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![973-IMM-100 973-IMM-100](/uploads/media/323x215/03/973-IMM-100.png?v=1-0)
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IMM-100
Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
IMM-100
- Die INFICON ModeLock Technologie bietet die längste Lebensdauer der Kristalle und gewährleistet die stabilste, höchstauflösende Rate und Dickenmessung, die es gibt, selbst bei sehr niedrigen Raten
- Maximieren Sie Ihre Ausbeute mit der bestmöglichen QCM-Dickenmessung
![977-IMM-200 977-IMM-200](/uploads/media/323x215/07/977-IMM-200.png?v=1-0)
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IMM-200
Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
IMM-200
- Die INFICON ModeLock-Technologie sorgt für die längste Lebensdauer der Kristalle und gewährleistet die stabilste, höchstauflösende Rate und Dickenmessung, die es gibt, selbst bei sehr niedrigen Raten.
- Maximieren Sie Ihren Ertrag mit der bestmöglichen QCM-Dickenmessung
- Einkanaliger Raten- und Dickenmonitor ohne unnötige Zusatzfunktionen zur Minimierung der Kosten
![969-SQM-160 969-SQM-160](/uploads/media/323x215/09/969-SQM-160.png?v=1-0)
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SQM-160
Das SQM-160 verwendet bewährte Quarzkristall-Sensortechnik von INFICON, um Raten und Dicke bei Dünnschichtabscheidungsprozessen zu messen.
SQM-160
- Zwei Messkanäle sind Standard, vier weitere sind optional.
- Analoge Ausgänge zur Raten-/Dickenaufzeichnung
- Variante mit hoher Auflösung: 0,03 Hz bei 10 Messungen/s
- RS-232 standardmäßig, USB oder Ethernet optional
![981-STM-2 981-STM-2](/uploads/media/323x215/01/981-STM-2.png?v=1-0)
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STM-2
Vereint die Einfachheit der USB-Konnektivität mit der Genauigkeit eines Präzisionsmessprogramms
STM-2
- Kostengünstiges Instrument
- USB-Anschluss
- Interner Oszillator
- Hohe Genauigkeit bei 10 Messungen pro Sekunde
![955-TDMAT-Sensor 955-TDMAT-Sensor](/uploads/media/323x215/05/955-TDMAT-Sensor.png?v=1-0)
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SemiQCM™ SR Sensoren für die Überwachung von Vorläuferstoffen
Der SemiQCM™ SR-Sensor ist eine Komponente eines Systems zur Precursor-Überwachung. Die anderen Komponenten sind ein IMM-200 und FabGuard (Version 19.12.00-a oder höher).
SemiQCM™ SR Sensoren für die Überwachung von Vorläuferstoffen
- Prozessüberwachung in Echtzeit, in situ
- Verhindern Sie Überätzung, identifizieren Sie den Endpunkt der Kammerreinigung
- Identifizieren Sie Fehler in der Ausrüstung oder im Prozess
![963-SemiQCM-CR-Sensor 963-SemiQCM-CR-Sensor](/uploads/media/323x215/03/963-SemiQCM-CR-Sensor.png?v=1-0)
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SemiQCM™ CR-Sensoren für die Überwachung von Vorläuferstoffen
Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
SemiQCM™ CR-Sensoren für die Überwachung von Vorläuferstoffen
- Prozessüberwachung in Echtzeit, in situ
- Verhindern Sie Überätzung, identifizieren Sie den Endpunkt der Kammerreinigung
- Identifizieren Sie Fehler in der Ausrüstung oder im Prozess