Gasanalyse
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Fortgeschrittener Prozessexperte für einen breiten Prozessdruckbereich z.B. für ALD/CVD und ETCH
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
Fortgeschrittener Prozessexperte ALD/CVD und ETCH mit definierten Prozessdruckbereich
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Hochdruck-Eindruckeinlass für hohe Temperaturen
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführendes Saugvermögen
Kompakter Prozessexperte für erweiterte Prozessüberwachung
- HexBlock-Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 200 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
- 30% weniger Systemvolumen
Extreme PVD-Prozessüberwachung Quadrupol-Massenspektrometer
- Branchenführender maximaler Betriebsdruck
- Optionale Verriegelung des Überdruckabsperrventils
- Scannt bis zu 100 amu
Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Branchenführende Datenerfassungsrate
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Scannt bis zu 300 amu
Mehrzweck-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Optionaler kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
- Scannt bis zu 200 amu
Prozessüberwachung im Zieldruckbereich
- Gezielte Hochdruckprozesse
- Einzelner Druck-Probenahme-Eingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integriertes Differenzialpumpsystem
QMG 700 Analytisches Massenspektrometer zum Durchbrechen von Nachweisgrenzen und zum Vorantreiben Ihres Prozesses auf die nächste Stufe der Innovation
- Massenbereichvarianten von 1-512 AMU
- Dynamischer Bereich über mehr als neun Messdekaden
- Extrem hohe Messgeschwindigkeiten: 0,125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
Hochgeschwindigkeits-Kammerlecktest - Gasanalyse
- Hochgeschwindigkeits-Lecksuche ermöglicht Kammer-Lecktest
- Steigerung von Produktivität und Ertrag
- Lange Lebensdauer, kein brennbares Filament, Schutz vor Lufteinbrüchen
Echtzeit-Leckerkennung, Endpunkt-Erkennung und Prozessüberwachung für modernste Halbleiterfertigungsprozesse und andere Gasanalyseanwendungen
- Arbeitsbereich von 1 Torr bis zu 450 Torr
- Überlegene Nachweisgrenze < 1 ppm
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss
Echtzeit-Leckerkennung und Endpunkt-Erkennung für kritische Prozessumgebungen
- Betriebsbereich von 10 mTorr bis 1 Torr
- Ausgezeichnete Nachweisgrenzen bis hinunter zu niedrigen ppm-Werten
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss
Optimieren Sie Ihre Verbrennungseffizienz
- Zeigt die Messwerte für Wirkungsgrad, O2, CO2, CO und Abgastemperatur auf einem einzigen Bildschirm an
- Leicht ablesbares, beleuchtetes Display
- Überwachung der Systemdrücke mit eingebautem Manometer und Schlauchsatz
- QR-Code für schnelle Analyseberichte mit der mobilen FLUE-Mate-App
Einfachere und schnellere Gasanalysen
- Analysenzeit minimieren
- Verfügbarkeit maximieren
- Lizenzfreier Zugang
- Einfache Anbindung
Sorgt für eine Druckreduzierung und hält gleichzeitig die Probentemperatur auf >50°C (122°F).
- Easily attaches to Micro GC Fusion
- Side door for easy filter replacement
- Use a quick connect fitting for easy sampling
- Can be taken into the field for on-site sampling
Webbasierte Benutzeroberfläche
- Betriebssystemunabhängig
- Lizenzfrei
- Integriert in jedes Instrument
- Keine Installation erforderlich