Noch schnellere Dichtheitsprüfungen mit UL6000 Fab PLUS
In der Halbleiterindustrie und bei großvolumigen Produktionslinien zählt jede Sekunde. Der neue UL6000 Fab PLUS Helium-Lecksucher reduziert Ausfallzeiten und liefert schnellere Lecktestergebnisse.
In großvolumigen Produktionslinien zählt jede Sekunde. Die Zeit für die Dichtheitsprüfung und die Wartung der Anlagen sollte auf ein Minimum reduziert werden, da ungeplante Ausfallzeiten der Anlagen ebenfalls sehr kostspielig sind.
Mit dem neuesten Helium-Lecksucher UL6000 Fab PLUS für Dichtheitsprüfungen in großvolumigen Produktionslinien profitieren Sie von der neuen I∙RISE-Funktion für schnellere und präzisere Messergebnisse - in weniger als 10 Sekunden, unabhängig vom Kammervolumen.
I∙RISE: Extreme Zeitersparnis mit dem Rate-of-Rise-Feature zur Dichtheitsprüfung in Vakuumkammern
Halbleiter- und Vakuumanlagen werden während des Betriebs laufend durch Druckanstiegstests überprüft. Wird bei dieser integralen Dichtheitsprüfung ein Leck entdeckt, ist es oft nicht einfach festzustellen, welche der vielen Verbindungen, Durchführungen, Schweißnähte und Ventile die Ursache für das Leck sind.
Zur Lecksuche wird der UL6000 Fab PLUS an die Kammern angeschlossen und ein Heliumsprühtest durchgeführt, um die potenziellen Lecks zu lokalisieren. Wenn Helium an einer Sprühposition in das Vakuum des Geräts eindringt, ist ein Leck mit Sicherheit gefunden. Um jedoch festzustellen, ob es sich bei dieser Verbindung um das einzige Leck handelt oder ob es weitere Lecks gibt, muss ein weiterer Druckanstiegstest durchgeführt werden, sobald das Leck behoben ist. Der neue UL6000 Fab PLUS spart in diesem Szenario viel Zeit, denn er kann die Helium-Sprühmethode und den Rate-of-Rise-Test direkt nacheinander durchführen. Zudem überträgt der angeschlossene Lecksucher dank der neuen I∙RISE-Funktion den Druckanstieg des großen Produktionskammervolumens in sein kleines Innenvolumen - was die Integralprüfung enorm beschleunigt. Die Dauer eines Rate-of-Rise-Tests ist abhängig von der Größe der zu prüfenden Vakuumkammer. Das hat zur Folge, dass ein Test mit einer Vakuumanlage selbst die verlorene Produktionszeit erhöht. Die intelligente I∙RISE-Funktion des UL6000 Fab PLUS führt diesen Integraltest in nur 10 Sekunden durch. Gerade bei großen Produktionsanlagen sorgt I∙RISE damit für eine enorme Zeitersparnis.
Neben I∙RISE ist auch der Einsatz extrem effizienter Pumpen ein Grund dafür, dass sich die Geräte der UL6000 Fab Serie oft schon nach wenigen Einsätzen amortisieren: Dank der Rekordgeschwindigkeit reduzieren sie Produktionsunterbrechungen und Stillstandszeiten auf ein absolutes Minimum, zum Beispiel bei der planmäßigen Wartung eines Werkzeugs.
Der UL6000 Fab PLUS wurde für den Einsatz in der Halbleiter-, Solarzellen- und Flachbildschirmherstellung, für die Beschichtung von Glas- und Kunststofffolien und für Vakuumanlagen entwickelt.
Wenn Sie an diesem neuen Produkt interessiert sind, schauen Sie sich das UL6000 Fab PLUS Video an oder wenden Sie sich an Ihren zuständigen Vertriebsmitarbeiter.