Dual Sensor mit Frontbeladung
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Dual-Kristallsensoren mit Frontbeladung von INFICON bieten bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe. Der Dual-Sensor verfügt über einen Backup-Kristall und ist von entscheidender Bedeutung für kritische Prozesse, bei denen ein zweiter Kristall in der Vakuumkammer empfehlenswert ist.
Dank der Frontbeladungsbauweise lässt sich der Kristallhalter auch in Anwendungen verwenden, in denen ein seitliches Einsetzen aufgrund des begrenzten Raums nicht möglich ist. Da die Bauteile nicht gelötet, sondern mechanisch zusammengesetzt sind, können sie bei Bedarf auch vor Ort bequem ausgetauscht werden.
Die Sensoren können einzeln bestellt werden oder als Teil einer Kombination aus Sensor/Durchführung, die entweder geschweißt oder mit Klemmringverschraubungen zusammengesetzt werden kann.
Merkmale
- Dualkristalle
- Kristallverschluss
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
- Erhältlich mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung und mit CF40-Durchführung
- Einstellbare Länge bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen
- Kein Anlöten erforderlich bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen oder an Durchführung angeschweißt
- Auf kundenspezifische Längen geschweißte Kombinationen aus Sensor/Durchführung erhältlich
Spezikationen
| Max. isotherme Umgebungsbetriebstemperatur bei minimalem Wasserdurchfluss | 400 ° C |
| Kristallaustausch | Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders. |
| Wasserrohre | S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing |
| Durchführungsspezifikationen 25,4 mm (1 Zoll)-Bolzen und Ultra-Torr-Endenabschlüsse (Klemmringverschraubung): | |
| Materialien | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON® |
| Temperatur | Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without |
| Befestigung | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture |
Zubehör
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 007-007 | Haltefeder (für Kristallhalter) |
| 007-023 | Keramikhalter |
| 080-018 | Feststellschraube (für Koaxialbuchse) |
| 082-044 | Teflonschraube (für Blattfeder) |
| 750-115-P4 | Kupplung (zur Installation auf der Balgbaugruppe) |
| 750-169-P2 | Balgbaugruppe (ohne Kupplung) |
| 750-171-P1 | Fingerfederkontakt |
| 750-172-G1 | Kristallhalter (inkl. Haltefeder) |
| 750-174-P2 | Koaxialkabelbuchse |
| 750-175-P1 | Isolator (unter der Blattfeder) |
| 008-007 | Kristall-Greifer |
| 750-188-P3 | Leaf Spring Formed |
| 750-210-G1 | Verschlussmodul (Balgbaugruppe, Wellenbaugruppe und Verschlussbaugruppe) |
| 750-215-G1 | Wellenbaugruppe (Teil des Verschlussmoduls) |
| 750-216-G1 | Wellenbaugruppe (Teil des Verschlussmoduls) |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | Kabel Sensorkopf 15.2 cm |
| 007-252 | Kabel Sensorkopf 30.5 cm |
| 321-039-G11 | In-vacuum Cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuo-Kabel, 78,1 cm (30 Zoll) |
| 007-059 | In-vacuum Cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | Kabel 120cm, Sputter Kopf |
| 321-039-G13 | In-vacuo-Kabel, 154 cm - Erfordert ModeLock-Controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum Cable, 182.9 cm (72 in.) |
| 321-039-G15 | In-vacuum Cable, 3.5 m (137.8 in.) |
| 321-039-G16 | In-vacuum Cable, 4 m (157.5 in.) |
