监测
SemiQCM™ SR 用于半导体工艺监测的传感器
让卓越成为可重复的事
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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利用精确的速率和厚度监测来保护和增加您的利润
SemiQCM™ SR传感器是监测系统的一个组成部分，其他组成部分是IMM-200和FabGuard（版本19.12.00-a或更高)。
过程监测可用于半导体应用，通过监测前线或腔室排气中的前体数量，进行终点检测和故障排除。使用原位 QCM 可提供经济实惠的过程监测，并提高半导体过程的盈利能力。
只要有一块晶圆，就可以检测到前驱体无法输送到晶圆的故障。
功能
- 以 10Hz 的速度监测 QCM 数据
- FabGuard 将 QCM 数据与工具状态和过程步骤联系起来
- 精确测量沉积或蚀刻率
- 用于亚单层厚度测量的敏感度和精度
优势
- 实时的、现场的过程监测
- 防止过度蚀刻，确定炉室清洁终点
- 识别设备或工艺状态故障
典型应用
- 中兴通讯
规格
| 最高温度 | 200°C |
| 传感器头尺寸（最大包络面） | 23.87 mm O.D. x 29.19 mm (0.94 in. O.D. x 1.15 in.) |
| 材料 | |
| Body and Holder | 304 stainless steel |
| Springs | Au plated BeCu |
| Coaxial Line | 5 mm (1.88 in.) O.D. stainless steel |
| Other Mechanical Parts | 18-8 or 304 stainless steel, Hastelloy® c276 |
| Insulators | >99% Al2O3 in vacuum: Teflon® used elsewhere |
| Wire | 1. Ni (in vacuum) 2. Ni plated Cu (elsewhere) |
| Braze | Vacuum process high temperature NiCr alloy |
| Crystal | 13.97 mm (0.550 in.) diameter |
零件编号
易耗品
备件
| 零件编号 | 描述 |
| 750-7000-G5 | SEMI QCM SENSOR ASSY 50MM |
| 750-7000-G6 | Semi QCM Sensor Assy 60mm |
| 750-7000-G7 | Semi QCM Sensor Assy 70mm |
| 750-7000-G8 | Semi QCM Sensor Assy 80mm |
| 750-7000-G9 | Semi QCM Sensor Assy 90mm |
| 750-7000-G10 | Semi QCM Sensor Assy 100mm |
| 750-7000-G11 | Semi QCM Sensor Assy 110mm |
| 750-7000-G12 | Semi QCM Sensor Assy 120mm |
| 750-7000-G13 | Semi QCM Sensor Assy 130mm |
| 750-7000-G14 | Semi QCM Sensor Assy 140mm |
| 750-7000-G15 | Semi QCM Sensor Assy 150mm |
| 零件编号 | 描述 |
| 750-7013-G1S | Crystal Holder Assembly Spare |
| 750-1090-G10 | Sensor Crystals, 6MHz, SC Alloy |
| 零件编号 | 描述 |
| 007-023 | Ceramic Retainer |
| 750-171-P1 | Finger spring contact |
| 750-7005-G1S | Crystal Holder and Retainer Spring Spare Assembly |
该产品被用于以下市场
