Monitore
IMM-100
Wiederholbar exzellente Leistungen
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
Der IMM-100 ist ein Depositionsmonitor mit ModeLock-Technologie zur Maximierung der Reproduzierbarkeit und Einheitlichkeit bei höchster Dickengenauigkeit, bester Messauflösung und geringstem Rauschen.
Mit dem eingebauten Oszillator kann IMM-100 einfach in ein EtherCAT-System mit minimaler Hardware und Stellfläche integriert werden. Dieser leistungsstarke und präzise Messmonitor wird mit Sicherheit eine neue Leistungsstufe in Ihren Prozess bringen.
Merkmale
- Die INFICON ModeLock Technologie bietet die längste Lebensdauer der Kristalle und gewährleistet die stabilste, höchstauflösende Rate und Dickenmessung, die es gibt, selbst bei sehr niedrigen Raten
- Maximieren Sie Ihre Ausbeute mit der bestmöglichen QCM-Dickenmessung
- Einkanaliger Raten- und Dickenmonitor ohne unnötige Zusatzfunktionen zur Minimierung der Kosten
±0,0035 Hz über 100 ms Probe - EtherCAT-Kommunikation für nahtlose Integration
- Kompakte Größe zur Minimierung der Integrationskosten durch Einsparung von Platz im Gerät
- Kompetente Anwendungsunterstützung, die in der Lage ist, einzigartige Anwendungsanforderungen zu erörtern und mehr Unterstützung als die Konkurrenz
- RoHS-konform
Typische Anwendungen
- OLED-Anwendungen
Spezifikationen
| Sensor inputs | 1 |
| Messfrequenzbereich | 6.0 to 4.5 MHz (festgelegt) |
| Auflösung von Rate und Dicke | 0.0042 Å (new crystal); 0.0076 Å (crystal @ 4.5 MHz) over 100 ms sample for material density = 1.0, Z-Ratio = 1.0 |
| Kommunikationstyp | EtherCAT, 2 RJ45 jacks, supports data daisy chaining. Explicit device ID via switches |
Artikelnummern
Zubehör
Verbrauchsmaterial
| Artikelnummern | Beschreibung |
| 785-600-G1 | IMM-100 Thin Film Deposition Monitor |
| Artikelnummern | Beschreibung |
| Optional Power Supplies | The power supplies listed below are rated for an input of 100 to 249 V (ac), 2 A, 50 to 60 Hz with an output of 24V (dc), 3.34 A, 80 W maximum. |
| 961-021-G1 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug |
| 961-021-G2 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G3 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G4 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug |
| 961-021-G5 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G6 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G7 | Power Supply Kit IL 240V |
| 961-021-G8 | Power Supply Kit IL 4.5 M Extension |
| 961-021-G9 | Power Supply Kit IL 9.0 M Extension |
| 961-021-G10 | Power Supply Kit UK 240V |
| 961-021-G11 | Power Supply Kit UK 4.5 M Extension |
| 961-021-G12 | Power Supply Kit UK 9.0 M Extension |
| Optional Mounting Bracket | |
| 785-202-G1 | Mounting bracket with four clean room compatible shock absorbing, female-to-female, stainless steel mounting feet |
| 785-201-G1 | Mounting bracket with four shock absorbing, male-to-female, black Neoprene rubber mounting feet |
| Optional Communications Cable | |
| 600-1190-P1 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 1 METER |
| 600-1190-P2 | SPEC- ETHERNET COMMUNICATION CABLE .3M |
| 600-1190-P4 | ETHERNET COMUNICATION CABLES 4.3 METER |
| 600-1190-P8 | Ethernet 7m cable |
| 600-1190-P15 | Ethernet 15m cable |
| Name | Beschreibung |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
Das Produkt wird in folgendem Markt verwendet
