Sensoren & Durchführungen
Cool Drawer Dual-Sensor
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Der Cool Drawer-Dual-Sensor ist für den Einsatz in kritischen Prozessen gedacht, bei denen ein zweiter Kristall in der Vakuumkammer empfehlenswert ist.
Das wassergekühlte Sensorgehäuse aus rostfreiem Edelstahl, zwei Cool Drawer-Kristallhalter und ein pneumatisch betätigter Verschluss sorgen für einen robusten Sensorkopf mit der erhöhten Zuverlässigkeit eines Backup-Kristalls. Eine sauberere, verlässlichere Vakuumsysteminstallation ist möglich, da sich innerhalb der Kammer keine Koaxialkabel befinden.
Merkmale
- Dualkristalle
- Cool Drawer-Kristallhalter
- Keine internen Kabel
- Kristallverschluss
- Erhältlich mit CF40-Durchführung und 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung
- Ausheizbar bei Bestellung mit geschweißtem CF40-Flansch
- Einstellbare Länge bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen
- Auf kundenspezifische Längen geschweißte Kombinationen aus Sensor/Durchführung erhältlich
Spezifikationen
| Kühlwasser | Minimum water flow of 150 to 200 cm³/min using 1/8 in. O.D. tube, 30°C max. (Do not allow to freeze) |
| Materialien | 304 stainless steel, ceramic, beryllium nickel |
| 25,4 mm (1 Zoll)-Bolzen und abgedichtete Endenabschlüsse mit Klemmringverschraubung | |
| Temperatur | Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without |
Artikelnummer
Zubehör
Verbrauchsmaterialien
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 750-420-G1 | Ansteuerventil f. Blende |
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 123259 | Retainer, Cool Drawer Sensor |
| 123261 | Drawer, Cool Drawer Sensor |
| 123260 | Drawer and Retainer, Cool Drawer Sensor |
| 147206-2 | Bellows, 35 in. Tube, Cool Drawer Sensor |
| 147207 | Bellows and Cover, Cool Drawer Sensor |
| 147401 | Shutter, Cool Drawer Dual Sensor |
| 147402 | Link, Cool Drawer Sensor |
| 147403 | ACTUATOR - DUAL SENSOR HEAD |
| 147406 | Balgträger |
| 147407 | RETAINER BELLOWS COVER POLISHED |
| 147408 | Threaded Bar 2x56 for Bellows |
| 147411 | Spacer, Cool Drawer Sensor |
| 147424 | Bellows Guide Tube Electropol |
| 082-026 | Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel |
| 082-064 | * Federring |
| 084-205 | Screw, Philips Pan Head, 4-40 x 0.187in. |
| 800128 | LCKWSHR SPLIT #4 - USE 070-201 / 084-054 |
| 800371 | 4-40 Stainless Steel .187 Shoulder Screw |
| 800372 | WASHER .174 IDx.309 OD x .060 |
| 800416 | Nr. 6-32 x 3/16-Zoll-Feststellschraube |
| 803313 | Spring, 0.360 in. x 1.000 in. x .032 in. |
| 123223-2 | Brazed Conduit, Cool Drawer Sensor |
| 803102 | O-RING .114 ID |
| 803261 | WASHER .235OD X .134ID X .030 302-304 S |
Downloads
Handbücher
3D Dateien
Andere
Techincal Note - Crystal Replacement (English)
pdf
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45,6 KB
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Englisch
Technical Note - Cool Drawer (Maxtek) Sensor Head vs Temescal Sensor Head (English)
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53,9 KB
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Englisch
Technical Note - Cool Drawer Sensor Head Termination of Electrical Connections (English)
pdf
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295,6 KB
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Englisch
Technical Note - Dual Sensor Head -Replacement of Bellows Assembly (English)
pdf
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46,2 KB
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Englisch
Technical Note - Sensor Alignment (English)
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32,4 KB
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Englisch
Technical Note - Use of Cool Drawer (Maxtek) Sensor Heads in a Sputtering Environment (English)
pdf
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32,6 KB
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Englisch
What is a QCM Sensor?
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Englisch
Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet
