监测器
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监测
IMM-100
采用ModeLock技术构建的紧凑型沉积监测器，以最高的厚度精度、最佳的测量分辨率和最低的速率噪声，最大限度地提高再现性和均匀性
IMM-100
- INFICON ModeLock 技术提供最长的晶体寿命，并确保提供最稳定、最高分辨率的速率和厚度测量，即使在极低的速率下也是如此
- 通过最佳的 QCM 厚度测量，最大限度地提高产量
- 单通道速率和厚度监测器，没有不必要的附加功能，以压缩尺寸并最大限度地降低成本
- EtherCAT通信实现无缝集成
监测
IMM-200
采用ModeLock技术构建的紧凑型沉积监测器，以最高的厚度精度、最佳的测量分辨率和最低的速率噪声，最大限度地提高再现性和均匀性
IMM-200
- INFICON ModeLock 技术提供最长的晶体寿命，并确保提供最稳定、最高分辨率的速率和厚度测量，即使在极低的速率下也是如此
- 通过最佳的 QCM 厚度测量，最大限度地提高产量
- 单通道速率和厚度监测器，没有不必要的附加功能，以压缩尺寸并尽量降低成本
- 以太网通信实现无缝集成
监测
SQM-160
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。
SQM-160
- 两个标准测量通道，另外四个可选
- 模拟输出便于记录速率/厚度
- 高分辨率选件：0.03 Hz，10 读数/秒
- RS-232 标准接口，可选择连接 USB 或以太网
监测
STM-2 USB Thin Film Rate/ Thickness Monitor
STM-2 将 USB 连接的简单与精密测量引擎的精度相结合，在一个结构紧凑、价格便宜的封装内实现所有功能。STM-2 小巧、简单，方便安装和操作。
STM-2 USB Thin Film Rate/ Thickness Monitor
- 低成本仪器
- USB 连接
- 内部振荡器
- 每秒 10 次测量时的高精度
监测
SemiQCM™ SR Sensors for Precursor Monitoring
SemiQCM™ SR sensor is one component of a system for precursor monitoring with the other components being an IMM-200 and FabGuard (version 19.12.00-a or higher).
SemiQCM™ SR 用于半导体工艺监测的传感器
- 实时的、现场的过程监测
- 防止过度蚀刻，确定炉室清洁终点
- 识别设备或工艺状态故障
监测
SemiQCM™ CR Sensors For Precursor Monitoring
real-Time, in situ process monitoring, prevent over-etching, identify chamber clean end point
SemiQCM™ CR 用于半导体工艺监测的传感器
- 实时的、现场的过程监测
- 防止过度蚀刻, 确定炉室清洁终点
- 识别设备或工艺状态故障