Dünnschichtabscheidung
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![962-Research-Crystals 962-Research-Crystals](/uploads/media/323x215/02/962-Research-Crystals.png?v=1-0)
Der standardmäßige AT-CUT Quarz von 25,4 mm (1 Zoll) Durchmesser wird hauptsächlich in Forschungsanwendungen in Verbindung mit dem INFICON System RQCM (Research Quartz Crystal Microbalance) verwendet.
- Maximierung der Prozessleistung durch Qualität, Zuverlässigkeit und Support
- Verringern Sie das Prozessrisiko mit einer großen Auswahl an Elektrodenmaterialien, die mit Flüssigkeits- und Gasprozessen kompatibel sind.
- Jeder Kristall wird getestet und geprüft, um Qualität und höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten
- Erhalten Sie fachkundige und persönliche Unterstützung für Ihre einzigartige Anwendung.
![968-ALD-Sensor 968-ALD-Sensor](/uploads/media/323x215/08/968-ALD-Sensor.png?v=1-0)
Bringt die Wiederholbarkeit, die Präzision und die Langlebigkeit der Quarzkristallmikrowagenmessung (QCM) zur Atomlagenabscheidung (ALD)
- Betriebstemperatur bis zu 450 °C
- Spülgasleitung verhindert Ablagerung von Abscheidungsmaterial auf der Kristallrückseite
- Angeschweißter Conflat-Flansch (CF40) als Alternative
- O-Klemmringverschraubung als Alternative
![980-Cool-Drawer-Dual-Sensor 980-Cool-Drawer-Dual-Sensor](/uploads/media/323x215/00/980-Cool-Drawer-Dual-Sensor.png?v=1-0)
Für den Einsatz in kritischen Prozessen, bei denen ein zweiter Kristall in der Vakuumkammer empfehlenswert ist.
- Dualkristalle
- Cool Drawer-Kristallhalter
- Keine internen Kabel
- Kristallverschluss
![961-Cool-Drawer-Single-Sensor 961-Cool-Drawer-Single-Sensor](/uploads/media/323x215/01/961-Cool-Drawer-Single-Sensor.png?v=1-0)
Ermöglicht eine seitliche Kristallinstallation im Sensor. Dies ist besonders bei Systemen mit nicht genügend Raum für eine Kristallinstallation über Frontbeladung praktisch.
- Keine internen Kabel
- Cool Drawer-Kristallhalter
- Einfache Installation
- Ausheizbar bei Bestellung mit geschweißtem CF40-Flansch
![964-Crystal-12-Sesor 964-Crystal-12-Sesor](/uploads/media/323x215/04/964-Crystal-12-Sesor.png?v=1-0)
In Kombination mit dem INFICON IC6-Dünnschichtabscheidungs-Controller wechselt der INFICON Crystal 12-Sensor seine Kristalle automatisch, ohne Ihren Prozess zu unterbrechen
- Enthält 12 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Leicht auszubauendes Karussell ermöglicht den raschen Austausch aller 12 Kristalle
- Stabile Kristalltemperatur durch pneumatisch angetriebenen Kristallwechsel (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- Leicht abnehmbare vordere Abscheidungsabschirmung schützt die Kristalle und das Karussell vor Materialansammlungen und minimiert so die Notwendigkeit, den gesamten Sensor zur Wartung auszubauen
![975-CrystalSix-Sensor 975-CrystalSix-Sensor](/uploads/media/323x215/05/975-CrystalSix-Sensor.png?v=1-0)
Von entscheidender Bedeutung für lange Prozesse, die eine kontinuierliche Ratensteuerung erfordern
- Enthält 6 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Stabile Kristalltemperatur aufgrund des pneumatisch angetriebenen Kristallwechsels (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- 1/8-Zoll-Wasserkühlschläuche sorgen für thermische Stabilität und gestatten flexible Sensorplatzierung
- Optionaler Kristallverschluss erhältlich
![960-cygnus 960-cygnus](/uploads/media/323x215/00/960-cygnus.png?v=1-0)
Bietet ein außergewöhnliches Preis-Leistungsverhältnis durch Kombination der bewährten Qualität von INFICON mit einzigartigen Ausführungsmerkmalen, die zur Optimierung Ihres OLED-Prozesses beitragen.
- Die ModeLock-Technologie von INFICON bietet die stabilsten und höchsten Auflösungsraten und Dickenmessungen, selbst bei sehr niedrigen Raten.
- Auto Z verbessert die Dickengenauigkeit, indem das Z-Verhältnis automatisch bestimmt wird, sobald Material abgeschieden wird.
- Ein Cygnus 2 kann gleichzeitig bis zu sechs Quellen steuern, unabhängig voneinander oder in beliebigen Kombinationen, so dass die Verwendung von zwei oder drei Controllern nicht länger erforderlich ist
- Auf dem TFT-LCD-Farbdisplay können Sie Ihren Prozess schnell und einfach verfolgen
![965-Front-Load-Dual-Sensor 965-Front-Load-Dual-Sensor](/uploads/media/323x215/05/965-Front-Load-Dual-Sensor.png?v=1-0)
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe
- Dualkristalle
- Kristallverschluss
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
![976-Front-Load-Single-Sensor 976-Front-Load-Single-Sensor](/uploads/media/323x215/06/976-Front-Load-Single-Sensor.png?v=1-0)
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller verfügbaren Sensorköpfe
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
- Erhältlich mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung / CF40-Durchführung
- Justierbare Länge bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen
![967-Easy-Rate-Single-Sensor 967-Easy-Rate-Single-Sensor](/uploads/media/323x215/07/967-Easy-Rate-Single-Sensor.png?v=1-0)
Bieten aufgrund ihrer langen Lebensdauer und ihrer geringen Wartung maximale Verfügbarkeit und minimieren Ihre Produktionskosten
- Minimale Investition mit niedrigsten Anfangskosten
- Niedrigste Gesamtbetriebskosten durch längere Lebensdauer der Sensoren
- Maximaler Durchsatz bei geringerem Wartungsaufwand
- Einfache Installation
![959-Sensor-Feedthroughs 959-Sensor-Feedthroughs](/uploads/media/323x215/09/959-Sensor-Feedthroughs.png?v=2-0)
Ausführungen mit 2,54 cm (1 Zoll) Bolzen oder CF40 (2,75 Zoll ConFlat®) mit durchgebohrten Rohrverschraubungen erhältlich
- Ausführungen mit 2,54 cm (1 Zoll) Bolzen oder CF40 (2,75 Zoll ConFlat®) erhältlich
- Erhältlich mit durchgebohrten Rohrverschraubungen
![956-Guardian 956-Guardian](/uploads/media/323x215/06/956-Guardian.png?v=1-0)
Gleichzeitige Abscheidung von bis zu 8 Materialien
- Monitor and control simultaneous deposition of up to 8 materials
- Deposition rates from 0.1 to 10,000 Å/s
- Integrated EIES and QCM thin film process control
- 12 relay outputs and 12 digital inputs
![966-IC6 966-IC6](/uploads/media/323x215/06/966-IC6.png?v=1-0)
Bietet ein außergewöhnliches Preis-Leistungs-Verhältnis durch die Kombination der besten Leistung, Qualität und Funktionen aller anderen Quarzkristall-Controller
- Die INFICON ModeLock-Technologie sorgt für die stabilste, hochauflösendste Rate und Dickenmessung auf dem Markt, selbst bei sehr niedrigen Raten
- Auto Z verbessert die Dickengenauigkeit durch automatische Bestimmung des Z-Verhältnisses während des Materialauftrags
- Codepositionierung von bis zu sechs Quellen gleichzeitig
![973-IMM-100 973-IMM-100](/uploads/media/323x215/03/973-IMM-100.png?v=1-0)
Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
- Die INFICON ModeLock Technologie bietet die längste Lebensdauer der Kristalle und gewährleistet die stabilste, höchstauflösende Rate und Dickenmessung, die es gibt, selbst bei sehr niedrigen Raten
- Maximieren Sie Ihre Ausbeute mit der bestmöglichen QCM-Dickenmessung
![977-IMM-200 977-IMM-200](/uploads/media/323x215/07/977-IMM-200.png?v=1-0)
Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
- Die INFICON ModeLock-Technologie sorgt für die längste Lebensdauer der Kristalle und gewährleistet die stabilste, höchstauflösende Rate und Dickenmessung, die es gibt, selbst bei sehr niedrigen Raten.
- Maximieren Sie Ihren Ertrag mit der bestmöglichen QCM-Dickenmessung
- Einkanaliger Raten- und Dickenmonitor ohne unnötige Zusatzfunktionen zur Minimierung der Kosten
![979-IQM-233 979-IQM-233](/uploads/media/323x215/09/979-IQM-233.png?v=1-0)
Kostengünstige Abscheidungssteuerung auf einer PCI Express-Karte
- PCI Express
- Drei Sensoreingänge, drei Steuerausgänge
- Installieren Sie mehrere Karten in einem PC
- Koabscheidung mehrerer Quellen
![974-Easy-Rate-Dual-Sensor 974-Easy-Rate-Dual-Sensor](/uploads/media/323x215/04/974-Easy-Rate-Dual-Sensor.png?v=1-0)
Einfache und kostengünstige Lösung bei QCM-Anwendungen, wenn ein Kristall möglicherweise nicht ausreicht.
- Dualkristalle
- Hohes Preis-Leistungsverhältnis
- Niederprofildesign
- Inklusive Kristallverschluss
![1171-QCM-Sensor-Feedthroughs 1171-QCM-Sensor-Feedthroughs](/uploads/media/323x215/01/1171-QCM-Sensor-Feedthroughs.png?v=1-0)
Vielzahl von Quarzkristallmonitor(QCM)-Sensordurchführungen für unterschiedliche QCM-Sensor- und Kammerkonfigurationen
- Ausführungen mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung oder CF40-Durchführung (2,75-Zoll-ConFlat®) erhältlich
- Erhältliche Ultra-Torr-O-Ringverschraubungen
- Kundenspezifische Durchführungskonfigurationen erhältlich
- Andere Durchführungsbauarten auf Anfrage erhältlich
![982-Quartz-Crystal-Group 982-Quartz-Crystal-Group](/uploads/media/323x215/02/982-Quartz-Crystal-Group.png?v=1-0)
Quarzkristalle bieten eine Qualität und Zuverlässigkeit, die sich in Millionen von erfolgreichen Prozessläufen mit einer breiten Spanne an Materialien, Anwendungen und in zahlreichen Branchen bewährt hat.
- Steigern Sie die Rentabilität und maximieren Sie kontinuierliche Prozessabläufe mit erhöhter Produktionszeit
- Minimieren Sie die Kosten für Verbrauchsmaterialien mit Kristallen höchster Qualität, um eine maximale
- Lebensdauer der Kristalle zu gewährleisten
- Optimieren Sie die Bestandsverwaltung mit flexiblen Lieferplänen und vorrätigen Produkten
![958-RSH-600-Rotary-Sensor 958-RSH-600-Rotary-Sensor](/uploads/media/323x215/08/958-RSH-600-Rotary-Sensor.png?v=1-0)
Für anspruchsvolle Prozesse mit sehr dicken Schichten und mehreren verschiedenen Materialien
- Six crystals
- Position feedback (Controller dependent)
- Adjustable length (with optional flange)
- Rugged design
![969-SQM-160 969-SQM-160](/uploads/media/323x215/09/969-SQM-160.png?v=1-0)
Das SQM-160 verwendet bewährte Quarzkristall-Sensortechnik von INFICON, um Raten und Dicke bei Dünnschichtabscheidungsprozessen zu messen.
- Zwei Messkanäle sind Standard, vier weitere sind optional.
- Analoge Ausgänge zur Raten-/Dickenaufzeichnung
- Variante mit hoher Auflösung: 0,03 Hz bei 10 Messungen/s
- RS-232 standardmäßig, USB oder Ethernet optional
![981-STM-2 981-STM-2](/uploads/media/323x215/01/981-STM-2.png?v=1-0)
Vereint die Einfachheit der USB-Konnektivität mit der Genauigkeit eines Präzisionsmessprogramms
- Kostengünstiges Instrument
- USB-Anschluss
- Interner Oszillator
- Hohe Genauigkeit bei 10 Messungen pro Sekunde
![963-SemiQCM-CR-Sensor 963-SemiQCM-CR-Sensor](/uploads/media/323x215/03/963-SemiQCM-CR-Sensor.png?v=1-0)
Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
- Prozessüberwachung in Echtzeit, in situ
- Verhindern Sie Überätzung, identifizieren Sie den Endpunkt der Kammerreinigung
- Identifizieren Sie Fehler in der Ausrüstung oder im Prozess
![955-TDMAT-Sensor 955-TDMAT-Sensor](/uploads/media/323x215/05/955-TDMAT-Sensor.png?v=1-0)
Der SemiQCM™ SR-Sensor ist eine Komponente eines Systems zur Precursor-Überwachung. Die anderen Komponenten sind ein IMM-200 und FabGuard (Version 19.12.00-a oder höher).
- Prozessüberwachung in Echtzeit, in situ
- Verhindern Sie Überätzung, identifizieren Sie den Endpunkt der Kammerreinigung
- Identifizieren Sie Fehler in der Ausrüstung oder im Prozess
![957-Sputtering-Sensor 957-Sputtering-Sensor](/uploads/media/323x215/07/957-Sputtering-Sensor.png?v=1-0)
Speziell für den Einsatz in Zerstäubungsverfahren konzipiert
- Sensorgehäuse und Kühlrohre aus vergoldetem Beryllium-Kupfer für maximale Kühlleistung
- Magnet zur Ablenkung freier Elektronen aus dem Monitorkristall
- Einfache Installation mit biegsamen Wasserschläuchen bietet Flexibilität bei der Sensorplatzierung
- Kristalleinsatz durch rückseitige Beladung ermöglicht einfachen Kristallaustausch
![978-UHV-Bakeable-Sensor 978-UHV-Bakeable-Sensor](/uploads/media/323x215/08/978-UHV-Bakeable-Sensor.png?v=1-0)
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe
- Hochtemperaturgelötete & geschweißte Bauweise
- Ausheiztemperaturen bis 450 °C
- Kristallverschluss (optional)
- Kristallhalter zur Frontbeladung
![972-XTC3M 972-XTC3M](/uploads/media/323x215/02/972-XTC3M.png?v=1-0)
Fortschrittliche, erschwingliche Ratensteuerung für Einfach- oder Mehrfachschichten
- Erhältlich in Modellen für Einfach- oder Mehrfachschichten
- Patentierte ModeLock-Technologie verhindert Schichtdickenfehler aufgrund von Modensprüngen
- Unterstützt INFICON Crystal 12®, Crystal Six® und automatische Dualsensor-Kristallumschaltung für maximale Produktivität
- Das XTC/3M-Modell für Mehrfachschichten unterstützt bis zu 99 Prozesse, 999 Ebenen, 32 Schichten, 2 Sensoren und 2 Quellen