉积、绘图以及与事件可选继电器/输入功能进行 PLC 集成。IQS-233 软件最多允许使用两个 IQM-233 卡。

作为希望编写自有软件的客户的备选方案，IQM-233 所包含的 LabVIEW™ 采样程序可提供基本功能并演示编程技术。

规格

PC 接口	PCIe x1 - PCE Express Slot (Std or SFF)

探头输入	3

测量频率范围	Adjustable: 4.0 MHz minimum 6.1 MHz maximum

厚度和速率分辨率/测量 (1)	±0.12 Å

源输出	3

(1) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 赫兹，0.25 秒测量间隔

零件编号

Part Number	Description
782-IQM-233-G1	IQM-233 QCM controller card for standard PCI Express slot
782-IQM-233-G2	IQM-233 QCM controller card for Small Form Factor (SFF) PCI Express slot
782-IQS-233	IQS-233 Codeposition software

附件

配件和备件

易耗品

名称	描述
Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Front Load Dual Sensor	Front Load Dual Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual Sensor	Cool Drawer Dual Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor
Easy Rate Dual Sensor	Easy Rate Dual Sensor
UHV Bakeable Sensor	UHV Bakeable Sensor
Sputtering Sensor	Sputtering Sensor

零件编号	描述
783-500-109-10	3 m (10 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 3 m (10 ft.) BNC cable
783-500-109-25	7.6 m (25 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 7.6 m (25 ft.) BNC cable
783-500-109-50	15.2 m (50 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 15.2 m (50 ft.) BNC cable
783-500-109-75	22.8 m (75 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 22.8 m (75 ft.) BNC cable
Oscillator Only	(No cables included)
783-500-013-G1	OSC-100 oscillator only (no cables)
Cables
600-1441-P1	SMA to BNC adapter for IQM-233 sensor inputs
782-902-011	15.2 cm (6 in.) BNC cable, male/female
782-902-012-10	3 m (10 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-25	7.6 m (25 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-50	15.2 m (50 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-75	22.8 m (75 ft.) BNC cable, male/male

名称	描述
Quartz Monitor Crystals	Quartz Monitor Crystals

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功能

规格

零件编号

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