Sensoren & Durchführungen
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![967-Easy-Rate-Single-Sensor 967-Easy-Rate-Single-Sensor](/uploads/media/323x215/07/967-Easy-Rate-Single-Sensor.png?v=1-0)
Bieten aufgrund ihrer langen Lebensdauer und ihrer geringen Wartung maximale Verfügbarkeit und minimieren Ihre Produktionskosten
- Minimale Investition mit niedrigsten Anfangskosten
- Niedrigste Gesamtbetriebskosten durch längere Lebensdauer der Sensoren
- Maximaler Durchsatz bei geringerem Wartungsaufwand
- Einfache Installation
![976-Front-Load-Single-Sensor 976-Front-Load-Single-Sensor](/uploads/media/323x215/06/976-Front-Load-Single-Sensor.png?v=1-0)
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller verfügbaren Sensorköpfe
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
- Erhältlich mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung / CF40-Durchführung
- Justierbare Länge bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen
![965-Front-Load-Dual-Sensor 965-Front-Load-Dual-Sensor](/uploads/media/323x215/05/965-Front-Load-Dual-Sensor.png?v=1-0)
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe
- Dualkristalle
- Kristallverschluss
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
![961-Cool-Drawer-Single-Sensor 961-Cool-Drawer-Single-Sensor](/uploads/media/323x215/01/961-Cool-Drawer-Single-Sensor.png?v=1-0)
Ermöglicht eine seitliche Kristallinstallation im Sensor. Dies ist besonders bei Systemen mit nicht genügend Raum für eine Kristallinstallation über Frontbeladung praktisch.
- Keine internen Kabel
- Cool Drawer-Kristallhalter
- Einfache Installation
- Ausheizbar bei Bestellung mit geschweißtem CF40-Flansch
![980-Cool-Drawer-Dual-Sensor 980-Cool-Drawer-Dual-Sensor](/uploads/media/323x215/00/980-Cool-Drawer-Dual-Sensor.png?v=1-0)
Für den Einsatz in kritischen Prozessen, bei denen ein zweiter Kristall in der Vakuumkammer empfehlenswert ist.
- Dualkristalle
- Cool Drawer-Kristallhalter
- Keine internen Kabel
- Kristallverschluss
![974-Easy-Rate-Dual-Sensor 974-Easy-Rate-Dual-Sensor](/uploads/media/323x215/04/974-Easy-Rate-Dual-Sensor.png?v=1-0)
Einfache und kostengünstige Lösung bei QCM-Anwendungen, wenn ein Kristall möglicherweise nicht ausreicht.
- Dualkristalle
- Hohes Preis-Leistungsverhältnis
- Niederprofildesign
- Inklusive Kristallverschluss
![978-UHV-Bakeable-Sensor 978-UHV-Bakeable-Sensor](/uploads/media/323x215/08/978-UHV-Bakeable-Sensor.png?v=1-0)
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe
- Hochtemperaturgelötete & geschweißte Bauweise
- Ausheiztemperaturen bis 450 °C
- Kristallverschluss (optional)
- Kristallhalter zur Frontbeladung
![968-ALD-Sensor 968-ALD-Sensor](/uploads/media/323x215/08/968-ALD-Sensor.png?v=1-0)
Bringt die Wiederholbarkeit, die Präzision und die Langlebigkeit der Quarzkristallmikrowagenmessung (QCM) zur Atomlagenabscheidung (ALD)
- Betriebstemperatur bis zu 450 °C
- Spülgasleitung verhindert Ablagerung von Abscheidungsmaterial auf der Kristallrückseite
- Angeschweißter Conflat-Flansch (CF40) als Alternative
- O-Klemmringverschraubung als Alternative
![957-Sputtering-Sensor 957-Sputtering-Sensor](/uploads/media/323x215/07/957-Sputtering-Sensor.png?v=1-0)
Speziell für den Einsatz in Zerstäubungsverfahren konzipiert
- Sensorgehäuse und Kühlrohre aus vergoldetem Beryllium-Kupfer für maximale Kühlleistung
- Magnet zur Ablenkung freier Elektronen aus dem Monitorkristall
- Einfache Installation mit biegsamen Wasserschläuchen bietet Flexibilität bei der Sensorplatzierung
- Kristalleinsatz durch rückseitige Beladung ermöglicht einfachen Kristallaustausch
![975-CrystalSix-Sensor 975-CrystalSix-Sensor](/uploads/media/323x215/05/975-CrystalSix-Sensor.png?v=1-0)
Von entscheidender Bedeutung für lange Prozesse, die eine kontinuierliche Ratensteuerung erfordern
- Enthält 6 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Stabile Kristalltemperatur aufgrund des pneumatisch angetriebenen Kristallwechsels (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- 1/8-Zoll-Wasserkühlschläuche sorgen für thermische Stabilität und gestatten flexible Sensorplatzierung
- Optionaler Kristallverschluss erhältlich
![958-RSH-600-Rotary-Sensor 958-RSH-600-Rotary-Sensor](/uploads/media/323x215/08/958-RSH-600-Rotary-Sensor.png?v=1-0)
Für anspruchsvolle Prozesse mit sehr dicken Schichten und mehreren verschiedenen Materialien
- Six crystals
- Position feedback (Controller dependent)
- Adjustable length (with optional flange)
- Rugged design
![964-Crystal-12-Sesor 964-Crystal-12-Sesor](/uploads/media/323x215/04/964-Crystal-12-Sesor.png?v=1-0)
In Kombination mit dem INFICON IC6-Dünnschichtabscheidungs-Controller wechselt der INFICON Crystal 12-Sensor seine Kristalle automatisch, ohne Ihren Prozess zu unterbrechen
- Enthält 12 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Leicht auszubauendes Karussell ermöglicht den raschen Austausch aller 12 Kristalle
- Stabile Kristalltemperatur durch pneumatisch angetriebenen Kristallwechsel (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- Leicht abnehmbare vordere Abscheidungsabschirmung schützt die Kristalle und das Karussell vor Materialansammlungen und minimiert so die Notwendigkeit, den gesamten Sensor zur Wartung auszubauen
![1171-QCM-Sensor-Feedthroughs 1171-QCM-Sensor-Feedthroughs](/uploads/media/323x215/01/1171-QCM-Sensor-Feedthroughs.png?v=1-0)
Vielzahl von Quarzkristallmonitor(QCM)-Sensordurchführungen für unterschiedliche QCM-Sensor- und Kammerkonfigurationen
- Ausführungen mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung oder CF40-Durchführung (2,75-Zoll-ConFlat®) erhältlich
- Erhältliche Ultra-Torr-O-Ringverschraubungen
- Kundenspezifische Durchführungskonfigurationen erhältlich
- Andere Durchführungsbauarten auf Anfrage erhältlich
![959-Sensor-Feedthroughs 959-Sensor-Feedthroughs](/uploads/media/323x215/09/959-Sensor-Feedthroughs.png?v=2-0)
Ausführungen mit 2,54 cm (1 Zoll) Bolzen oder CF40 (2,75 Zoll ConFlat®) mit durchgebohrten Rohrverschraubungen erhältlich
- Ausführungen mit 2,54 cm (1 Zoll) Bolzen oder CF40 (2,75 Zoll ConFlat®) erhältlich
- Erhältlich mit durchgebohrten Rohrverschraubungen