雅各布最大限度地延长了 Perovskite钙钛矿太阳能工艺的工具正常运行时间

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更长的过程监控时间和更高的生产率

Jacob雅各布是一家大型太阳能电池制造商的光伏设备工程师。雅各布与我们接洽,希望找到提高工具正常运行时间和生产能力的方法。由于苛刻的过氧化物材料会导致 QCM 失效,因此需要经常更换 QCM,从而限制了工具的运行时间。因此,雅各布在过去将其所有工具升级为 Crystal 12® 旋转传感器。Crystal 12 允许系统在监测寿命到期时自动切换到全新的晶体,技术人员无需任何工具即可轻松地将晶体转盘与已装入新晶体的备用转盘进行交换。然而,雅各布仍在寻找其他独特的方法来最大限度地提高他们的生产能力,他知道 INFICON 的应用专家可以为他提供帮助。

我们的团队与雅各布会面,讨论了所有工艺要求以及该工具目前使用的仪器。团队首先注意到 雅各布正在使用金电极 QCM。金电极 QCM 非常适用于低应力金属,但对于像钙钛矿石这样的苛刻材料,与合金电极 QCM 相比,QCM 的更换频率必须更高,而合金电极 QCM 的监测时间几乎是金电极 QCM 的 4 倍。雅各布迫切希望测试这些 QCM,因此 INFICON 向他发送了一些现成的库存样品。

Crystal 12 with Carousel
Crystal 12 with Carousel

团队还了解到,该工具配备了有源振荡器沉积控制器,因为这是一种低成本的控制器选择。当时这对雅各布来说是可行的,因为生产刚刚开始,控制器符合他们的产品生产流程。但此后,雅各布工厂的生产规模不断扩大,太阳能电池的需求也在不断增加,因此是时候更新设备以支持下一代太阳能电池产品了。我们告诉雅各布,与我们的 ModeLock 控制器(如 Cygnus® 2)相比,有源振荡器仪器的能力有限。ModeLock 控制器的分辨率比有源振荡器仪器高 10 倍,可将雅各布工艺的 QCM 监测时间延长一倍,这正是他所需要的。雅各布不仅对生产率的提高感到兴奋,还对 ModeLock 控制器的更高分辨率能够更好地支持下一代太阳能电池的过程控制要求感到兴奋。

Maximize Tool Uptime
Maximize Tool Uptime

Jacob 雅各布订购了 Cygnus 2 沉积控制器,并对 INFICON 提供的培训和安装支持感到满意。自从升级和更换 QCM 电极后,Jacob 的公司大幅提高了生产率和产品质量。

Cygnus2_sil_front_MEDIUM
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