将 FabTime® 用作工厂调查工具

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FabTime® 是一款灵活的报告应用程序,在工厂中发挥着至关重要的作用。它为不同团队的工厂人员提供了一个标准化系统,以有效监控关键绩效指标、确定改进机会并快速回答有关工厂运营的问题。

FabTime 与其他报告应用程序的不同之处在于,它能为团队节省大量时间,找出问题的根本原因。使用 FabTime,工厂人员可以配置报告,将所需信息可视化,并在不涉及 IT 的情况下独立找出问题根源。有 175 种特定行业的报告可供选择,并具有钻取、过滤等多种配置功能,用户可以在几分钟内找出问题的根源,使团队能够更快地做出反应,将更多时间投入到改进工作中。

使用案例

一位工艺工程师告诉 IE 经理,某套 5X 工具同样有资格运行所有配方。但是,IE 经理希望在做出任何涉及这些工具的决定之前,独立验证这一说法的准确性。IE 向 FabTime 求助,希望快速得到答案。

在 FabTime 中,IE 有一系列选项来验证工具是否有资格运行所有配方。他们可以搜索相关报告并进行自定义,以显示必要的信息。或者,如果他们有一直在使用的已有报告,也可以从他们的仪表板之一轻松访问,从而简化验证过程。

在这种情况下,IE 可以使用 “工具每生产小时移动次数 ”报告。经审查,IE 发现 5XStep02 工具明显领先于其他工具,每小时晶圆移动次数较多。这种差距可能会让 IE 认为这些工具实际上并不具备同等资质。

MovesPerProductiveHourbyTool
MovesPerProductiveHourbyTool

为了进一步检查工具之间的生产差异,IE 管理员可以使用工具状态甘特图。该图表按工具说明了每个工具状态事务所耗费的时间。在筛选出 5X 工具并应用适当的时间段后,对该图表的分析将显示,尽管 5XStep01 比 5XStep02 显示出更高的可用性,但后者每生产小时的移动次数仍然更多。

ToolStateGantt
ToolStateGantt

为了进一步研究这套 5X 工具,IE 可以使用 “移动批量列表 ”图表。该图表直观地显示了各工具每小时移动的分布情况。要立即了解数据分布的透明度,IE 可以将该图表转换为方框图,只需在 FabTime 中点击几下即可。FabTime 方框图还包括直方图,在本例中,直方图向 IE 揭示了 5XStep02 的双模态分布,或者简单地说,显示了数据中两个突出的群体(直方图中的两个峰值)。与 5XStep01 围绕每小时 16 个单位(UPH)的分布不同,5XStep02 的分布是波动的。

MovesLotList
MovesLotList

在分析了这些报告后,IE 可以自信地确认,这套 5X 工具并不具备运行所有配方的同等资质。即使只有一份报告也足以得出这一结论,但建立和分析这些报告只需要 IE 花几分钟的时间,而且进一步强化了这一结论。IE 还可以通过更多的方式深入探讨这个问题,比如制作火花线图,并列比较不同步进器的每日走势。

MovesbyTool
MovesbyTool

此外,一旦 IE 对 5X 工具得出结论,IE 随后就可以使用 FabTime 来解决后续问题,即为什么 5XStep02 比其他工具运行得更快。利用堆叠帕累托图表,IE 可以按产品比较 5XStep01 和 5XStep02 的移动情况,以解释这种差异。IE 从图表中发现,这两个工具运行的产品并不相同,图表中明显的红色部分表明 5XStep01 运行的是所有 ASIC3 产品。

MovesbyToolStackedbyProduct
MovesbyToolStackedbyProduct

有了 FabTime,IE 迅速确定,假定同样合格的工具并没有运行相同的配方。此外,对 5XStep02 的进一步分析表明,它没有运行另一种工具中存在的产品。分析之后,IE 可以返回工艺工程和设备工程,讨论这些发现。可能存在软限制或硬限制,流程工程实施了这些限制,但却忘记取消。如果没有 FabTime,此类差异可能会被忽视,或者需要多名员工进行大量手动操作才能得出相同的结论。

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