Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

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INFICONs Halbleitersensoren nutzen eine Reihe von Prozesserfassungstechnologien, darunter Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristallmikrowaage, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen. In Verbindung mit der firmeneigenen Software haben die Benutzer Echtzeiteinsicht in ihre Prozesse und unmittelbare Kontrolle über ihre Anlagen, um Spitzentechnologien zu ermöglichen und Produkte höchster Qualität zu gewährleisten. 

Mit den Fortschritten in der Halbleitertechnologie und der steigenden Nachfrage nach Chips ist es wichtiger denn je, zu wissen, wie Gase und Plasmen mit der Umgebung interagieren. Ob Messungen während der Verarbeitung zur Gewährleistung der Produktsicherheit und -qualität, während der Kammerreinigung oder Werkzeugwartung zur Minimierung von Ausfallzeiten oder zur Überwachung von Abgasreinigungssystemen zur Reduzierung des Treibhausgasverbrauchs, INFICON bietet eine Vielzahl von Sensoroptionen, die auf spezifische Anwendungen zugeschnitten werden können. 

INFICONs Sensoren werden während des gesamten Halbleiterproduktionszyklus eingesetzt. Die Fähigkeit, die exakte Gaszusammensetzung zu messen, unterstützt die Forschung und Entwicklung im Frühstadium, die FEOL- und BEOL-Fertigung sowie die Leistung von Teilbereichen und der gesamten Anlage. Die Anwendungen erstrecken sich bis weit in den Back-End-Reinraum für die Sortierung und Montage von Werkzeugen, um zusätzliche Prozesskontrolle und Produktivität zu gewährleisten. Das Ergebnis ist ein qualitativ hochwertiger, zuverlässiger Prozess, der mit maximaler Produktivität und höchster Effizienz läuft.

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Wir freuen uns darauf, mit Ihnen im Halbleiter-Innovationszentrum zusammenzuarbeiten, wo unser Fachwissen, unsere innovativen Lösungen und unser Kundenservice zusammenkommen, um den Erfolg in der Halbleiterindustrie zu fördern.

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