Sensoren & Durchführungen
Crystal 12® Sensor
Automatischer Kristallwechsel maximiert Produktionszeit
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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In Kombination mit dem INFICON IC6-Dünnschichtabscheidungs-Controller wechselt der INFICON Crystal 12-Sensor seine Kristalle automatisch, ohne Ihren Prozess zu unterbrechen. Sobald ein Kristall unstabil wird oder versagt, erteilt der IC6 dem Crystal 12-Sensorkarussell die Anweisung, einen neuen Kristall in Position zu drehen, um die Überwachung der Abscheidungsrate aufrechtzuerhalten.
Zur zusätzlichen Reduzierung der Ausfallzeit können Kristalle in ein zweites optionales Karussell vorgeladen werden, das anschließend schnell und einfach gegen das Karussell mit den verbrauchten Kristallen ausgetauscht werden kann, so dass die Zeit, in der das System offen ist, verkürzt wird.
Merkmale
- Enthält 12 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Leicht auszubauendes Karussell ermöglicht den raschen Austausch aller 12 Kristalle
- Stabile Kristalltemperatur durch pneumatisch angetriebenen Kristallwechsel (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- Leicht abnehmbare vordere Abscheidungsabschirmung schützt die Kristalle und das Karussell vor Materialansammlungen und minimiert so die Notwendigkeit, den gesamten Sensor zur Wartung auszubauen
- Optionales Montagekit kann vom Benutzer geändert werden, so dass auch metrische Beschlagteile verwendet werden können
Spezifikationen
| Max. Ausheiztemperatur ohne Wasser | 130°C |
| Max. isotherme Umgebungsbetriebstemperatur bei minimalem Wasserdurchfluss | 300° C |
| Größe (max. Einbauraum) | 4.0 in. (102 mm) dia. x 3.3 in. (84 mm) high 4.75 in. (121 mm) dia. x 3.46 in. (88 mm) with optional mounting posts installed |
| Kristallaustausch | Front-loading |
Zubehör
Verbrauchsmaterialien
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 750-276-P3 | XTAL12 ACTUATOR COVER PASSIVATED |
| 750-644-G1 | CAROUSEL HOUSING WELDMENT |
| XL12-000100 | XTAL 12 Spare Deposition Shield |
| 750-286-P2 | Pneumatic Actuator,CrystalSix/Crystal 12 |
| 750-291-P1 | Detent, CrystalSix/Crystal 12 |
| 750-902-G1 | Crystal 12 Kit |
| 750-294-P2 | Stop Ratchet, CrystalSix/Crystal 12 |
| 750-293-P2 | Ratchet, CrystalSix/Crystal 12 |
| 750-256-P2 | Extension Spring |
| 750-252-P2 | DET,SPRING POST |
| 750-649-G1 | Electrical Connection, Crystal 12 |
| 750-295-G1 | Pawl/Actuator Stem, Crystal 12 Sensor |
| 750-258-P2 | DET,BEARING SHAFT |
| 070-0779 | Ball Bearing, CrystalSix |
| XL12-001000 | XTAL 12 Spare Carousel Assy |
| 750-650-P1 | Resistor Network Aperture Plate |
| 070-1253 | Dowel Pin, CrystalSix |
| 750-651-P1 | RESISTOR NETWORK SUPPORT |
| 750-655-P1 | RESISTOR NETWORK INSULATOR |
| 750-642-G1 | Resistor Network Grid Weldment |
| 750-661-P1 | Contact Terminal, Crystal 12 |
| 750-656-P1 | CRYSTAL INSULATOR |
| 321-038-P6 | Leaf Spring, Crystal 12 |
| 750-657-P1 | Leaf Spring, Grounding, Crystal 12 |
| 750-671-P1 | Torsion Spring, Gold Plated, Crystal 12 |
| 750-626-P1 | Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor |
| 750-647-P1 | Carousel Spindle Body, Crystal 12 |
| 070-1268 | Bearing, CrystalSix |
| 070-1254 | E-RING BOWED #H51310075STBtruarc |
| 750-660-P1 | Location Screw, 6-32, Crystal 12 |
| 007-126 | DET-30"STN STL SEAMLESS TUBING |
| 070-201 | #4 SPLIT LOCKWASHER SS |
| 084-004 | Nr. 4-40 x 0,187-Innensechskantschraube |
| 070-398 | #2 SPLIT LOCKWASHER SS |
| 070-0867 | B4-10,1/8"SHAFT SPACER .094TH |
| 070-170S | #2 Split Lockwasher SS Spare |
| 070-177 | Nr. 4-40 x 3,12-Sechskantschraube |
| 080-038S | Screw 0-80 x.375 LG Phil Pan HD SS Spare |
| 082-032S | Lock Washer #2 Stainless Steel Spare |
| 082-045 | Screw, Philips Pan Head, 2-56 x 0.187in. |
| 084-054 | Split Washer, #4, Stainless Steel |
| 082-022 | Washer, #2, Flat, Stainless Steel |
| 082-024 | Screw, Socket Head, 2-56 x 0.250 in. |
| 750-292-P2 | Detent Spacer, CrystalSix/Crystal 12 |
| 080-013 | Washer, Split Lock Stainless Steel |
| 080-007-P1 | Flat Washer, Stainless Steel |
| 080-009-P1 | Nr. 0-80 x 0,188-Innensechskantschraube |
| 084-048 | 4-40 X 1/4 PHIL FLAT MS S/S |
| 750-665-P1 | Shoulder Screw, 2-56, Torsion Spring |
| 084-093S | Screw Socket HD 4-40 x 1.125 in Spare |
| 086-084-P2S | Screw Socket HD Set 6-32 x 0.125in Spare |
| 086-041 | #6 FLAT WASHER |
| 086-038 | #6 SPLIT LOCKWASHER S/S |
| 086-036 | 6/32 X 3/8 SOC HD CAP SCR S/S |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | Kabel Sensorkopf 15.2 cm |
| 007-252 | Kabel Sensorkopf 30.5 cm |
| 321-039-G11 | In-vacuum Cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuo-Kabel, 78,1 cm (30 Zoll) |
| 007-059 | In-vacuum Cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | Kabel 120cm, Sputter Kopf |
| 321-039-G13 | In-vacuo-Kabel, 154 cm - Erfordert ModeLock-Controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum Cable, 182.9 cm (72 in.) |
| 321-039-G15 | In-vacuum Cable, 3.5 m (137.8 in.) |
| 321-039-G16 | In-vacuum Cable, 4 m (157.5 in.) |
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