增强的周期时间
产品介绍和优势
对于每一个影响周期时间的批次，ECT 提供每个状态转换的逐秒详细状态信息。从工厂级别的周期时间深入到每个子状态，查看产品何时处于等待、暂停、调度、阻塞或加工中的状态。
ECT 与 Cycle Time Analyzer (CTA) 完全集成，提供用于研究动态周期时间和已完成批次周期时间的工具。
关键功能
新的周期时间状态提供对阻塞和停机工具的更高可见性
多年来，FPS Dynamic CTA 和 Finished Lot CTA 一直提供将周期时间划分为加工时间、等待时间和暂停时间的计算和可视化功能。通过 ECT，周期时间进一步细分为新的状态：已调度、已结束、阻塞和工具停机。
已调度：是指批次从被选择/调度/记录到工具中开始加工的时间。
已结束：是指批次加工结束后，直到从当前步骤移动/完成/记录到下一步骤的时间。
阻塞：是指批次在等待，但所有允许的工具由于队列计时器、光罩、临时禁用等原因被阻止立即运行该批次的状态。
工具停机：是指批次在等待，但所有允许的工具都处于停机状态。
从周期时间状态深入到子状态
我们使用 Enhanced Tool Performance (ETP) 模型对 E10 状态进行了详细子状态的划分，类似地，通过 ECT，我们将周期时间状态划分为详细的子状态。周期时间子状态的示例如下：
- 加工时间细分为批次开始到第一片晶圆、第一片晶圆到最后一片晶圆、最后一片晶圆到批次结束
- 暂停时间按暂停组细分
- 等待时间按位置/传送/自动化状态细分，例如远离、由手推车传送、由 AMHS 传送、接近工具等
- 工具停机细分为未计划停机、计划停机、工程状态
- 阻塞状态按原因细分，如队列计时器、光罩、临时禁用等
使用子状态分析后处理周期时间的示例
在 用户组会议上，讨论最热烈的主题之一是如何追踪加工结束与卸载之间的时间。通过新的 ECT 子状态，可以将加工结束与卸载之间的时间细分，以便进行更深入的分析。
场景 1: 加工结束 > 步骤完成 > 载体卸载
在该场景中，从加工结束到步骤完成的时间归类为周期时间子状态“仍在端口结束”。从步骤完成到载体卸载的时间归类为周期时间子状态“前一工具的端口上”。“前一工具的端口上”的时间被视为下一步骤的一部分。
我们曾考虑将与前一步骤相关的时间延长至载体卸载完成，但这会与通常假定的“总步骤周期时间是从步骤完成到步骤完成”这一原则相冲突。
场景 2: 加工结束 > 载体卸载 > 步骤完成
在该场景中，从加工结束到载体卸载的时间归类为周期时间子状态“仍在端口结束”，与第一个场景相同。然后，从载体卸载到步骤完成的时间归类为周期时间子状态“从工具上卸载后结束”。这两个子状态都属于结束状态，是此步骤周期时间的一部分。
