Controller
Cygnus® 2
Höchste Messgenauigkeit für OLED-Anwendungen
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Der Dünnschichtabscheidungs-Controller Cygnus 2 bietet ein außergewöhnliches Preis-Leistungsverhältnis durch Kombination der bewährten Qualität der Dünnschichtabscheidungs-Controller von INFICON mit einzigartigen Ausführungsmerkmalen, die zur Optimierung Ihres OLED-Prozesses beitragen.
Mithilfe unseres Frequenzmesssystems ModeLock erzielt der Cygnus 2 stabile, hochauflösende Raten- und Dickenmessungen mit einer in der Branche unerreichten Ratenauflösung von 0,00433 Å/s pro 1/10-Sekunde. Kein anderer Quarzkristall-Controller bietet die Leistung, Qualität und Funktionalität des Cygnus 2, so dass sich hervorragende Messergebnisse wiederholt erhalten lassen.
Merkmale
- Die ModeLock-Technologie von INFICON bietet die stabilsten und höchsten Auflösungsraten und Dickenmessungen, selbst bei sehr niedrigen Raten.
- Auto Z verbessert die Dickengenauigkeit, indem das Z-Verhältnis automatisch bestimmt wird, sobald Material abgeschieden wird.
- Ein Cygnus 2 kann gleichzeitig bis zu sechs Quellen steuern, unabhängig voneinander oder in beliebigen Kombinationen, so dass die Verwendung von zwei oder drei Controllern nicht länger erforderlich ist
- Auf dem TFT-LCD-Farbdisplay können Sie Ihren Prozess schnell und einfach verfolgen
- 10 Hz-Messung
- +/-0,0035 Hz über 100-ms-Probe
- USB-Datenspeicher für Screenshots, Rezepturspeicherung und zur Messwerterfassung
- Dickensummierung von mehren Quellen
- Mittelwertbildung der Messraten für Materialien mit niedriger Dichte und äußerst niedriger Rate (bis zu 30 Sekunden bei der Verwendung mit stabilen Quellen für die Abscheidung von OLED-Dotiermaterial mit sehr niedriger Rate)
- Displayratenauflösung von bis zu 0,001 Å
- Optionale 4-Meter-XIU bietet in großen Systemen die Möglichkeit zur Verwendung langer In-vacuo-Kabel
- Steuerung ohne Abscheidung ermöglicht eine kontinuierliche Quellensteuerung beim Durchlauf der Substrate durch die Abscheidungskammer
- 6 DAC-Standardausgänge, optional weitere 6 Ausgänge für Quellensteuerung, Raten- oder Dickenüberwachung
- Optionale Ethernet-Kommunikation
- RoHS-konform
Spezifikationen
| Messleistung | |
| Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (1) | ±0.00433 Å |
| Messfrequenzbereich | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) |
| Prozessrezept und Datenverwaltung | |
| Materialprogramme | 6 independent materials |
| Anzahl der Quellen (2) | up to 6 |
| (1) Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz (2) Cygnus 2 hat standardmäßig 6 DAC-Ausgänge; optional um 6 weitere Ausgänge erweiterbar. Jeder der 12 Ausgänge ist als Quellensteuerspannung oder Schreiberausgang konfigurierbar. Die Anzahl gleichzeitig regelbarer Quellen ist jedoch auf 6 begrenzt. | |
Artikelnummer
Zubehör
Ersatzeile
Verbrauchsmaterialien
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 779-220-G1 | CrystalTwo® Switch, 15.2 cm (6 in.) BNC Kabel |
| 779-220-G2 | CrystalTwo® Switch, 50.8 cm (20 in.) BNC Kabel |
| Oszillator Kits | (Oszillator und Kabel im Lieferumfang eingeschlossen) |
| 781-611-G15 | XIU PKG mit 4.6 m (15 ft.) Kabel - Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| 781-611-G30 | XIU PKG mit 9.1 m (30 ft.) Kabel- Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| 781-611-G50 | XIU PKG mit 15.2 m (50 ft.) Kabel- Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| 781-611-G100 | XIU PKG mit 30.5 m (100 ft.) Kabel- Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| 781-612-G15 | 4m XIU PKG mit 4.6 m (15 ft.) XIU Kabel- Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| 781-612-G30 | 4m XIU PKG mit 9.1 m (30 ft.) XIU Kabel- Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| 781-612-G50 | 4 m XIU PKG mit 15.2 m (50 ft.) XIU Kabel- Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| 781-612-G100 | 4m XIU mit 30.5 m (100 ft.) XIU Kabel- Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| 781-613-G15 | 4m XIU PKG mit 4.6 m (15 ft.) XIU Kabel- Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| 781-613-G30 | 4m XIU PKG mit 9.1 m (30 ft.) XIU Kabel- Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| 781-613-G50 | 4m XIU PKG mit 15.2 m (50 ft.) XIU Kabel- Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| 781-613-G100 | 4m XIU PKG mit 30.5 m (100 ft.) XIU Kabel- Für Cygnus 2, IC6, or XTC/3 |
| Nur Oszillator | (Kabel nicht im Lieferumfang eingeschlossen) |
| 781-600-G1 | Crystal Interface Unit, Standard |
| 781-600-G2 | Crystal Interface Unit, 4 m, Cygnus 2 |
| Kabel | |
| 755-257-G6 | Kabel XIU-Durchführung |
| 600-1261-P15 | Interconnect Cable, 4.6m (15 ft.) |
| 600-1261-P30 | Interconnect Cable, 9.1m (30 ft.) |
| 600-1261-P50 | Interconnect Cable, 15.2m (50 ft.) |
| 600-1261-P100 | Interconnect Cable, 30.5m (100 ft.) |
Downloads
Broschüren
Handbücher
CrystalTwo Switch Instruction Sheet (English)
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469,4 KB
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Englisch
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Bedienungsanleitungen
Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (English)
pdf
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8,6 MB
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Englisch
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Bedienungsanleitungen
Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller Operating Manual (Japanese)
pdf
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2,9 MB
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Englisch
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Bedienungsanleitungen
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