Kapazitätsmanometer

SKY® CDG160D

160°C temperature controlled, full scale 1 … 1000 Torr / mbar

Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Erfahren Sie mehr

INFICON SKY CDG160D-Hochtemperaturmanometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -regelung. CDG160D-Messgeräte sind zur besseren Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf 160 °C temperaturgeregelt.

Sie sind erhältlich für Vollskalabereiche von 1 Torr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid.

Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.

Vorteile

Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen
Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

Genauigkeit	% of reading	0.4

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.4

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Spezifikationen herunterladen

Artikelnummer

CDG160_200D Ordering information

CDG160_200D Ordering information

Downloads

Broschüren

SKY® CDG100-200D Brochure

pdf • 2,5 MB • Englisch • Broschüren

Vacuum Instrumentation with EtherCAT Brochure

pdf • 3,3 MB • Englisch • Broschüren

Datenblätter

SKY® CDG160D CDG200D Datasheet

pdf • 739,2 KB • Englisch • Datenblätter

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar JA

pdf • 1,0 MB • Japanisch • Datenblätter

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar KO

pdf • 909,4 KB • Koreanisch • Datenblätter

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar ZH

pdf • 539,6 KB • Chinesisch • Datenblätter

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar

pdf • 906,4 KB • Spanisch • Datenblätter

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar DE

pdf • 864,4 KB • Deutsch • Datenblätter

Maßzeichnungen

CDG160D dimension drawing

jpg • 586,2 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch • Maßzeichnungen

Handbücher

CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 2,1 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D manual

pdf • 1,4 MB • Chinesisch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D - Gebrauchsanleitung current loop (DE)

pdf • 1,1 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D - manual

pdf • 1,3 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D - manual current loop (EN)

pdf • 1,1 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

CDGxxxD Communication manual RS232C

pdf • 187,4 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN

pdf • 474,8 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

Communication protocol PROFIBUS

pdf • 592,8 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

Gebrauchsanleitung CDG160D CDG200D DE

pdf • 1,3 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

3D Dateien

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-NET

zip • 385,9 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D Tube E-CAT

zip • 239,9 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 16KF E-CAT

zip • 242,6 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f 9DSUB

zip • 374,9 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f 9DSUB

zip • 543,2 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m 9DSUB

zip • 565,8 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 16KF 9DSUB

zip • 536,8 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long E-CAT

zip • 934,4 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m E-CAT

zip • 954,3 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long P-NET

zip • 366,1 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f P-NET

zip • 296,1 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f P-NET

zip • 354,3 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D Tube P-NET

zip • 287,2 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 16KF P-NET

zip • 293,1 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long P-BUS

zip • 821,9 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f P-BUS

zip • 820,0 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-BUS

zip • 839,7 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long D-NET

zip • 853,0 KB • 3D Dokumente

SKY CDG160D 16CF 9DSUB

zip • 542,8 KB • 3D Dokumente

SKY CDG160D 16CF E-CAT

zip • 250,3 KB • 3D Dokumente

SKY CDG160D 4-VCR-f E-CAT

zip • 768,0 KB • 3D Dokumente

SKY CDG160D 4-VCR-m D-NET

zip • 869,0 KB • 3D Dokumente

SKY CDG160D 8-VCR-f long 9DSUB

zip • 544,7 KB • 3D Dokumente

Andere

CDG EtherCAT New Generation ESI V2

zip • 10,5 KB • Japanisch, Englisch

EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0

xml • 1,3 MB • Englisch

Software EDS for CDGxxxD

zip • 7,6 KB • Englisch

Software GSD for CDGxxxD

zip • 1,6 KB • Englisch

Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

Analytical-Instrumentation-Navi

Analytische Instrumente

Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

Mobility_and_Automotive-Navi

Mobilität & Automotive

Zuverlässige Lecktests in einer sich entwickelnden Industrie. Der Wandel in der Automobilindustrie macht Dichtheitsprüfung noch bedeutsamer.

Pharma_and_Medical-Navi

Pharma & Medizin

Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie

Research-and-Academia-Navi

Forschung & Ausbildung

Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi

Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

Wir benötigen für Videoinhalte Ihre Zustimmung

Mehr Informationen