SemiQCM™ SR Sensoren für die Überwachung von Vorläuferstoffen

Sichern und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung

Der SemiQCM™ SR-Sensor ist eine Komponente eines Systems zur Precursor-Überwachung. Die anderen Komponenten sind ein IMM-200 und FabGuard (Version 19.12.00-a oder höher).

Semi Process Monitoring kann in Halbleiteranwendungen zur Endpunkterkennung und Fehlerbeseitigung eingesetzt werden, indem die Menge an Precursor in der Vorleitung oder im Kammerauslass überwacht wird. Der Einsatz eines in situ QCM ermöglicht eine kostengünstige Prozessüberwachung und eine verbesserte Rentabilität des Halbleiterprozesses.

Das Versagen der Versorgung eines Wafers mit Precursor kann bereits bei einem einzigen Wafer erkannt werden.

Merkmale

QCM-Daten werden mit 10 Hz überwacht
FabGuard korreliert die QCM-Daten mit dem Werkzeugzustand und dem Prozessschritt
Präzise Messung von Abscheide- oder Ätzraten
Empfindlichkeit und Präzision für die Messung der Sub-Monolayer-Dicke

Vorteile

Prozessüberwachung in Echtzeit, in situ
Verhindern Sie Überätzung, identifizieren Sie den Endpunkt der Kammerreinigung
Identifizieren Sie Fehler in der Ausrüstung oder im Prozess

Typische Anwendungen

Halbleiterherstellung

Spezifikationen

Maximum Temperature	200°C

Sensor head Size (Maximum envelope)	23.87 mm O.D. x 29.19 mm (0.94 in. O.D. x 1.15 in.)

Materials
Body and Holder	304 stainless steel
Springs	Au plated BeCu
Coaxial Line	5 mm (1.88 in.) O.D. stainless steel
Other Mechanical Parts	18-8 or 304 stainless steel, Hastelloy® c276
Insulators	>99% Al2O3 in vacuum: Teflon® used elsewhere
Wire	1. Ni (in vacuum) 2. Ni plated Cu (elsewhere)
Braze	Vacuum process high temperature NiCr alloy
Crystal	13.97 mm (0.550 in.) diameter

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Artikelnummern

Zubehör

Ersatzteile

Artikelnummern	Beschreibung
750-7000-G5	SEMI QCM SENSOR ASSY 50MM
750-7000-G6	Semi QCM Sensor Assy 60mm
750-7000-G7	Semi QCM Sensor Assy 70mm
750-7000-G8	Semi QCM Sensor Assy 80mm
750-7000-G9	Semi QCM Sensor Assy 90mm
750-7000-G10	Semi QCM Sensor Assy 100mm
750-7000-G11	Semi QCM Sensor Assy 110mm
750-7000-G12	Semi QCM Sensor Assy 120mm
750-7000-G13	Semi QCM Sensor Assy 130mm
750-7000-G14	Semi QCM Sensor Assy 140mm
750-7000-G15	Semi QCM Sensor Assy 150mm

Artikelnummern	Beschreibung
750-7013-G1S	Crystal Holder Assembly Spare
750-1090-G10	Sensor Crystals, 6MHz, SC Alloy

Artikelnummern	Beschreibung
007-023	Ceramic Retainer
750-171-P1	Finger spring contact
750-7005-G1S	Crystal Holder and Retainer Spring Spare Assembly

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