未来的智慧排程

精确、有效的排程与决策可视性

Enhanced cycletime

INFICON FPS Factory Scheduler 为工厂营运提供精确的计划,以因应快速变化的业务条件。
不久前,我们根据世界各地工厂制程领域的部署情况,发布了新版本的工厂排程应用程序。这些新版本所包含的功能,扩大了我们针对半导体工厂中的动态复杂情况做出精确排程决策的能力,并提高了这些决策背后的计算的可视性。

在全球即将举办的展会中见到我们

不要错过亲身体验我们最新创新的机会。我们将在全球领先的行业展会上展示尖端解决方案。查看我们的完整展会日历,了解接下来在哪里可以见到我们,并看看我们的技术如何推动未来。

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决策能见度

知道Factory Scheduler是如何做出决策是知道Factory Scheduler做出正确决策的关键。我们已经明显地改善了在决定排程工具和排程时间时所使用的基本计算的可见性。
例如,当一个批次被排程时,当时作为排程选项的每个工具都会被分配一个分数。Factory Scheduler现在会显示每个可用工具的相对评分,并详细解释这些评分是如何计算出来的,以提供排程决策更好的可见性。

圆盘批次制程的产能建模

Disc Throughput可更精确地确定整体批次处理时间,从而改善工具利用率和下一步到达的排程。

在工厂的所有设备类型中,正确建模每个工具和配方组合的产量对于精确排程至关重要。了解每个流程所需的时间是从简单、孤立的调度清单过渡到整合工厂排程的关键因素。
新增的Disc Throughput支持是FPS Scheduler的第五个主要产能模型。Disc Throughput可改善工具的制程时间模型,这些工具在小于完整生产批次大小的批次中运行多个晶圆,这是某些植入器和其他工具的常见特性。

复杂的队列定时器管理

队列定时器(处理步骤之间的时间限制)对于半导体制造的品质管理至关重要。工厂排程自开始以来就支持队列定时器。
我们增强了现有的队列Timer管理逻辑,以改善处理更复杂的队列Timer情境,例如重叠、背对背和/或跨区域队列Timer。此改变可在不影响整体队列定时器质量的情况下,改善运作性能。

未來的排程器

工厂排程的未来是关于整个企业更紧密的整合,以及根据排程对工厂业务目标的满意程度来改进排程的分析和优化。

整合整个企业

从Factory Scheduler与   FabGuard®Metrology Sampling Optimizer 等系统之间的工厂层级整合,到与我们的Capacity AnalyzerMaintenance Optimizer 的业务层级整合,Factory Scheduler的未来是作为业务整合生态系统的一部分。这种整合将使工厂内部以及整个企业对不断变化的条件做出更快速的反应

改进的分析与优化

在我们现有的关键绩效指标(KPIs)的基础上,Factory Scheduler即将推出的版本将让您更好地了解Factory Scheduler是如何改善业务目标的。第一步是改善工厂排程配置对KPIs的影响。之后的版本将使系统能够根据业务目标优化排程,建议并最终实施配置变更。

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