QCM Sensordurchführungen
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
INFICON bietet eine Vielzahl von Quarzkristallmonitor(QCM)-Sensordurchführungen für unterschiedliche QCM-Sensor- und Kammerkonfigurationen. CF40 (2,75-Zoll-ConFlat®) und 2,54-cm-(1 Zoll) Bolzendurchführungen sind mit verschiedenen Kombinationen von elektrischen Anschlüssen, Wasserkühlung und Luftrohren erhältlich.
INFICONs Durchführungen können zur einfachen Installation und Justierung der Sensorlänge auch mit Ultra-Torr-O-Ringverschraubungen bestückt werden. Andere Durchführungsbauformen (KF40 usw.) sind auf Anfrage erhältlich; diesbezügliche Informationen erhalten Sie von INFICON.
Soweit nicht anders angegeben, besteht eine typische elektrische Verbindung für Durchführungen aus einem koaxialen BNC-Stecker auf der Atmosphärenseite und einem Microdot®-Stecker auf der Vakuumseite. Diese Art der elektrischen Verbindung ist zur Verwendung mit In-vacuo-Kabelsensoren wie INFICON Einzelsensoren mit Frontbeladung, Dualsensoren mit Frontbeladung, Sputter-, CrystalSix- und Crystal 12-Sensoren bestimmt.
Beachten Sie: Wasser- und Luftrohre für Durchführungen haben einen Außendurchmesser von 4,8 mm (3/16 Zoll).
Sensortyp
Kurzübersicht der Anforderungen und Artikelnummern für Durchführungen je nach Sensortyp.
| Anforderungen | Artikelnummer | |||||
| Sensortyp | Number of Coax | Number of Tubes | CF40 | CF40 with Ultra-Torr | 2.54 cm (1 in.) Bolt | 2.54 cm (1 in.) Bolt with Ultra-Torr |
| Single | 1 | 2 | 002-043 | 206-878-G2 | 002-042 | 750-624-G1 |
| Single mit Shutter | 1 | 3 | 750-685-G1 | 750-685-G2 | 750-030-G1 | Contact Factory |
| Dual | 2 | 3 | 002-080 | 206-890-G2 | 750-707-G1 | Contact Factory |
| CrystallSix oder Crystall 12 | 1 | 3 | 750-685-G1 | 750-685-G1 | 750-030-G1 | Contact Factory |
| CrystallSix or Crystall 12 mit Shutter | 1 | 4 | 750-683-G1 | N/A | Contact Factory | N/A |
Merkmale
- Ausführungen mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung oder CF40-Durchführung (2,75-Zoll-ConFlat®) erhältlich
- Erhältliche Ultra-Torr-O-Ringverschraubungen
- Kundenspezifische Durchführungskonfigurationen erhältlich
- Andere Durchführungsbauarten auf Anfrage erhältlich
Artikelnummern
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs | (Inklusive VITON®-O-Ring) |
| 002-042 | VAKUUMDURCHFUERUNG 1" |
| 750-030-G1 | Durchführung mit Luftschlauch 30 cm |
| 750-707-G1 | 1 in. Bolt Feedthrough, 2 Coax, 3 Tube |
| 750-624-G1 | 1 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 2 Tube |
| 783-501-013 | 1 in. Bolt Feedthrough, Ultra-Torr |
| CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs | (Inklusive Kupferdichtung) |
| 002-043 | VAKUUMDURCHFUEHRUNG DN 40 CF |
| 750-685-G1 | CF40 Feedthrough, 1 Coax/3 Tube |
| 002-080 | VAKUUMDURCHFUERUNG DN 40 CF |
| 750-683-G1 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 4 Tube |
| 206-878-G2 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tube |
| 750-685-G2 | CF40 Feedthrough, 1 Coax, 3 Tube |
| 206-890-G2 | CF40 Feedthrough, 2 Coax, 3 Tube |
| KF40 Feedthroughs | (Inklusive VITON®-O-Ring) |
| 130246 | KF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tube |
| 130239 | KF40 Feedthrough, 1 Coax, 3 Tube |
Zubehör
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 002-064 | Quad Ring, Viton, CF40 |
| 012-328 | Dichtung Kupfer |
| 070-0237 | O-Ring, 1-1/8 ID, 3/32 W, Viton |
| 211-003 | Spannring DN 32-40 ISO-KF |
| 211-070 | Zentrierring DN 40 ISO-KF, Inox / FPM |
