沉积控制器
SQC-310
高精度顺序或共沉积控制
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON SQC-310 系列拥有先进的电子元件、改进的显示屏和非常实惠的价格，为您提供竞争对手薄膜控制器所不具备的功能。您可以选择适合您应用的理想型号：顺序沉积 (SQC-310) 或共沉积 (SQC-310C)。
功能
- 明亮的彩色液晶显示屏 - 提供英文或中文显示
- 标准RS-232和USB接口（可选RS-232和以太网接口）
- 通过 "快速设置 "菜单、6个上下文敏感按钮和方便的参数设置旋钮，实现简单的设置和操作
- Windows®程序，用于开发、测试和下载过程，并将仪表数据记录到PC上，用于过程分析和质量控制
- 精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，分辨率为±0.03 Hz，读数为10个/秒
- 可存储多达100个过程、1,000层、50层薄膜的数据
- 使用单个传感器或多个传感器监测源材料，以提供精确的源分布监测
下载
手册
SQC-310 Operating Manual (English - For Firmware Version 5.01 and earlier)
pdf
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1,5 MB
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英文
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操作手册
SQC-310 Series Thin Film Deposition Controller Operating Manual (Chinese)
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759,9 KB
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中文
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操作手册
SQC-310 Series Thin Film Deposition Controller Operating Manual (English)
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6,6 MB
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英文
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操作手册
SQC-310 Series Thin Film Deposition Controller Operating Manual (Japanese)
pdf
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806,1 KB
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日语
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操作手册
其他
SQC-300 Comm Software V1.10 (Windows - For firmware version 5.01 and earlier)
zip
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5,6 MB
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英文
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软件
SQC-310 LabVIEW™ Examples
zip
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44,4 KB
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英文
SQC-310 Comm Software V7.0 (Windows)
msi
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6,7 MB
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英文
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软件
Technical Note: Using SQC-310 USB with Windows 7 and 8
pdf
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474,4 KB
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英文
USB Installer v1.8.0
exe
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14,3 MB
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英文
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软件
