控制器
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控制器
IC6
结合了任何其他石英晶体控制器的最佳性能、质量和功能,提供了非凡的价值。
IC6
- INFICON ModeLock技术确保了最稳定、最高分辨率的速率和厚度测量,即使在非常低的速率下也是如此。
- 在材料沉积过程中自动确定 Z 比率,从而提高厚度的准确性
- 最多可以同时对六个来源进行编码沉积
- USB数据存储用于屏幕截图、配方存储和数据记录
控制器
Cygnus® 2
OLED 应用程序提供最佳测量精度
Cygnus® 2
- INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率,即使在速率极低的情况下
- Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值,可提高厚度测量的精度
- 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源,无需使用两个或三个控制器
- 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
控制器
XTC/3
先进的、经济实惠的单层或多层速率控制
XTC/3
- 提供有单层和多层型号
- 专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
- 支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及双传感器自动晶体转换,从而最大化生产力
- XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
控制器
IQM-233
在 PCI EXPRESS 卡上实现低成本沉积控制
IQM-233
- PCI Express
- 三个传感器输入,三个控制输出
- 在 PC 中安装多个卡
- 多源共沉积
控制器
Guardian™ EIES CONTROLLER
CIGS 薄膜的理想之选
Guardian™ EIES 控制器
- 监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
- 从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
- 集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
- 12 个继电器输出和 12 个数字输入
沉积控制器
SQC-310
高精度顺序或编码沉积控制
SQC-310
- 明亮的彩色液晶显示屏 - 提供英文或中文显示
- 标准RS-232和USB接口(可选RS-232和以太网接口)
- 通过 "快速设置 "菜单、6个上下文敏感按钮和方便的参数设置旋钮,实现简单的设置和操作
- Windows®程序,用于开发、测试和下载过程,并将仪表数据记录到PC上,用于过程分析和质量控制