监测
STM-2 USB Thin Film Rate/ Thickness Monitor
Small in Size and Price, Big in Performance
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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尺寸小巧,价格低廉,性能强大
STM-2 将 USB 连接的简单与精密测量引擎的精度相结合,在一个结构紧凑、价格便宜的封装内实现所有功能。STM-2 小巧、简单,方便安装和操作。
出色的性能
STM-2 是行业内最精确的 USB 供电薄膜监测仪。每秒进行十次测量,从而实现每次测量 0.037 Å 的分辨率(密度为 1)。
轻松灵活安装
STM-2 附带了将 QCM 传感器/馈入件连接到 Windows® PC 所需的一切附件。只需将随附的 BNC 电缆从馈入件连接到 STM-2,然后使用标准微型 USB 电缆(随附)将 STM-2 连接到您的 PC 即可。无需外部振荡器或电源。
STM-2 配备内部振荡器,当 STM-2 距离石英晶体在 1 米(40 英寸)以内时,可采用这种简单并且具有成本效益的安装方式。在 STM-2 必须远离馈入件的应用中,可采用标准 INFICON® 振荡器套件。
STM-2 软件
STM-2 附带了 LabVIEW® 软件,该软件支持简单的运行和数据记录。它还附带了 Windows 软件,用于最多八个 STM-2 的同时运行和数据记录(每个 STM-2 需要一个供电的 USB 端口)。
请注意:需要安装 SMDP 服务器 STM-2 Windows 应用程序软件或 STM-2 LabVIEW 应用程序软件才能正常运行。
功能
- 低成本仪器
- USB 连接
- 内部振荡器
- 每秒 10 次测量时的高精度
- 兼容外部振荡器
- 附带软件
规格
传感器输入 | Female BNC |
测量频率范围 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) |
厚度和速率分辨率/测量 | ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz |
接口 | USB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc) |
计算机要求 | Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2 |
Part Number
Accessories
Consumables
Part Number | Description |
STM-2 | STM-2 USB Thin Film Rate/Thickness Monitor |
Name | Description |
Front Load Single Sensor | Front Load Single Sensor |
Cool Drawer Single Sensor | Cool Drawer Single Sensor |
UHV Bakeable Sensor | UHV Bakeable Sensor |
ALD Sensor | ALD Sensor |
Sputtering Sensor | Sputtering Sensor |
Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
Name | Description |
Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
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手册
手册
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