SQM-160
Messung von Raten und Dicke bei Dünnschichtabscheidungsprozessen
Das SQM-160 verwendet bewährte Quarzkristall-Sensortechnik von INFICON, um Raten und Dicke bei Dünnschichtabscheidungsprozessen zu messen. Zwei Sensoreingänge sind Standard, vier zusätzliche Sensoreingänge sind optional. Zwei Schreiberausgänge liefern Analogsignale für Rate und Dicke.
Die Sensoreingänge können unterschiedlichen Materialien zugeordnet, für präzise Abscheidungskontrolle in großen Systemen gemittelt oder für einen Dualsensor konfiguriert werden. Durch den Ratenprobenahmemodus ist es möglich, die Lebensdauer von Verschlusssensoren in Prozessen mit hohen Raten zu verlängern. Der Benutzer kann zwischen Ratenanzeigen von 0,1Å/s oder 0,01Å/s wählen. Zusätzlich können Frequenz oder Masse angezeigt werden.
Durch vier Relaisausgänge kann der SQM-160 Quell- oder Sensorverschlüsse steuern und Sollwerte für Zeit und Dicke sowie Kristallfehler signalisieren. Mithilfe der digitalen Eingänge können externe Signale Messungen starten, anhalten oder auf Null setzen.
Merkmale
- Zwei Messkanäle sind Standard, vier weitere sind optional.
- Analoge Ausgänge zur Raten-/Dickenaufzeichnung
- Variante mit hoher Auflösung: 0,03 Hz bei 10 Messungen/s
- RS-232 standardmäßig, USB oder Ethernet optional
Spezifikationen
| QCM-Sensoreingänge | Standard: 2; optional: 4 |
| Messfrequenzbereich | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum |
| Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (1) | ± 0.37 Å |
| Gespeicherte Schichten | 99 |
| Digitaleingänge/-ausgänge | Four inputs, four relay outputs |
| (1)Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz, 0,10 s Messintervall | |
| QCM-Sensoreingänge | Standard: 2; optional: 4 |
| Messfrequenzbereich | Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum |
| Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (1) | ± 0.037 Å |
| Gespeicherte Schichten | 99 |
| Digitaleingänge/-ausgänge | Four inputs, four relay outputs |
| (1)Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz, 0,10 s Messintervall | |
Artikelnummer
Zubehör
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 782-900-014 | 2 Unit Rack Adapter, 2U (3.5 in.) |
| 782-502-096-G1 | USB SQM-160 Option Spare Bd |
| 782-502-097-G1 | Ethernet Option Card, SQC-310/SQM-160 |
| Oscillator kits | (Oszillator und Kabel im Lieferumfang eingeschlossen) |
| 783-500-109-10 | Oscillator Package, 10 ft BNC Cable |
| 783-500-109-25 | Oscillator Package, 25 ft BNC Cable |
| 783-500-109-50 | Oscillator Package, 50 ft BNC Cable |
| 783-500-109-75 | 22,8-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 22,8-m-BNC-Kabel |
| Oscillator Only | (Kabel nicht eingeschlossen) |
| 783-500-013-G1 | Oscillator, Remote Sensor, OSC-100 |
| Cables | |
| 782-902-011 | BNC Cable, 15.2 cm (6 in.) |
| 782-902-012-10 | BNC Cable, 3 m (10 ft.) |
| 782-902-012-25 | BNC Cable, 7.6 m (25 ft.) |
| 782-902-012-50 | BNC Cable, 15.2 m (50 ft.) |
| 782-902-012-75 | 22,8-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker |
