Sensoren & Durchführungen
Ausheizbarer UHV-Sensor
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Ausheizbare INFICON UHV-Kristallsensoren mit Frontbeladung bieten bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe.
Der aus den Werkstoffen Edelstahl 304, Molybdän, Inconel, Nickel und Aluminiumoxid gefertigte ausheizbare UHV-Sensor ist für kontinuierliche Ausheiztemperaturen bis zu 450 °C ausgelegt (nur zum Ausheizen; die Überwachung der Abscheidung selbst erfordert Kühlwasserfluss).
Dank der Frontbeladungsbauweise lässt sich der Kristallhalter auch in Anwendungen verwenden, in denen ein seitliches Einsetzen aufgrund des begrenzten Raums nicht möglich ist.
Merkmale
- Hochtemperaturgelötete & geschweißte Bauweise
- Ausheiztemperaturen bis 450 °C
- Kristallverschluss (optional)
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
- CF40-Durchführung
- Kein Anlöten oder Anschweißen an Durchführung erforderlich
- Auf kundenspezifische Längen geschweißte Kombination aus Sensor/Durchführung
Spezifikationen
Bakeable Sensor w/ Shutter
Bakeable Sensor w/out Shutter
| Höchsttemperatur | 400° C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring) |
| Kristallaustausch | Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. Pneumatically operated shutter flips up for easy crystal exchange. |
| Leitungen für Wasser, Luft und Koaxialkabel | 0.125 in. (3 mm) O.D. water and air x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax |
| Höchsttemperatur | 450°C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring) |
| Kristallaustausch | Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. |
| Leitungen für Wasser, Luft und Koaxialkabel | 0.125 in. (3 mm) O.D. water x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax |
Zubehör
Zubehör
Verbrauchsmaterialien
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 750-420-G1 | Ansteuerventil f. Blende |
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 007-007 | Haltefeder (für Kristallhalter) |
| 007-064 | Ceramic Retainer, Bakeable Sensor |
| 007-094 | Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor |
| 007-095 | Handle, UHV Bakeable Sensor |
| 007-098 | Buchsenstecker (inkl. Aderendhülsen und Überwurfmutter) |
| 007-099 | Head Contact, UHV Bakeable Sensor |
| 007-100 | High Temperature BNC Insulator |
| 007-103 | Insulator, UHV Bakeable Sensor |
| 007-104 | High Temperature BNC Body, Bakeable |
| 007-147 | Vented Screw, 4-40 x 3/8 in. |
| 007-155 | BRAZE ASM 12 IN. 206-804-G1 |
| 007-156 | BRAZE ASM 20 IN 206-804-G2 |
| 007-157 | BRAZE ASM 30 IN 206-804-G3 |
| 007-228 | SPEC,4-40 X 5/8 VENTED SHC SC |
| 007-267-P2 | Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor |
| 007-268-P1 | Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor |
| 007-269-P1 | Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor |
| 008-007 | Kristall-Greifer |
| 059-0084 | Gasket, Copper, Bakeable Sensor Actuator |
| 070-201 | #4 SPLIT LOCKWASHER SS |
| 084-069-P1 | 4-40 X .188 PHIL FLAT MS S/S |
| 750-018-P3 | SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @ |
| 750-018-P5 | SPLIT CLAMP {CLEAN} @ |
| 750-022-G5 | ACTR/AIR LINE 12 IN {CLEAN} |
| 750-022-G6 | ACTR/AIR LINE 20 IN {CLEAN} |
| 750-022-G7 | Actuator/Air Line 76.2 cm (30 in.),Clean |
| 750-028-G5 | BK XTAL SNS/FT/AIR 12 IN CLEAN |
| 750-028-G6 | BK XTAL SNS/FT/AIR 20 IN CLEAN |
| 750-028-G7 | BK XTAL SNS/FT/AIR 30 IN CLEAN |
| 750-115-P4 | Kupplung (zur Installation auf der Balgbaugruppe) |
| 750-118-P4 | ACT SUPPORT W/ DOWEL |
| 750-120-G3 | ASSY,SHAFT @ |
| 750-216-G1 | Wellenbaugruppe (Teil des Verschlussmoduls) |
| 750-218-G1 | Crystal Holder, Bakeable Sensor |
Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet
