将 FabTime® 用作工厂调查工具
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FabTime® 是一款灵活的报告应用程序,在工厂中发挥着至关重要的作用。它为不同团队的工厂人员提供了一个标准化系统,以有效监控关键绩效指标、确定改进机会并快速回答有关工厂运营的问题。
FabTime 与其他报告应用程序的不同之处在于,它能为团队节省大量时间,找出问题的根本原因。使用 FabTime,工厂人员可以配置报告,将所需信息可视化,并在不涉及 IT 的情况下独立找出问题根源。有 175 种特定行业的报告可供选择,并具有钻取、过滤等多种配置功能,用户可以在几分钟内找出问题的根源,使团队能够更快地做出反应,将更多时间投入到改进工作中。
使用案例
一位工艺工程师告诉 IE 经理,某套 5X 工具同样有资格运行所有配方。但是,IE 经理希望在做出任何涉及这些工具的决定之前,独立验证这一说法的准确性。IE 向 FabTime 求助,希望快速得到答案。
在 FabTime 中,IE 有一系列选项来验证工具是否有资格运行所有配方。他们可以搜索相关报告并进行自定义,以显示必要的信息。或者,如果他们有一直在使用的已有报告,也可以从他们的仪表板之一轻松访问,从而简化验证过程。
在这种情况下,IE 可以使用 “工具每生产小时移动次数 ”报告。经审查,IE 发现 5XStep02 工具明显领先于其他工具,每小时晶圆移动次数较多。这种差距可能会让 IE 认为这些工具实际上并不具备同等资质。
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为了进一步检查工具之间的生产差异,IE 管理员可以使用工具状态甘特图。该图表按工具说明了每个工具状态事务所耗费的时间。在筛选出 5X 工具并应用适当的时间段后,对该图表的分析将显示,尽管 5XStep01 比 5XStep02 显示出更高的可用性,但后者每生产小时的移动次数仍然更多。
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为了进一步研究这套 5X 工具,IE 可以使用 “移动批量列表 ”图表。该图表直观地显示了各工具每小时移动的分布情况。要立即了解数据分布的透明度,IE 可以将该图表转换为方框图,只需在 FabTime 中点击几下即可。FabTime 方框图还包括直方图,在本例中,直方图向 IE 揭示了 5XStep02 的双模态分布,或者简单地说,显示了数据中两个突出的群体(直方图中的两个峰值)。与 5XStep01 围绕每小时 16 个单位(UPH)的分布不同,5XStep02 的分布是波动的。
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在分析了这些报告后,IE 可以自信地确认,这套 5X 工具并不具备运行所有配方的同等资质。即使只有一份报告也足以得出这一结论,但建立和分析这些报告只需要 IE 花几分钟的时间,而且进一步强化了这一结论。IE 还可以通过更多的方式深入探讨这个问题,比如制作火花线图,并列比较不同步进器的每日走势。
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此外,一旦 IE 对 5X 工具得出结论,IE 随后就可以使用 FabTime 来解决后续问题,即为什么 5XStep02 比其他工具运行得更快。利用堆叠帕累托图表,IE 可以按产品比较 5XStep01 和 5XStep02 的移动情况,以解释这种差异。IE 从图表中发现,这两个工具运行的产品并不相同,图表中明显的红色部分表明 5XStep01 运行的是所有 ASIC3 产品。
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有了 FabTime,IE 迅速确定,假定同样合格的工具并没有运行相同的配方。此外,对 5XStep02 的进一步分析表明,它没有运行另一种工具中存在的产品。分析之后,IE 可以返回工艺工程和设备工程,讨论这些发现。可能存在软限制或硬限制,流程工程实施了这些限制,但却忘记取消。如果没有 FabTime,此类差异可能会被忽视,或者需要多名员工进行大量手动操作才能得出相同的结论。