Sensoren & Durchführungen
Sputtersensor
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Der INFICON Sputtersensor ist speziell für den Einsatz in Zerstäubungsverfahren konzipiert.
Sensorgehäuse und Kühlrohre bestehen aus vergoldetem Beryllium-Kupfer und bieten maximale Kühlleistung in der Sputter-Umgebung. Ein in den Sensorkopf integrierter Magnet verhindert ein Überhitzen aufgrund von hochenergetischen freien Elektronen in Sputteranlagen, indem diese durch das externe Magnetfeld abgelenkt werden. Da der Kristallhalter rückseitig beladen wird, können die Kristalle schnell, einfach und ohne Entfernen des Sensorkopfes aus dem System ausgetauscht werden.
Merkmale
- Sensorgehäuse und Kühlrohre aus vergoldetem Beryllium-Kupfer für maximale Kühlleistung
- Magnet zur Ablenkung freier Elektronen aus dem Monitorkristall
- Einfache Installation mit biegsamen Wasserschläuchen bietet Flexibilität bei der Sensorplatzierung
- Kristalleinsatz durch rückseitige Beladung ermöglicht einfachen Kristallaustausch
Spezifikationen
| Max. Ausheiztemperatur ohne Wasser | 105°C |
| Maximale isotherme Umgebungsbetriebstemperatur bei minimalem Wasserdurchfluss | 400° C |
| Kristallaustausch | Rear-loading |
| Magnet | ALNICO 5 Alloy |
Artikelnummern
| 750-618-G1 |
Accessories
Verbrauchsmaterialien
Spare Parts
| Name | Beschreibung |
| QCM-Sensordurchführungen | QCM-Sensordurchführungen |
| Sputtering Sensor | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 750-420-G1 | Ansteuerventil f. Blende |
| Sputtering Sensor | |
| Part Number | Description |
| 007-023 | Keramikhalter |
| 007-049 | Crystal Holder, Sputtering Sensor |
| 007-007 | Haltefeder (für Kristallhalter) |
| 007-047 | Front Cover, Sputtering Sensor |
| 007-009 | DET, MAGNET |
| 070-0440 | Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC |
| 070-0442 | Haltering (zur Installation auf der Welle der Verschlussbaugruppe) |
| 070-0441 | Spacer, B4-4, Stainless Steel |
| 082-044 | Teflonschraube (für Blattfeder) |
| 082-029-P1 | 2-56 X 1/8 SOC SET SCREW S/S |
| 750-009-P2 | COVER, PIVOT FINISHED |
| 750-046-G2 | SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @ |
| 750-048-P1 | Retainer Spring, CrystalSix |
| 750-115-P4 | Kupplung (zur Installation auf der Balgbaugruppe) |
| 750-169-P4 | Balgbaugruppe für pneumatische Verschlussbaugruppe |
| 750-174-P2 | Koaxialkabelbuchse |
| 750-175-P1 | Isolator (unter der Blattfeder) |
| 008-007 | Kristall-Greifer |
| 750-188-P3 | Leaf Spring Formed |
| 750-619-G1 | Body, Sputtering Sensor |
| 750-626-P1 | Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | Kabel Sensorkopf 15.2 cm |
| 007-252 | Kabel Sensorkopf 30.5 cm |
| 321-039-G11 | In-vacuum Cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuo-Kabel, 78,1 cm (30 Zoll) |
| 007-059 | In-vacuum Cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | Kabel 120cm, Sputter Kopf |
| 321-039-G13 | In-vacuo-Kabel, 154 cm - Erfordert ModeLock-Controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum Cable, 182.9 cm (72 in.) |
| 321-039-G15 | In-vacuum Cable, 3.5 m (137.8 in.) |
| 321-039-G16 | In-vacuum Cable, 4 m (157.5 in.) |
Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet
