Sensoren & Durchführungen
RSH-600 Drehsensor
Hervorragende Kristallleistung in anspruchsvollen Anwendungen

Die drehbaren RSH-600-Sensorköpfe eignen sich für anspruchsvolle Prozesse mit sehr dicken Schichten und mehreren verschiedenen Materialien. Der RSH-600 enthält sechs Kristalle in einem wärmeisolierten, wassergekühlten Gehäuse und bietet eine ausgezeichnete Kristallleistung in Umgebungstemperaturen bis zu 300 °C. Die Kristalle befinden sich in einem leicht entfernbaren Kristallhalter aus Teflon® und Edelstahl.
Merkmale
- Sechs Kristalle
- Positionsrückmeldung (Controllerabhängig)
- Einstellbare Länge (mit optionalem Flansch)
- Robuste Bauweise
Spezifikationen
Anzahl der Kristalle | 6 |
Einbauöffnung | 50.8 mm (2.0 in.) diameter |
Betriebstemperatur (mit Wasserkühlung) | 300° C max with stainless steel head cover 400° C max with copper head cover |
Zubehör
Zubehör
Verbrauchsmaterialien
Ersatzteile
Artikelnummer | Beschreibung |
153202 | Adjustable Flange, RSH-600 |
153204 | Crystal Retainer Assembly, Flat, RSH-600 |
153204-2 | Crystal Retainer Assembly,Angled,RSH-600 |
153731 | Copper Cover, Flat, RSH-600 |
153731-2 | Copper Cover, Angled, RSH-600 |
153708 | Stainless Steel Cover, Flat, RSH-600 |
153713 | Stainless Steel Cover, Angled, RSH-600 |
Artikelnummer | Beschreibung |
153706 | Spring Retainer Assembly, Flat, RSH-600 |
153707 | Solenoid Valve, 24 VDC, RSH-600 |
153709 | Retainer Screw, RSH-600, Flat Head |
153710 | Crystal Holder, Flat, RSH-600 |
153714 | Spring Retainer Assembly, Angled,RSH-600 |
153715 | Retainer Screw, RSH-600, Angled Head |
153716 | Crystal Holder, Angled, RSH-600 |
153722 | Signal/Ground Contact Module, RSH-600 |
153724 | Spring Retainer Contact Kit, RSH-600 |
153726 | Spring Contact, RSH-600 |
889128 | Position Feedback Cable, RSH-600 |
889128-2 | 7-Pol-Steckbuchse |
144-101 | M3x6 SOC-Kopfschraube für Flachkristallhalter |
Downloads
3D Dateien
Andere
RSH-600 Cooling Efficiency (English)
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Englisch
Sensor Alignment (English)
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Englisch
Use of Maxtek Sensor Heads in a Sputtering Environment (English)
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Englisch
What is a QCM Sensor?
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