Produktionsbetriebe, insbesondere Halbleiterfabriken, sind komplexe Systeme mit Tausenden von Maschinen. In diesem Umfeld ist es oft schwer, Zusammenhänge zu erkennen und Verbesserungen zu verfolgen.
In Teil I erfahren Sie, welche Leistungsindikatoren den Werkszustand gut repräsentieren und welche nicht. Mit der INFICON FPS-Suite können Sie die Leistung der gesamten Produktion bis hin zu einer einzelnen Kammer verfolgen.