控制器

Zevision® IMC300

精密控制实现最大的重复性和无与伦比的晶体效率

INFICON IMC300 是下一代 Zevision 沉积控制器的一部分，它提供了当今光学镀膜机所需的全新专利技术。

ModeLock™ 测量系统

INFICON Zevision IMC300 采用 INFICON ModeLock™ 测量系统，以最高的厚度精度、最佳的测量分辨率和最低的速率噪声最大限度地提高再现性和均匀性。ModeLock 测量系统可延长可用晶体寿命，从而最大限度地延长正常运行时间和吞吐量，在某些情况下，可延长频率计数控制器预期寿命的两倍以上。

轻松实现系统集成

与 INFICON Zevision IMC300 的系统集成快速而简单，具有向后兼容性、逻辑性和可选功能，可使用单个控制器同时运行多个源。INFICON Zevision IMC300 采用触摸屏前面板，具有易于浏览的菜单和直观的配方构建功能。由于在所有命令和响应中只使用 ASCII 可打印字符和清晰的开始和停止字符，因此大大简化了软件的编写。新的串行通信协议还具有帮助命令，无需参考操作手册即可了解可用命令。

升级和后续服务计划

现在，所有固件更新和硬件升级均可在现场进行，选件卡安装简单，固件更新可通过前面板 USB 端口进行。可选的输入/输出和 2 传感器 2 信号源测量板可用于现场安装，无需额外工具。

尽管 INFICON Zevision IMC300 的使用寿命长达数十年，但您可以放心，在可选的售后服务计划期限内，维修是免费的。如果您的 INFICON Zevision IMC300 需要维修，可选择 2 年或 4 年的售后服务计划，以延长标准 2 年保修期。如果 IMC300 有售后服务计划，则在仪器的整个使用期内需要维修时，可以提供借用设备。

优势

使用 ModeLock 测量系统，以最高的厚度精度、最佳的测量分辨率和最低的速率噪声，最大限度地提高再现性和均匀性
利用 ModeLock（最长的晶体使用寿命）最大限度地增加运行次数，同时降低晶体消耗成本
通过向后兼容性、逻辑以及在单个流程中使用单个控制器同时运行多个源的可选功能，最大限度地降低集成成本，最大限度地提高集成速度
通过全球专家应用支持，最大限度地降低开发风险，优化系统性能

规格

测量
晶体频率范围	6.0 to 4.5 MHz
频率分辨率	±0.00656 Hz @ 6 MHz
频率精度	±2.5 ppm 0 to 50°C
测量率	10 Hz
厚度和速率分辨率	±0.008 Å and ±0.08 Å/s
厚度精度	0.5%
准确率	0.1%

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备件

部件编号	说明
051-1509S	Power Supply AC Input Spare
051-1510S	Fuse Drawer Spare
062-0128S	Fuse Spare
786-021-G1S	Hardware Spare Kit
786-210-G1S	Front Panel Assembly IMC300 Spare
786-211-G1S	Chassis Weld Assembly Spare
786-303-P1S	Bottom Cover Spare
786-304-P1S	Top Cover Spare
786-310-P1S	Card Guide Top Spare
786-311-P1S	Partition Spare
786-350-P1S	Controller Card Faceplate Spare
786-351-P1S	Faceplate Blank Spare