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《FabTime》电子报，第26卷第1期

制造周期时间基础知识网络研讨会 一位来自设备供应商的与会者写道："你们是否有与设备供应商合作的模式或经验，以了解我们如何配置/操作工具来帮助工厂最大限度地提高生产率？ 我们自己做了一些内部工作，但我想知道是否有更多的合作能力来优化工具，以提高工厂的运营效率（而不是以牺牲工厂效率为代价过度优化单元工艺）"。

詹妮弗的回复：我已经为我的 团队周期课程 为另一家设备供应商举办的，从典型的四小时课程中选择最相关的内容。 这比你提到的概述网络研讨会更详细，互动性也更强。 我还举办了另一场网络研讨会，重点是用于减轻设备停机影响的指标 这显然与设备供应商有关。 但我还没有直接研究过工厂与设备供应商之间为优化性能而开展的合作。

我有一些想法可能会有所帮助：

• 为了最大限度地减少停机时间的负面影响，设备供应商应确保工具具有较高的总体可用性、较短的停机时间（包括计划内和计划外停机时间）以及较低的日间可用性可变性。
• 设备供应商还可以通过缩短工艺时间和降低工艺时间的可变性来帮助工厂。 提高制程时间的效率（缩短时间）有助于工厂释放工具的缓冲能力。 缓冲能力反过来又有助于防止变异。 使不同批次的工艺时间更加一致，可以减少可变性，有助于缩短周期时间。
• 设备供应商在不影响产量的前提下，为使更多工具更容易通过特定配方的鉴定，所做的一切也都有助于缩短生产周期。
• 由于合格工具的数量对工厂周期时间的影响，工厂有时最好使用两个速度较慢的工具，而不是一个速度较快的工具，尤其是在快速工具的可靠性不佳的情况下。 当然，这里还有其他需要考虑的问题（布局、人员配备等），但也许值得在某些时候研究一下这种影响。

一位来自掩模制造工厂的用户在参加了我们的设备停机时间指标网络研讨会后写信给我： 在您的 "绿色到绿色 "图表中，您认为什么是 "工程时间"？ 我一直在与我们的工艺工程师争论，他们的实验批次是否应该在绿色/生产时间与工程时间下运行。 如今，他们在生产时间下运行，并在停机事件后运行恢复板（金牌/监控器）时使用工程时间。 在我们目前的使用中，我会把工程时间放在停机状态窗口内。 我假设你们的工程时间更多的是 "可恢复 "时间，就像实验批次一样？

Jennifer 回答：我们的 "绿色到绿色 "代码将工程时间归类为 "绿色 "状态，这意味着它与生产时间或待机时间一样，不属于 "绿色到绿色 "实例的一部分。 我们根据 SEMI E10 中的规定指定工程时间。 或者，在实践中，我们的客户登录到 MES，然后告诉我们将其映射到工程时间中。 我的看法是，工程师使用工具进行实验的任何时间都是工程时间。 工具被记录为工程状态。 如果生产团队正在通过工程师拥有的工具运行大量工件，则该时间通常会计入生产时间。 (有关 "绿色到绿色 "图表的更多信息，请参阅 FabTime 时事通讯 20.02，可从 FabTime 时事通讯存档中下载。 存档仅对订阅者开放。 详情如下）。

但我并不直接参与安装项目。 我怀疑大家对这个问题普遍存在分歧。 因此，我把它写在这里，看看能否引发一些讨论。 读者们，你们认为实验批次应该在生产时间还是工程时间内进行？ 如果您有反馈意见，请告诉我。 我将在下一期与大家分享回复。

我们收到了两位订阅者对 12 月份时事通讯中有关 "瓦丁顿效应"（第 25 卷第 6 期）的文章的回复。 瓦丁顿效应是指定期维护有时会导致计划外停机时间的短期增加。

一位长期订阅的用户写道："我从来没有把它称为'瓦丁顿效应'，但是，是的，我可以看到这种情况的发生。 你正在做一个触发式 PM，而你没有从触发式 PM 中恢复过来，实际上你可能会比你计划的时间花费更多的时间。 您可能正在进行一项计划外活动，并在该活动的基础上开展了 PM 活动，但如果无法恢复，问题仍然会更大。 这篇文章的重点是 PM 活动变成计划外事件，而这种情况经常发生。 但是，我不确定这是否与 PM 的频率有关，也不确定是否与正确执行 PM 和恢复并使系统完美恢复的能力有关。

一位身为设备工程经理的用户写道："这个想法很有意思。 我总觉得 PM 与随后的计划外停机之间可能存在联系。 现在有了值得研究的东西。 我会让我们的改进部门对此进行分析，并很想知道你们的进一步结果。"

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