Controller

IQM-233

Kostengünstige Abscheidungssteuerung auf einer PCI Express-Karte

IQM-233

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Die IQM-233-PCI Express-Karte macht aus Ihrem PC einen Dünnschichtabscheidungs-Controller. Dieses von INFICON entwickelte und gefertigte Produkt ist die ideale Wahl für System-OEMs oder für Benutzer, die einen Dünnschichtabscheidungs-Controller in ein vorhandenes PC- oder SPS-Steuersystem integrieren möchten. Die Installation ist einfach – Sie benötigen lediglich einen freien PCI Express-Steckplatz. Die IQM-233-Karte ist für standardmäßige oder kleine Tower-PCs erhältlich.


Unerreichte Ausführungsmerkmale

Die IQM-233 enthält drei QCM-Sensoreingänge und drei Quellenausgänge auf jeder Karte. Bis zu zwei IQM-233-Karten lassen sich auf einem PC verwenden (erfordert optionale IQS-233-Software), so dass Sie maximal sechs Sensoreingänge und sechs Quellenausgänge haben. Nur INFICON bietet so viel Flexibilität in einem vollintegrierten PC-basierten QCM-Controller.

IQM-233 ist mit INFICONS Oszillator IPN 782-900-010 kompatibel, so dass der Austausch einer SQM-242-Karte keinen neuen Oszillator erfordert. IQM-233 ist außerdem mit allen Einfach- und Dual-Sensorköpfen von INFICON verwendbar.
 

Wählen Sie die richtige Softwarelösung

IQM-233 enthält eine einfache Windows®-basierte Software zur Einrichtung und Steuerung von einfachen sequentiellen Prozessen oder Koabscheidungsprozessen mit nur einer IQM-233-Karte. Die optional erhältliche erweiterte Windows®-basierte IQS-233-Software ermöglicht komplexere Prozesseinrichtungen inkl. Koabscheidung mehrerer Schichten, graphische Darstellung und SPS-Integration mit ereignisgesteuerten Relais-/Eingangsfunktionen. Mit dieser Software lassen sich zwei IQM-233-Karten verwenden.

Als Alternative für Kunden, die ihre eigenen Programme schreiben möchten, enthält die IQM-233 ein LabVIEW™-Programm, das die grundsätzliche Funktionalität bietet und Programmiertechniken demonstriert.

Merkmale

  • PCI Express
  • Drei Sensoreingänge, drei Steuerausgänge
  • Installieren Sie mehrere Karten in einem PC
  • Koabscheidung mehrerer Quellen
  • Einfache SPS-Integration zur Erweiterung der I/O-Fähigkeiten
  • Einfache Verwendung
  • Hohes Preis-Leistungsverhältnis

Spezifikationen

PC-SchnittstellePCIe x1 - PCE Express Slot
(Std or SFF)
Sensoreingänge3
MessfrequenzbereichAdjustable:
4.0 MHz minimum
6.1 MHz maximum
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (1)±0.12 Å
Quellenausgänge3
  
(1) Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz, 0,25 s Messintervall

Artikelnummern

ArtikelnummerBeschreibung
782-IQM-233-G1QCM-Controllerkarte für standardmäßigen PCI Express-Steckplatz
782-IQM-233-G2QCM-Controllerkarte für kleinformatigen (SFF) PCI Express-Steckplatz
782-IQS-233Koabscheidungssoftware

Zubehör

Zubehör
Ersatzteile
Verbrauchsmaterial
ArtikelnummerBeschreibung
783-500-109-10Oscillator Package, 10 ft BNC Kabel
783-500-109-25Oscillator Package, 25 ft BNC Kabel
783-500-109-50Oscillator Package, 50 ft BNC Kabel
783-500-109-7522,8-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 22,8-m-BNC-Kabel
  
Nur Oszillator(Kabel nicht im Lieferumfang eingeschlossen)
783-500-013-G1Oszillator, Remote Sensor, OSC-100
  
Kabel 
600-1441-P1SMA to BNC Adapter
782-902-011BNC Cable, 15.2 cm (6 in.)
782-902-012-10BNC Cable, 3 m (10 ft.)
782-902-012-25BNC Cable, 7.6 m (25 ft.)
782-902-012-50BNC Cable, 15.2 m (50 ft.)
782-902-012-7522,8-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
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