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Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung

Die INFICON ModeLock Technologie bietet die längste Lebensdauer der Kristalle und gewährleistet die stabilste, höchstauflösende Rate und Dickenmessung, die es gibt, selbst bei sehr niedrigen Raten
Maximieren Sie Ihre Ausbeute mit der bestmöglichen QCM-Dickenmessung

Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung

Die INFICON ModeLock-Technologie sorgt für die längste Lebensdauer der Kristalle und gewährleistet die stabilste, höchstauflösende Rate und Dickenmessung, die es gibt, selbst bei sehr niedrigen Raten.
Maximieren Sie Ihren Ertrag mit der bestmöglichen QCM-Dickenmessung
Einkanaliger Raten- und Dickenmonitor ohne unnötige Zusatzfunktionen zur Minimierung der Kosten

Das SQM-160 verwendet bewährte Quarzkristall-Sensortechnik von INFICON, um Raten und Dicke bei Dünnschichtabscheidungsprozessen zu messen.

Zwei Messkanäle sind Standard, vier weitere sind optional.
Analoge Ausgänge zur Raten-/Dickenaufzeichnung
Variante mit hoher Auflösung: 0,03 Hz bei 10 Messungen/s
RS-232 standardmäßig, USB oder Ethernet optional

Vereint die Einfachheit der USB-Konnektivität mit der Genauigkeit eines Präzisionsmessprogramms

Kostengünstiges Instrument
USB-Anschluss
Interner Oszillator
Hohe Genauigkeit bei 10 Messungen pro Sekunde

955-TDMAT-Sensor

SemiQCM™ SR Sensoren für die Überwachung von Vorläuferstoffen

Der SemiQCM™ SR-Sensor ist eine Komponente eines Systems zur Precursor-Überwachung. Die anderen Komponenten sind ein IMM-200 und FabGuard (Version 19.12.00-a oder höher).

SemiQCM™ SR Sensoren für die Überwachung von Vorläuferstoffen

Prozessüberwachung in Echtzeit, in situ
Verhindern Sie Überätzung, identifizieren Sie den Endpunkt der Kammerreinigung
Identifizieren Sie Fehler in der Ausrüstung oder im Prozess

963-SemiQCM-CR-Sensor

SemiQCM™ CR-Sensoren für die Überwachung von Vorläuferstoffen

Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung

SemiQCM™ CR-Sensoren für die Überwachung von Vorläuferstoffen

Prozessüberwachung in Echtzeit, in situ
Verhindern Sie Überätzung, identifizieren Sie den Endpunkt der Kammerreinigung
Identifizieren Sie Fehler in der Ausrüstung oder im Prozess

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