CrystalSix® Sensor
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Der INFICON CrystalSix-Sensor ist von entscheidender Bedeutung für lange Prozesse, die eine kontinuierliche Ratensteuerung erfordern. Egal, ob es sich um OLED-, MBE-, Solar-, optische Beschichtungen oder andere Prozesse mit einer längeren Zeitspanne zwischen Kammerbelüftungen handelt – der CrystalSix-Sensor bietet die Sicherheit von 6 Quarzmonitorkristallen in einem einzigen Sensorkopf.
Bei Verwendung mit einem INFICON-Dünnschicht-Controller dreht der CrystalSix automatisch einen neuen Kristall in Position, wenn der aktuelle Kristall versagt oder instabil wird. Kristalle werden automatisch und ohne Unterbrechung des Prozesses ausgetauscht. So ist eine kontinuierliche Überwachung der Abscheidungsrate möglich.
Die Kristallindexierung wird mithilfe eines pneumatischen Mechanismus bewerkstelligt. Dieser Motor mit pneumatischem Antrieb bietet bessere thermische Kristallstabilität als die Einheiten anderer Hersteller, die teure, im Vakuum betriebene wärmeerzeugende Elektromotoren verwenden. 1/8-Zoll-Wasserkühlrohre halten den Sensorkopf thermisch stabil und ermöglichen eine flexible Sensorplatzierung.
Bei Verwendung mit bestimmten Dünnschicht-Controllern von INFICON liefert der Sensor eine Positionsrückmeldung, so dass bestimmte Materialien bestimmten Positionen zugewiesen werden können.
Merkmale
- Enthält 6 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Stabile Kristalltemperatur aufgrund des pneumatisch angetriebenen Kristallwechsels (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- 1/8-Zoll-Wasserkühlschläuche sorgen für thermische Stabilität und gestatten flexible Sensorplatzierung
- Optionaler Kristallverschluss erhältlich
Spezifikationen
| Max. Ausheiztemperatur ohne Wasser | 130°C |
| Max. isotherme Umgebungsbetriebstemperatur bei minimalem Wasserdurchfluss | 400° C |
| Kristallaustausch | Front-loading, extraction tool required (supplied with unit) |
| Wasser- und Luftschläuche | S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing |
Artikelnummern
| Part Number | Description |
| 750-446-G1 | CrystalSix Sensor |
Zubehör
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 007-007 | Haltefeder (für Kristallhalter) |
| 007-023 | Keramikhalter |
| 070-0170 | 2 SPLIT LOCKWASHER SS |
| 070-0398 | 5103-12H,EXT CRESCENT RET RIN |
| 070-0777 | Compression Spring, CrystalSix |
| 070-0778 | Ball Bearing, CrystalSix |
| 070-0779 | Ball Bearing, CrystalSix |
| 070-0870 | Washer, Teflon, CrystalSix |
| 070-0877 | Shim Spacer, CrystalSix |
| 070-0879 | Ball Bearing, CrystalSix |
| 073-114 | .022 DIA SS WIRE SPR TMPR 304 |
| 082-026 | Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel |
| 750-048-P1 | Retainer Spring, CrystalSix |
| 750-175-P1 | Isolator (unter der Blattfeder) |
| 750-188-P3 | Leaf Spring Formed |
| 750-249-P2 | Retaining Pin, CrystalSix Sensor |
| 750-250-G1 | Hitzeschild |
| 750-256-P2 | Extension Spring |
| 750-257-P3 | Corrugated Spring, CrystalSix Sensor |
| 750-261-G1 | Carousel Assembly, CrystalSix Sensor |
| 750-262-G1 | Quarz-Halter |
| 750-265-G1 | Messkopf 6 Positionen |
| 750-276-P2 | DET,ACTUATOR COVER PASSIVATED |
| 750-278-P2 | DET,WATER LINE |
| 750-286-P2 | Pneumatic Actuator,CrystalSix/Crystal 12 |
| 750-290-P3 | Electrical Contact, CrystalSix Sensor |
| 750-901-G1 | Crystal 6 Kit |
| 750-293-P2 | Ratchet, CrystalSix/Crystal 12 |
| 750-294-P2 | Stop Ratchet, CrystalSix/Crystal 12 |
| 750-295-G1 | Pawl/Actuator Stem, Crystal 12 Sensor |
| 750-336-G1 | Resistor Network Assembly, CrystalSix |
| 750-338-P1 | DET, CONTACT INSULATOR |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | Kabel Sensorkopf 15.2 cm |
| 007-252 | Kabel Sensorkopf 30.5 cm |
| 321-039-G11 | In-vacuum Cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuo-Kabel, 78,1 cm (30 Zoll) |
| 007-059 | In-vacuum Cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | Kabel 120cm, Sputter Kopf |
| 321-039-G13 | In-vacuo-Kabel, 154 cm - Erfordert ModeLock-Controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum Cable, 182.9 cm (72 in.) |
| 321-039-G15 | In-vacuum Cable, 3.5 m (137.8 in.) |
| 321-039-G16 | In-vacuum Cable, 4 m (157.5 in.) |
