SMART Essentials

für einfachere Handhabung und schnellere Ergebnisse bei der Helium-Lecksuche

SMART-Spray: schnell, einfach und verlässlich

Mit dem SMART-Spray bieten wir eine innovative Helium-Sprühpistole an. Das schlauchgebundene Hantieren mit großen Heliumflaschen und das fehleranfällige Einstellen der Sprühmenge gehören mit SMART-Spray der Vergangenheit an. "Das handliche Gerät, das für über 1.000 Sprühstöße pro Heliumfüllung ausgelegt ist, ersetzt eine Fernbedienung und kombiniert deren Funktionen mit denen einer manuellen Helium-Sprühpistole", fasst Produktmanager Markus Schwambera die Vorteile zusammen.ons macht die Dichtheitsprüfung mit dem batteriebetriebenen, tragbaren Gerät flexibler, einfacher und effizienter.

Ausgestattet mit einem beleuchteten Farbdisplay, erleichtert es die Lecksuche an komplexen Halbleitersystemen mit vielen Prüfpunkten und potenziellen Lecks. Diese Anwendungen zeichnen sich durch Grenzleckraten von weniger als 1 x 10^-9 mbar x l/s aus. In diesen Anwendungen macht das batteriebetriebene, tragbare Gerät die Leckprüfung flexibler, einfacher und effizienter.

I·BOOST: kurze Anp, präzises Messergebnis

Mit dem Signalverarbeitungsfilter I·BOOST beschleunigt INFICON das Leckratensignal. So verkürzen sich die Ansprech- und Prüfzeiten, speziell für die UL3000 Fab- und UL6000 Fab-Serie, weil die Prüfpunkte in kürzeren Intervallen besprüht werden können.

"Unterm Strich ergibt sich dadurch eine Zeitersparnis von bis zu 50 % bei der Lecksuche in allen Messbereichen", skizziert Produktmanager Markus Schwambera den Effizienzsprung. "Anwender, die die Lizenz erwerben, erhalten schnellere und präzisere Messergebnisse für unterschiedliche Kammervolumina", versichert Schwambera. Auch in komplexen Halbleitersystemen kommen die Vorteile von I-BOOST besonders zum Tragen.

Je niedriger die Grenzleckraten sind, desto länger dauern in der Regel die Prüfzyklen - und hier kommen die höhere Empfindlichkeit und die Zeitersparnis von I·BOOST am stärksten zum Tragen.

Markus Schwambera

Product Manager

SPRAY-Check: leicht zu installierendes Prüfleck

SPRAY-Check ist ein einfach zu installierendes Testleck. "Das Gerät basiert auf Quarzfenstern, die nur für leichte Gase wie Helium und Wasserstoff durchlässig sind. Das erhöht die Sicherheit und erweitert die Funktionalität der Lecksuche", erklärt Markus Schwambera. Mit SPRAY-Check kann der Messaufbau und die Prüfmethode im relevanten Leckratenbereich überprüft werden. Er kann auch direkt an das System angeschlossen werden, um Totzeitprüfungen durchzuführen.

"Manchmal vergeht zwischen dem Sprühstoß und der Anzeige auf dem Display eine gewisse Zeit", sagt Markus Schwambera. So kann der Anwender besser abschätzen, wie lange die Pause zwischen den Sprühstößen dauern sollte, um mögliche Leckagen eindeutig zuordnen zu können. Es gilt das Ausschlussverfahren: Gibt es nach Ablauf der Totzeit keine Anzeige, liegt kein Leck vor. "Da SPRAY-Check undurchlässig für prozessschädliche Gase wie Wasser oder Sauerstoff ist, kann es auch an der Halbleiteranlage montiert bleiben", erklärt der Produktmanager. Wichtige Einsatzgebiete sind Anlagen mit Grenzleckraten unter 10^-9 mbar x l/s.

Diese essentiellen Zubehöre sind weltweit erhältlich

SMART-Spray, I·BOOST and SPRAY-Check eignen sich für alle mobilen INFICON Helium-Leckdetektoren der UL-Familie, wobei I·BOOST der neuesten Generation von UL-Geräten (UL3000 Fab/UL6000 Fab-Serien) vorbehalten ist. Der UL6000 Fab ist dabei das leistungsstärkste und beste Gerät im Markt für größere Prüfumfänge in modernen Halbleiterfabriken sowie Beschichtungsanlagen mit sehr großen Kammervolumina. Er bietet in allen Messbereichen schnellste Reaktionszeiten und kürzeste Testzeiten. Durch sein kompaktes Design lässt er sich auch in engen Reinräumen einfach manövrieren. Auch die UL3000 Fab-Serie wurde für die Lecksuche in Halbleiterfabriken entwickelt. "Sie zeichnet sich durch Flexibilität, Mobilität, schnelle Inbetriebnahme und eine hohe Empfindlichkeit aus. Nutzer erhalten ihre präzisen Testergebnisse zudem sehr schnell und Geräte sind der Standard in modernen Halbleiter Fabriken", betont Produktmanager Markus Schwambera. Auch der UL3000 Fab braucht nur wenig Stellfläche und lässt sich leicht und wendig durch enge Reinräume befördern. Die UL1000 Fab-Serie deckt dabei ein breites Anwendungsfeld ab, wenn es um wirtschaftliche Helium-Vakuumlecktests in Industrie- oder Halbleiterumgebungen geht – insbesondere für kleinere Kammervolumen. Die wesentlichen Vorteile: Das Gerät ist sehr leistungsfähig, robust und günstig in der Anschaffung.

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