Trigon™ 简介

主要特性和功能

Trigon™ 的核心是贝亚德-阿尔珀特热离子计，在真空测量方面表现出色。Trigon™ 专为需要在 5 x 10-10 至 2 x 10-2 毫巴的高真空范围内进行真空测量的应用而设计，具有精确的精度。

• 可靠的双丝系统： Trigon™ 拥有双丝系统，不仅能保证卓越的精度，还能保证无与伦比的可重复性和使用寿命。在半导体制造等高要求应用中，这种冗余可确保不间断运行。
   
• 确保稳定性： 电隔离电子设备： 告别杂散电流。Trigon™ 采用电隔离电子元件，可保持性能稳定，是各行业复杂真空系统的理想之选。
   
• 运行平稳： 滑动发射模式：发射流切换期间的压力跳跃和冻结已成为过去。Trigon™ 引入滑动发射模式，确保无缝稳定运行。
   
• 经久耐用：扩展烘烤性： Trigon™ 配有可拆卸的数据校准芯片，可提供更长的烘烤时间，使其能够承受更热的加热条件。
   
• 以用户为中心的界面： 明亮的 OLED 显示屏： Trigon™ 上宽大明亮的 OLED 显示屏可旋转 90 度，便于阅读和配置。用户友好型界面简化了仪器操作和定制。
   
• 轻松连接： 多功能接口： Trigon™ 通过模拟输出、RS232C 串行接口和 EtherCAT® 现场总线提供灵活的连接选项，可轻松集成到各种真空系统中。
   
• 无缝集成： VGC50x 控制器系列兼容性： Trigon™ 与 INFICON 的真空计控制器系列无缝协作，确保为您的真空测量需求提供完全集成的解决方案。
   
• 环保制造： 符合 RoHS 规范： Trigon™ 遵循 RoHS 合规标准，强化了 INFICON 对环保制造的承诺。

受益应用

• 半导体工艺中的压力测量： Trigon™ 可确保半导体制造过程中的精度和可重复性，这是尖端技术的关键要求。 
   
• 工业镀膜： 在极具挑战性的条件下工作的行业将非常欣赏 Trigon™ 在高压力环境下的耐用性和可靠性。
   
• 通用真空测量和控制： Trigon™ 以其多功能性适应于需要在高真空到超高真空环境中进行真空测量和控制的各种应用。如果还需要在 ATM 范围内获得超平均值的精确测量结果，Trigon™ TripleGauge® 则是完成任务的最佳选择。